反射器单元及成膜装置的制作方法

反射器单元及成膜装置
1.相关申请
2.本技术主张以日本专利申请2021－131789号(申请日：2021年8月12日)为基础申请的优先权。本技术通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。
技术领域
3.本发明涉及反射器单元及成膜装置。


背景技术：

4.以往，在功率器件等的半导体元件的制造工序中，使用在基板上使单结晶薄膜(例如sic)气相生长而成膜的外延生长技术。在用于外延生长技术的成膜装置中，将基板载置到被保持为常压或减压的腔室的内部，一边使该基板旋转且加热，一边向腔室内供给原料气体及掺杂气体。由此，在基板的表面发生原料气体的热分解反应及氢还原反应，在基板上成膜出外延膜。
5.如果将连接着原料气体的导入部并构成腔室上部的环状的顶板通过辐射热或传导热加热，则在腔室中发生较大的应力。为了抑制这样的向腔室的应力施加，在顶板的内周设有反射器单元。
6.气体导入部附近的构造抑制辐射及导热等的同时，为了该构造的维持而将腔室开放的维护等较容易也是重要的。但是，根据反射器、腔室的形状及将它们固定的方法，受到来自部件的热传导及其自身的温度分布的影响，在腔室上发生较大的应力。


技术实现要素：

7.本发明的目的是提供一种能够充分地抑制向腔室的热传导、抑制应力的发生的反射器单元及成膜装置。
8.本技术方案的反射器单元具备：圆筒状的第1反射器零件，在外周侧设有用来被成膜腔室支承的第1卡合部，在内周侧设有第1搭载部；以及圆筒状的第2反射器零件，配置在上述第1反射器零件的内侧，在外周侧设有用来在上述第1搭载部上卡合而被上述第1反射器零件支承的第2卡合部。
9.此外，也可以是，上述第1卡合部其铅垂方向的位置及水平方向的相位中的至少某个与上述第2卡合部不同。
10.此外，也可以是，上述第1卡合部、上述第1搭载部及上述第2卡合部中的至少某个在周向上局部地大致均等配置在至少3处。
11.此外，也可以是，在上述第2反射器零件上，还在内周侧设有第2搭载部，反射器单元具备圆筒状的第3反射器零件，上述第3反射器零件配置在上述第2反射器零件的内侧，在外周侧设有用来在上述第2搭载部上卡合而被上述第2反射器零件支承的第3卡合部。
12.此外，也可以是，还具备设在上述第1搭载部与上述第2卡合部之间的第1隔热部。
13.此外，也可以是，在上述第1及第2反射器零件中，使用在碳上成膜有sic膜或tac膜
的部件。
14.此外，也可以是，还具备配置在上述第1反射器零件与上述第2反射器零件之间的空间并具有大致圆筒形的第2隔热部。
15.本技术方案的成膜装置具备：腔室，在上部具有有开口的顶板，收容基板而进行成膜处理；气体供给部，设在上述腔室的上方，经由上述顶板的上述开口向上述基板上供给原料气体；加热器，将上述基板加热；以及上述的反射器单元，设置在上述顶板的上述开口。
16.此外，也可以是，上述反射器单元与上述顶板卡合而被固定。
17.此外，也可以是，上述反射器单元被固定在安装于上述气体供给部的安装部上。
18.根据这样的本技术方案的反射器单元及成膜装置，能够充分地抑制向腔室的热传导，抑制应力的发生。
附图说明
19.图1是表示第1实施方式的成膜装置的结构例的剖视图。
20.图2是表示反射器单元及其周边的结构例的剖视图。
21.图3是表示第1反射器单元的结构例的剖视图。
22.图4是表示反射器零件的结构例的俯视图。
23.图5是沿着图4的b－b线的剖视图。
24.图6是表示反射器零件的结构例的侧视图。
25.图7是表示其他的反射器零件的结构例的俯视图。
26.图8是沿图7的b－b线的剖视图。
27.图9是表示其他的反射器零件的结构例的侧视图。
28.图10是表示第2实施方式的第1反射器单元的结构例的剖视图。
29.图11是表示第1实施方式的变形例的第1反射器单元的结构例的剖视图。
30.图12是表示第3实施方式的第1反射器单元的结构例的剖视图。
31.图13是表示第1反射器单元的更详细的结构例的剖视图。
32.图14是表示第1支承部件的结构例的图。
