安装平台及加工设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于安装基片的安装平台及加工设备。


背景技术：

2.半导体行业中，基片作为衬底承载大量功能元件，在对基片的加工处理过程中，保证其不受损坏尤为重要。
3.图1a-1c展示传统的承载件、基片和顶盖的安装流程。首先，承载件11可由例如传送带传送到加工工位，继而，基片13被叠放在承载件11上。常规情况下，基片13被放置在承载件11的两个定位销111之间的位置以防止基片13发生位移。然而，厚度较小的基片往往容易发生边缘翘曲的情况，在放置在承载件11上时，翘边131的高度有可能高于定位销111的高度，如图1b所示。当顶盖15放置在基片13上时，顶盖15容易直接抵触基片13的翘边，如图1c，基片13发位移，翘边131抵触定位销111，顶盖15抵触翘边131，从而造成基片13边缘的受损，如图1d所示的受损部132。
4.因此，亟待一种改进的安装平台以克服以上缺陷。


技术实现要素：

5.本实用新型的一个目的在于提供一种改进的安装平台，在承载件上安装基片时以及在基片上安装顶盖时，借助吸附组件将承载件和基片吸附定位，从而防止基片相对承载件的位置在安装过程中发生改变，保证在安装顶盖后基片不受损坏。
6.本实用新型的另一个目的在于提供一种改进的加工设备，在承载件上安装基片时以及在基片上安装顶盖时，借助吸附组件将承载件和基片吸附定位，从而防止基片相对承载件的位置在安装过程中发生改变，保证在安装顶盖后基片不受损坏，有利于提高后续产品加工处理的良品率。
7.为实现以上目的，本实用新型提供一种安装平台，用于在一承载件上依次安装一基片及一顶盖，所述安装平台包括：
8.支撑机构，被配置为支撑所述承载件；
9.搬运机构，被配置为依次将所述基片和所述顶盖放置在所述承载件上；以及
10.吸附组件，位于所述支撑机构的下方，被配置为在放置所述基片时吸附并定位所述承载件以及在放置所述顶盖时吸附并定位所述承载件和所述基片。
11.与现有技术相比，本实用新型安装平台的吸附组件位于所述支撑机构的下方，被配置为在放置所述基片时吸附并定位所述承载件以及在放置所述顶盖时吸附并定位所述承载件和所述基片，也就是说，在承载件上安装基片时以及在基片上安装顶盖时，借助吸附组件将承载件和基片吸附定位，从而防止基片相对承载件的位置在安装过程中发生改变，保证在安装顶盖后基片不受损坏，从而保证基片上元件的性能。
12.作为优选实施例，所述吸附组件为负压吸附组件。
13.作为优选实施例，所述吸附组件包括用于吸附所述承载件的第一吸嘴以及用于吸附所述基片的第二吸嘴。
14.较佳地，所述吸附组件还包括与所述第一吸嘴连接的第一气路、与所述第二吸嘴连接的第二气路、分别与所述第一气路和所述第二气路连接的气管接头以及与所述气管接头连接的气压控制器。
15.较佳地，所述吸附组件还包括用于收容所述第一气路和所述第二气路的本体，所述第一吸嘴和所述第二吸嘴伸于所述本体之外以分别吸附所述承载件和所述基片的背面，所述气管接头设于所述本体之外侧。
16.作为优选实施例，所述第一气路和所述第二气路包括若干气管，所述第一吸嘴和所述第二吸嘴分别包括若干吸嘴以吸附所述承载件和所述基片的不同位置。
17.较佳地，所述气压控制器包括与所述第一气路相连的第一真空压力表以及与所述第二气路相连的第二真空压力表。
18.作为优选实施例，所述支撑机构包括用于传送所述承载件的传送机构。
19.较佳地，还包括与所述传送机构相连的承载件供给机构。
20.较佳地，所述传送机构包括传送带。
21.较佳地，所述支撑机构上设有用于定位所述承载件的定位件。
22.作为优选实施例，所述搬运机构包括基片供给机构、顶盖供给机构以及位于所述基片供给机构和所述顶盖供给机构之侧的拾取机构以提供并拾取所述基片或所述顶盖。
23.较佳地，还包括位于所述基片供给机构和所述拾取机构之间，和/或位于所述顶盖供给机构和所述拾取机构之间的传送机构。
