一种吸盘及具有其的晶圆料盒开盖装置的制作方法

本技术涉及晶圆运输，具体涉及一种吸盘及具有其的晶圆料盒开盖装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，通常由高纯度单晶硅制成，呈圆形薄片状，其表面需用于精密电路图形加工，因此对洁净度与完整性要求极高。为提高上料效率并严格避免生产过程中的环境污染，晶圆在存储与转运时均被放置于专用密封料盒内。通过转运料盒可实现晶圆的批量、标准化移动，在此过程中，盒盖始终保持机械锁定状态，以维持内部超洁净的微环境。而在上料环节，则需将盒盖安全开启，以便机械手抓取晶圆。

2、目前行业中普遍采用的一种开盖方式，是使用吸盘连接真空装置，通过负压吸附盒盖外表面来实现开启操作。然而，由于吸盘依赖真空压力产生吸附力，为确保密封性与稳定性，吸附时往往需要较高的压力，这易导致盒盖被过度牢固吸附。在完成开启、需要释放盒盖时，真空释放的轻微延迟或材料表面轻微的粘附效应，常引发“粘连”现象，即盒盖未能及时、干脆地与吸盘分离。这种粘连不仅可能干扰开盖动作的流畅性与定位精度，在快速生产节拍中影响效率，长期还可能因非常规的应力或微振动，对精密封装的料盒密封性构成潜在风险。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种吸盘及具有其的晶圆料盒开盖装置，以解决现有真空吸盘式晶圆料盒开盖装置中，吸盘因真空释放延迟或材料表面粘附效应易与盒盖发生粘连的问题。

2、第一方面，本实用新型提供了一种吸盘，包括：

3、主体件以及设置于该主体件内的真空通道，所述主体件的一侧形成用于吸附盒盖的弧形吸附面；

4、分离机构，包括多个环绕所述真空通道间隔设置于多个第一凸起件，多个所述第一凸起件设置于所述真空通道开口为中心的同一分布圆环上，所述第一凸起件自所述弧形吸附面向外突出，且其突出高度在所述真空通道抽真空吸附盒盖时被压缩，在所述真空通道破真空释放时恢复，以提供将盒盖推离所述弧形吸附面的弹性分离力。

5、可选地，所述分离机构还包括：

6、多个第二凸起件，所述第二凸起件间隔设置于所述弧形吸附面上，且位于所述第一凸起件所形成的分布圆环的径向外部，所述第二凸起件适于在吸附状态下与所述第一凸起件共同接触并支撑盒盖。

7、可选地，多个所述第二凸起件沿所述弧形吸附面的周向排布，形成位于所述第一凸起件径向外侧的第一环形阵列和第二环形阵列，所述第一环形阵列与第二环形阵列同轴设置。

8、可选地，多个所述第一凸起件与所述第一环形阵列、第二环形阵列中的第二凸起件错位设置，使得任一所述第一凸起件在周向投影上位于相邻两个所述第二凸起件之间的间隙区域。

9、可选地，所述第一凸起件为顶部为平面的弹性圆柱体结构，在所述真空通道抽真空时，其柱体侧面能够发生径向膨胀，从而在恢复原状时增强其将盒盖沿垂直于弧形吸附面方向推离的弹性分离力。

10、可选地，所述第二凸起件为顶部为平面的条状弹性圆柱体结构，其长度方向平行于所述弧形吸附面的周向设置，且其整体的突出高度等于或低于所述第一凸起件在自然状态下的突出高度，所述第二凸起件适于在吸附时与所述第一凸起件共同接触盒盖，并在破真空释放时避免阻碍所述第一凸起件的弹性恢复行程。

11、可选地，所述主体件、所述第一凸起件和所述第二凸起件由相同的弹性材料一体成型。

12、有益效果

13、本实用新型提供的吸盘，包括主体件以及设置于该主体件内的真空通道，所述主体件的一侧形成用于吸附盒盖的弧形吸附面；分离机构，包括多个环绕所述真空通道间隔设置于多个第一凸起件，多个所述第一凸起件设置于所述真空通道开口为中心的同一分布圆环上，所述第一凸起件自所述弧形吸附面向外突出，且其突出高度在所述真空通道抽真空吸附盒盖时被压缩，在所述真空通道破真空释放时恢复，以提供将盒盖推离所述弧形吸附面的弹性分离力。

14、本实用新型提供的吸盘，通过弧形吸附面配合真空通道，能够保障对盒盖吸附时的密封性与稳定性，同时环绕真空通道间隔设置的多个第一凸起件，在真空吸附盒盖时可被压缩以不干扰吸附过程，待真空通道破真空释放盒盖时，第一凸起件通过自身恢复形变提供弹性分离力，该分离力可直接作用于盒盖，有效克服真空释放延迟或材料表面粘附效应带来的粘连问题，使盒盖能够及时、干脆地与弧形吸附面分离，保障开盖动作的流畅性与定位准确性，避免因粘连对生产节拍造成影响，同时减少非常规应力或微振动的产生，降低对料盒密封性的潜在风险；且多个第一凸起件位于以真空通道开口为中心的同一分布圆环上，能够使弹性分离力均匀作用于盒盖，避免盒盖受力不均导致的损伤或吸附稳定性下降，兼顾了吸附可靠性与分离有效性。

15、第二方面，本实用新型还提供了一种晶圆料盒开盖装置，包括：

16、如上文中任一项所述的吸盘。

17、可选地，所述真空通道连接有真空发生装置及控制阀，所述控制阀在执行破真空释放动作时，所述分离机构与所述控制阀联动，使得在所述破真空释放动作触发时，所述第一凸起件同步开始其弹性恢复行程。

1.一种吸盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的吸盘，其特征在于，所述分离机构还包括：

3.根据权利要求2所述的吸盘，其特征在于，多个所述第二凸起件（22）沿所述弧形吸附面（12）的周向排布，形成位于所述第一凸起件（21）径向外侧的第一环形阵列和第二环形阵列，所述第一环形阵列与第二环形阵列同轴设置。

4.根据权利要求3所述的吸盘，其特征在于，多个所述第一凸起件（21）与所述第一环形阵列、第二环形阵列中的第二凸起件（22）错位设置，使得任一所述第一凸起件（21）在周向投影上位于相邻两个所述第二凸起件（22）之间的间隙区域。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的吸盘，其特征在于，所述第一凸起件（21）为顶部为平面的弹性圆柱体结构，在所述真空通道（11）抽真空时，其柱体侧面能够发生径向膨胀，从而在恢复原状时增强其将盒盖沿垂直于弧形吸附面（12）方向推离的弹性分离力。

6.根据权利要求5所述的吸盘，其特征在于，所述第二凸起件（22）为顶部为平面的条状弹性圆柱体结构，其长度方向平行于所述弧形吸附面（12）的周向设置，且其整体的突出高度等于或低于所述第一凸起件（21）在自然状态下的突出高度，所述第二凸起件（22）适于在吸附时与所述第一凸起件（21）共同接触盒盖，并在破真空释放时避免阻碍所述第一凸起件（21）的弹性恢复行程。

7.根据权利要求2-4中任一项所述的吸盘，其特征在于，所述主体件（1）、所述第一凸起件（21）和所述第二凸起件（22）由相同的弹性材料一体成型。

8.一种晶圆料盒开盖装置，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的晶圆料盒开盖装置，其特征在于，所述真空通道（11）连接有真空发生装置及控制阀，所述控制阀在执行破真空释放动作时，所述分离机构与所述控制阀联动，使得在所述破真空释放动作触发时，所述第一凸起件（21）同步开始其弹性恢复行程。