33.图15是表示第1支承部件的结构例的图。
34.图16是表示第1支承部件的结构例的图。
35.图17是表示第2支承部件的结构例的图。
36.图18是表示第2支承部件的结构例的图。
37.图19是表示被结合的第1及第2支承部件的结构例的立体图。
38.图20是表示被结合的第1及第2支承部件的另一结构例的剖视图。
39.图21是表示被结合的第1及第2支承部件的另一结构例的俯视图。
具体实施方式
40.以下，参照附图说明有关本发明的实施方式。本实施方式不是限定本发明的。附图是示意性或概念性的，各部分的比率等并不一定与现实相同。在说明书和附图中，对于与关于已出现的图叙述过的要素相同的要素赋予相同的附图标记，将详细的说明适当省略。
41.(第1实施方式)
42.图1是表示第1实施方式的成膜装置10的结构例的剖视图。成膜装置10具备腔室13、内衬(liner)20、冷却部31、32、35、气体供给部12、排气部50、接受器60、支承部70、旋转机构80、下部加热器90、上部加热器95和反射器单元100。
43.腔室13由大致圆筒形的金属构成，例如是不锈钢制。腔室13的内部能够由连接在排气部50上的未图示的真空泵进行压力调整。
44.在腔室13的上方的气体供给部12，设有用来供给气体的喷嘴n及第1冷却部31、第2冷却部32。从喷嘴n供给的包括原料气体、载气、掺杂气体在内的工艺气体被第1冷却部31、第2冷却部32抑制温度上升。
45.腔室13能够收容基板w，进行成膜处理。在腔室13中，设有接受器60、旋转机构80、下部加热器90及上部加热器95等。从喷嘴n供给的气体在被加热的基板w的表面上反应，在基板w上形成外延膜。该外延膜例如是sic膜等。
46.内衬20是对腔室13的内壁进行覆盖并保护的中空筒状的部件，例如是sic覆层而成的碳制。内衬20抑制在腔室13的内壁上堆积副生成物。
47.冷却部31、32设在气体供给部12上，例如为冷却剂(例如水)的流路。通过冷却剂在流路中流动，冷却部31、32在气体供给部12内及气体供给部12的喷嘴n的周围抑制由来自上部加热器95或下部加热器90的热带来的气体的温度上升。
48.冷却部35设在腔室13中，与冷却部31、32同样例如为冷却剂(例如水)的流路。冷却部35设置为，使来自上部加热器95或下部加热器90的热不将腔室13加热。
49.气体供给部12以与基板w的表面对置的方式设在腔室13的上方，具有多个喷嘴n。气体供给部12经由喷嘴n将原料气体、掺杂气体及载气向腔室13内部供给。
50.排气部50设在腔室13的底部，将成膜处理中使用后的剩余的气体及反应副生成物向腔室13的外部排气。
51.接受器60是能够载置基板w的圆环状的部件，例如由sic(碳化硅)或碳等的材料形成。支承部70是能够支承接受器60的圆筒形的部件，例如与接受器60同样是碳制。支承部70与旋转机构80连接，构成为能够通过旋转机构80旋转。支承部70能够使基板w与接受器60一起旋转。接受器60及支承部70除了碳以外，例如由sic(碳化硅)、tac(碳化钽)、tac覆层后的碳等的有1700℃以上的耐热性的材料形成。
52.下部加热器90设在接受器60的下方并且支承部70的内部。下部加热器90将基板w从其下方加热。上部加热器95沿着腔室13的侧面设置，将腔室13的内部加热以使基板w的温度不下降。上部加热器95设在反射器单元100的下方。在旋转机构80使基板w例如以900rpm以上的高速旋转的同时，下部加热器90及上部加热器95将该基板w加热到1500℃以上的高温。由此，能够将基板w均匀地加热。
53.反射器单元100设在设于腔室13的上部的环状的顶板110的内侧，例如是碳制。反射器单元100将来自下部加热器90、上部加热器95的热向下方反射，并抑制向腔室13的热传导。由此，使得气体供给部12及腔室13上部的温度不过度地上升。例如，反射器单元100除了碳以外，优选的是由sic(碳化硅)、tac(碳化钽)、w(钨)、mo(钼)等的有1700℃以上的耐热性的材料形成。反射器单元100为了将热效率良好地反射而具有使多个薄板以规定的间隔离开的构造。反射器单元100的更详细的结构后述。