24.较佳地，所述拾取机构包括用于拾取所述基片或所述顶盖的拾取臂以及用于驱动所述拾取臂移动的驱动机构。
25.本实用新型还提供一种包括上述安装平台的加工设备。
附图说明
26.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
27.图1a-1c为传统安装平台的安装流程及其获得的基片安装结构。
28.图1d为受损基片的结构示意图。
29.图2为本实用新型中承载件、基片、顶盖三者组合安装后的结构示意图。
30.图3为本实用新型安装平台的一个实施例的结构框图。
31.图4为本实用新型安装平台的一个实施例的局部立体图，展示承载件以及基片安装于其上。
32.图5为本实用新型安装平台的一个实施例的局部平面图。
33.图6为图5的沿a-a线的剖视图。
34.图7a为图6的b部分的放大图。
35.图7b为图6的c部分的放大图。
36.图8为本实用新型安装平台的支撑机构及吸附组件的平面示意图。
37.图9为本实用新型安装平台的支撑机构及吸附组件的平面透视图。
38.图10本实用新型安装平台的支撑机构上放置承载件、基片后的底面示意图。
39.图11a展示吸附组件以及位于吸附组件之上的承载件和基片。
40.图11b为图11a的侧视图。
41.图12a为吸附组件的立体图。
42.图12b为图12a的平面图。
43.图12c为图12a的侧视图。
44.图13a-13d为本实用新型安装平台的安装流程示意图。
具体实施方式
45.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
46.在本技术的描述中，需要理解的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。当一个组件被认为是“设置在”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中设置的组件。
47.此外，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左侧”、“右侧”、“在
……
的下方”、“在
……
的上方”等指示方位或位置关系为基于附图所展示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有此特定的方位、以特定的方位构造进行操作，以此不能理解为本技术的限制。空间的相对术语可以意指包含除该图描绘的取向之外该装置的不同的取向。例如如果翻转该图中的装置，则描述为“在其他元件或者特征的下方”或者“在元件或者特征的下面”的元件将取向为“在其他元件或者特征的上方”。因此，示例术语“在
……
的下方”可以包含朝上和朝下的两种取向。
48.本实用新型的安装平台适用于在一承载件上依次安装一基片及一顶盖，从而组成基片组件以进行后续的下一步处理。利用本实用新型的安装平台进行承载件、基片、顶盖的安装，可防止基片相对承载件的位置在安装过程中发生改变，保证在安装顶盖后基片不受损，有利于提高后续产品加工处理的良品率，适于在工业上推广应用。
49.图2为本实用新型中承载件21、基片23、顶盖25三者组合安装后的结构示意图。如图所示，承载件21作为支撑体，其上具有定位销211；基片23由承载件21支撑；顶盖25位于基片23之上并抵触在定位销211上。可理解的是，承载件21、基片23、顶盖25的具体结构以及具体名称在此并不受限制，本实用新型安装平台适用于上述三者的安装也适用于其他待安装件的叠放和安装。
50.图3展示本实用新型安装平台的一个实施例的结构框图。该安装平台30包括支撑机构31、搬运机构33以及吸附组件35，该支撑机构31用于支撑承载件21，搬运机构33用于依次将基片23和顶盖25放置在承载件21上，吸附组件35位于支撑机构31之侧，用于在放置基片23和顶盖25时对承载件21进行吸附定位以及在放置顶盖25时对基片23进行吸附定位。由此可见，在安装基片23之前，由于承载件21被吸附组件35吸附定位，因此，在搬运机构33的
