一种半导体生产用检测机构的制作方法

本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种半导体生产用检测机构。

背景技术：

1、在半导体制造领域，晶圆、芯片等半导体本体的表面缺陷直接决定产品良率与可靠性，因此，通过视觉检测实现缺陷精准识别成为生产关键环节。

2、多数检测机构依赖人工辅助定位或简易机械限位，难以适配流水线批量检测需求，部分自动化定位设备采用单侧驱动式夹持结构，两侧夹持组件移动不同步，直接造成检测相机对焦偏差，引发纳米级缺陷漏检；因此我们提出一种半导体生产用检测机构来解决这个问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用检测机构，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种半导体生产用检测机构，包括：半导体本体、检测台和检测相机，所述检测台的顶部固定安装有四组支架、框架和l型立柱，相邻的两组所述支架的内部均转动安装有输送轮，两组所述输送轮的外侧传动安装有输送带，所述半导体本体设置在输送带上，所述框架的内部固定安装有两组导向杆，两组所述导向杆的外侧滑动安装有两组移动板，两组所述移动板的顶部均铰接有传动杆，两组所述传动杆的一端铰接有同一个转盘，两组所述移动板的一侧均固定安装有框体，两组所述框体的内部均滑动安装有连接块，两组所述连接块的一侧均固定安装有两组缓冲弹簧，两组所述连接块的另一侧均固定安装有推板，所述框架的顶部固定安装有电机二，所述电机二的输出端上固定安装有转盘，所述转盘与两组移动板的顶部之间均铰接有传动杆，所述l型立柱的顶部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出上固定安装有安装板，所述检测相机设置在安装板的底部。

4、优选的，所述检测台的顶部固定安装有支板，所述支板的一侧固定安装有电机一，所述电机一的输出端上固定安装有扇形齿轮，其中一组所述输送轮的一侧固定安装有传动齿轮，所述安装板的顶部与l型立柱的底部之间设置有两组升降杆。

5、优选的，两组所述连接块滑动安装在相应框体内，两组所述缓冲弹簧的另一端固定安装在相应框体的一侧内壁上。

6、优选的，所述框架的顶部固定安装有电机二，所述转盘固定安装在电机二的输出端上。

7、优选的，两组所述移动板的内部均开设有两组滑孔，两组所述导向杆与相应滑孔之间相适配。

8、优选的，所述传动齿轮与扇形齿轮之间相啮合。

9、本实用新型中，所述的一种半导体生产用检测机构，通过设置电机一带动扇形齿轮转动，因扇形齿轮与传动齿轮之间相啮合，从而传动与传动齿轮相连的输送轮间歇转动，并通过两组输送轮之间传动输送带，进而输送带间歇性运转，并将半导体本体进行输送，保障检测与定位的协同性，提升检测精度，适配流水线批量生产，平衡效率与安全性；

10、本实用新型中，所述的一种半导体生产用检测机构，通过设置电动推杆推动安装板沿升降杆上下移动，调节检测相机的高度，以适应不同厚度的半导体本体检测需求；随后对半导体本体的表面进行拍照或扫描，获取其外观图像，检测相机将采集到的图像数据传输至外部控制系统，系统对图像进行分析处理，判断半导体本体是否符合生产标准，使得同一台检测设备能够适应各种厚度的半导体本体，无需更换或改造相机支架，极大地提升了设备的通用性和灵活性；

11、本实用新型结构设计合理，通过设置电机二带动转盘转动，转盘转动通过传动杆拉动两组移动板在导向杆内相对滑动，随后带动与之相连的框体、连接块、推板等组件相对移动，此时推板先接触半导体本体后，连接块在框体内滑动，缓冲弹簧被压缩，产生柔性夹持力，避免损坏半导体本体，同时将其精准居中定位在检测区域，实现自动化、高精度居中定位，且这种设计使得夹持力变得柔和且具有弹性，既能牢固地将工件定位，又能有效避免在定位过程中对半导体本体造成物理损伤。

1.一种半导体生产用检测机构，其特征在于，包括：半导体本体(1)、检测台(2)和检测相机(21)，所述检测台(2)的顶部固定安装有四组支架(3)、框架(9)和l型立柱(17)，相邻的两组所述支架(3)的内部均转动安装有输送轮(4)，两组所述输送轮(4)的外侧传动安装有输送带(5)，所述半导体本体(1)设置在输送带(5)上，所述框架(9)的内部固定安装有两组导向杆(11)，两组所述导向杆(11)的外侧滑动安装有两组移动板(12)，两组所述移动板(12)的顶部均铰接有传动杆(23)，两组所述传动杆(23)的一端铰接有同一个转盘(22)，两组所述移动板(12)的一侧均固定安装有框体(13)，两组所述框体(13)的内部均滑动安装有连接块(14)，两组所述连接块(14)的一侧均固定安装有两组缓冲弹簧(16)，两组所述连接块(14)的另一侧均固定安装有推板(15)，所述框架(9)的顶部固定安装有电机二(10)，所述电机二(10)的输出端上固定安装有转盘(22)，所述转盘(22)与两组移动板(12)的顶部之间均铰接有传动杆(23)，所述l型立柱(17)的顶部固定安装有电动推杆(18)，所述电动推杆(18)的输出上固定安装有安装板(19)，所述检测相机(21)设置在安装板(19)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测机构，其特征在于，所述检测台(2)的顶部固定安装有支板(7)，所述支板(7)的一侧固定安装有电机一(8)，所述电机一(8)的输出端上固定安装有扇形齿轮(24)，其中一组所述输送轮(4)的一侧固定安装有传动齿轮(6)，所述安装板(19)的顶部与l型立柱(17)的底部之间设置有两组升降杆(20)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测机构，其特征在于，两组所述连接块(14)滑动安装在相应框体(13)内，两组所述缓冲弹簧(16)的另一端固定安装在相应框体(13)的一侧内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测机构，其特征在于，所述框架(9)的顶部固定安装有电机二(10)，所述转盘(22)固定安装在电机二(10)的输出端上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用检测机构，其特征在于，两组所述移动板(12)的内部均开设有两组滑孔，两组所述导向杆(11)与相应滑孔之间相适配。

6.根据权利要求2所述的一种半导体生产用检测机构，其特征在于，所述传动齿轮(6)与扇形齿轮(24)之间相啮合。