54.图2是表示反射器单元100及其周边的结构例的剖视图。另外，气体供给部12的图
示省略。
55.反射器单元100设在腔室13的上部(即，气体供给部12的正下方)，包括第1反射器单元100a和第2反射器单元100b。
56.第1反射器单元100a安装在设在腔室13的上部的顶板110上。顶板110构成腔室13的上部。顶板110是与腔室13大致同心圆状地设置的环状部件，例如由不锈钢等的金属构成。顶板110构成为，其内周部分c的下部从大致铅垂方向向大致水平方向成为规定的曲率。由此，抑制成膜处理中的热所带来的应力集中到顶板110的内周部分c的下部。
57.并且，为了抑制由成膜处理带来的热并保护腔室13，在顶板110的内周侧设置反射器单元100。
58.顶板110在内壁面具有多个突起部110a。第1反射器单元100a以经由后述的顶板的罩(以下，单记作罩)103而通过自重卡挂在顶板110的突起部110a上的方式被支承，不使用螺栓等紧固。第1反射器单元100a由多个反射器零件构成。多个反射器零件都具有大致圆筒形，通过相互卡合或被支承而以嵌块状配置在顶板110的内周部分c。
59.另一方面，第2反射器单元100b被安装在腔室13的沿大致水平方向延伸的内壁面上。第2反射器单元100b以将多个反射器零件重叠的方式构成，被使用螺栓等经由保持部件紧固固定在腔室13上。
60.图3是表示第1反射器单元100a的结构例的剖视图。设第1反射器单元100a的圆筒形的周向为d3，设径向为d2，设相对于d3及d2正交方向为d1。d1是铅垂方向(铅垂上方或铅垂下方)。图3表示径向(d2)的第1反射器单元100a的设置部分的截面。另外，这些方向不需要严格是铅垂或水平，而容许某种程度的误差。
61.罩103在处于气体供给部12与腔室13之间的顶板110的内周部分c，将腔室13的内壁覆盖。罩103沿着顶板110的内周部分c的曲面部分设置。罩103例如为了防止反应副生成物向顶板的附着而设置。
62.罩103沿着腔室13的内壁构成为大致环状。罩103具有多个卡合部103a。卡合部103a例如在形成于罩103的外周侧上部的凸缘上设置多个缺口而构成，与设在顶板110的内周侧的突起部110a卡合。由此，罩103通过自重经由卡合部103a被突起部110a支承，将顶板的内周面覆盖。在罩103中例如使用石英等的耐热性材料。
63.罩103具有比顶板110的内径稍小的直径，以便能够将顶板110的内周面覆盖。另一方面，卡合部103a的外径比突起部110a的内接圆的内径大，以使卡合部103a卡挂在突起部110a上。通过这样构成，罩103能够以覆盖顶板110的内周面的状态得到固定。
64.罩103经由罩103与设在顶板110的内周部分c上的多个突起部110a卡合，被突起部110a支承。突起部110a以从顶板110内壁向径向突出的方式设置。突起部110a与顶板110一体形成，与顶板110同样由不锈钢等的金属构成。另外，突起部110a也可以与顶板110是分体的。在此情况下，突起部110a例如只要粘接或焊接到顶板110的侧壁上即可。
65.第1反射器单元100a具备反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104。
66.作为第1反射器零件的反射器零件101_1以将顶板110的内周部分c覆盖的方式具有大致圆筒形。即，反射器零件101_1以其侧壁将顶板110的内周部分c在铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。另外，在反射器零件101_1、102_1、101_2、102_2、104中，例如使用碳、sic覆层后的碳、tac覆层后的碳等的耐热性材料。反射器零件101_1、102_1、101_2、
102_2、104例如也可以是在碳上成膜有sic膜或tac膜的材料。