操作下，基片被放置到基片的预设位置，例如位于承载件21两侧的定位销211之间的位置，位置更可控；在安装顶盖25之前，由于承载件21和基片23均被吸附组件35吸附定位，因此，承载件21和基片23之间的相对位置固定，基片23不会发生位移(例如移动到承载件21的定位销211之上)，顶盖25在搬运机构33的操作下落下到预设位置(即承载件的定位销上)，即使对于厚度较小而存在翘边的基片23，由于基片23(例如翘边)被吸附组件35吸附，顶盖25落下时不会抵触基片23，不会造成如现有技术所述的基片损坏。
51.需说明的是，本技术的安装平台30可对承载件21、基片23、顶盖25进行图2所示的安装，但承载件21、基片23、顶盖25的具体结构、具体名称在此不受限制，可依据实际的产品而定。
52.以下结合图4-图13d描述本实用新型安装平台的具体结构。本技术中，用于支撑承载件21的支撑机构31可为固定工作台或移动工作台，例如，当支撑机构31为固定工作台时，需与特定的搬运机构(如机械手)配合，从承载件供给机构上搬运承载件21至固定工作台。当支撑机构31为移动工作台(例如图4中展示的传动机构，如传送带)时，传送带和承载件供给机构相配合，承载件21由传送带支撑并传动，至特定位置下停止，等待下一加工流程。需注意的是，该特定位置也为吸附组件35的安装位置，在该位置下进行后续的基片23和顶盖25的安装流程，亦即，通过搬运机构33将基片23和顶盖25移至该位置进行叠放，三者叠放安装完毕后被整体(例如通过传送带)流向下一工位。
53.如图4所示，该支撑机构31为传送机构，该传送机构31与设置在一侧的承载件供给机构(图未示)和/或机械手(图未示)相配合，以向传送机构31每次传送单一的承载件21，当承载件21被传送至特定位置下，传动机构被停止，继而承载件21可由设置在传送机构31上的定位件311进行大致位置的定位。具体地，传送机构31包括两侧导轨313以及安装在导轨313内侧的传送带315，承载件21由传送带315支撑。可理解地，传送带315由图未示的驱动机构驱动。
54.搬运机构33被配置为依次将基片23和顶盖25放置在承载件21上。作为一个实施例，该搬运机构33包括基片供给机构(图未示)、顶盖供给机构(图未示)以及位于基片供给机构和顶盖供给机构之侧的拾取机构(图未示)以提供并拾取基片或顶盖至预定位置。进一步地，该搬运机构33还包括位于基片供给机构和拾取机构之间，和/或位于顶盖供给机构和拾取机构之间的传送机构(图未示)。具体地，物料的供给机构通过相应的传送机构传送到预设位置，继而通过拾取机构(例如机械拾取臂)将物料拾取到预定位置，例如拾取臂可在x、y、z方向上移动，拾取臂的个数可为两个。可选地，还可通过配置相应的驱动机构，例如电机等，以驱动拾取机构进行相应的操作。可理解的是，在承载件21被定位在支撑机构31上后，搬运机构33将基片23移动并放置在承载件21之上；在基片23被定位在承载件21上后，搬运机构33将顶盖25移动并放置在基片23之上。
55.作为本技术的构思，结合图4-图12c，吸附组件35位于传送机构31之侧，例如传送带315之两侧下方，被配置为在放置基片23时对承载件21进行吸附并定位以及在放置顶盖25时对承载件21和基片23进行吸附并定位。具体地，吸附组件35采用负压式吸附，在承载件21的背面(即基片23支撑面之反面)的实体部进行吸附，便于基片23的叠放；在基片23叠放后，在基片23的背面的实体部进行吸附，从而将基片23和承载件21的相对位置固定，便于顶盖25的叠放。也就是说，吸附组件35分别对承载件21和基片23进行吸附定位，该种方式既简
单方便又安全，负压式控制易于实现和控制。
56.作为一个优选实施例，如图5-7b以及图11a-12c所示，该吸附组件35包括用于吸附承载件21的若干第一吸嘴351、用于吸附基片23的若干第二吸嘴352、与第一吸嘴351连接的第一气路353、与第二吸嘴352连接的第二气路354、分别与第一气路353和第二气路354连接的气管接头356以及与气管接头356连接的气压控制器357。具体地，在气压控制器357的控制下，第一气路353和第二气路354内形成负压，进而通过第一吸嘴351、第二吸嘴352在预定位置上对承载件或基片进行吸附。可以理解的是，气压的强度大小、时间等参数均可控，从而在预设的条件下进行不同的操作。为了监测气路的负压情况，气压控制器357包括与第一气路353相连的第一真空压力表以及与第二气路354相连的第二真空压力表，例如两真空压力表分别安装在支撑机构31的导轨313外侧，如图4所示。
57.优选地，如图11a-11b以及12a-12c所示，第一气路353、第二气路354收容在本体35a内，第一吸嘴351和第二吸嘴352凸伸本体35a之外并向承载件21和基片23延伸以吸附承载件21和基片23，气管接头356设于本体35a的外侧。其中，气管接头356是为保证气路的气密性而设，本体35a外侧开设有多个与气路连接的开孔(图未标示)，气管接头356通过开孔与两气路连接。可理解的是，由于承载件21和基片23需要在不同的流程下进行各自的吸附定位，因此，第一气路353和第二气路354彼此独立，第一吸嘴351和第二吸嘴352彼此独立，由气压控制器357分别控制。例如，第一吸嘴351、第一气路353被配置为吸附承载件21，第二吸嘴352、第二气路354被配置为吸附基片23。为了保证吸附稳定性，如图12b所示，多个第一吸嘴351被配置以吸附承载件21的多个位置，例如吸附承载件21的四个边，每个边至少配置一个吸嘴，本实施例中每一长边配置四个吸嘴，每一短边配置两个吸嘴；多个第二吸嘴352被配置以吸附基片23的多个位置，例如吸附基片23的四个角落，每个角落至少配置一个吸嘴，本实施中每个角落配置一个吸嘴。当然，吸附的位置和数量并不受限制，针对不同的材料、待安装物的不同结构而定。本实施例中，针对第一吸嘴351和第二吸嘴352的配置情况，第一气路353和第二气路354相应配置，例如，第一气路353包括多个相连通的气管分别与对应的第一吸嘴351连接；第二气路354包括多个相连通的气管分别与对应的第二吸嘴352连接。图中所示的气管布局仅为一个优选实施例，并不限制本技术。又及，图7a展示其中一个第二喷嘴352吸附基板23时的状态图，图7b展示其中一个第一喷嘴35吸附承载件21时的状态图。
58.结合图13a-13d，展示本实用新型安装平台30的安装流程。首先，承载件21被定位在传动机构31上，此时，承载件21可选择地被吸附组件35吸附；接着，基片23由搬运机构33的拾取臂移取并放置在承载件21上，当基片23在预定位置放置后，吸附组件35的第二喷嘴352将基片23吸附定位，此时，吸附组件35的第一喷嘴351将承载件21吸附定位；继而，顶盖25由搬运机构33的拾取臂移取并放置在基片23上；最后，完成安装后的承载件21、基片23、顶盖25整体被移送至下一工位。
59.需注意的是，本实用新型安装平台可与基片的其他加工平台结合而构成具有不同功能的加工设备或加工系统，在此并不受限。
60.综上所述，本实用新型的安装平台30的吸附组件35位于支撑机构31之侧，被配置为在放置基片23时吸附并定位承载件21以及在放置顶盖25时吸附并定位承载件21和基片23，也就是说，在承载件21上安装基片23时以及在基片23上安装顶盖25时，借助吸附组件35
将承载件21和基片23吸附定位，从而防止基片23相对承载件21的位置在安装过程中发生改变，保证在安装顶盖25后基片23不受损坏，从而保证基片23上元件的性能。
61.以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。