67.反射器零件101_1在径向(d2)的截面中，在上端具有向外侧突出的作为第1卡合部的卡合部101a_1，在下端具有向内侧突出的作为第1搭载部的搭载部101b_1。卡合部101a_1经由罩103的卡合部103a与设在顶板110的内周部分c的突起部110a的上方卡合，被突起部110a支承。搭载部101b_1为了搭载作为第2反射器零件的反射器零件102_1而向内侧突出。这样，反射器零件101_1在上端具有卡合部101a_1，在下端具有搭载部101b_1。由此，反射器零件101_1通过自重与顶板110的突起部110a卡合而被支承，并且能够用搭载部101b_1搭载并支承反射器零件102_1。
68.反射器零件101_1的在铅垂方向(d1)上延伸的部分101_1a具有比罩103的内径稍小的外径，以便能够进入到罩103的内侧。另一方面，卡合部101a_1的外接圆的直径比罩103的内径或突起部110a的内接圆的直径稍大，以使卡合部101a_1卡挂在罩103或突起部110a上。通过这样构成，反射器零件101_1能够以将顶板110的内周部分c及罩103的内周面覆盖的状态载置。
69.卡合部101a_1抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件101_1与罩103之间，抑制反射器零件101_1及罩103被热辐射直接加热。搭载部101b_1抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间，抑制反射器零件101_1、102_1被热辐射直接加热。进而，卡合部101a_1抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件101_1与罩103之间，抑制堆积物附着到反射器零件101_1及罩103上。由此，能够维持反射器零件101_1及罩103的热辐射的反射率。搭载部101b_1抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间，抑制堆积物附着到反射器零件101_1、102_1上。由此，能够维持反射器零件101_1、102_1的热辐射的反射率。
70.作为第2反射器零件的反射器零件102_1以将顶板110的内周部分c覆盖的方式具有大致圆筒形。即，反射器零件102_1以其侧壁将反射器零件101_1的内表面在铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。
71.反射器零件102_1在径向(d2)的截面中，在上方具有向内侧突出的作为第2搭载部的搭载部102b_1，在下方具有向外侧突出的作为第2卡合部的卡合部102a_1。卡合部102a_1与反射器零件101的搭载部101b_1卡合，被搭载部101b_1支承。搭载部102b_1为了搭载反射器零件101_2而向内侧突出。这样，反射器零件102_1在上端具有搭载部102b_1，在下方具有卡合部102a_1。由此，反射器零件102_1通过自重与反射器零件101_1的搭载部101b_1卡合而被支承，并且能够搭载并支承反射器零件101_2。
72.反射器零件102_1的在铅垂方向(d1)上延伸的部分102_1a具有比反射器零件101_1的内径稍小的外径，以便能够进入到反射器零件101_1的内侧。另一方面，卡合部102a_1的外接圆的直径比反射器零件101_1的搭载部101b_1的内接圆直径稍大，以使卡合部102a_1卡挂在反射器零件101_1的搭载部101b_1上。通过这样构成，将反射器零件102_1以将反射器零件101_1的内周面覆盖的状态载置。
73.反射器零件102_1在上端还具有向径向(d2)的外侧突出的突出部102c_1，在下端还具有向径向(d2)的内侧突出的突出部102d_1。突出部102c_1抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间，抑制反射器零件101_1、102_1被热辐射直接加热。突出部102d_1抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之
间，抑制反射器零件101_1、102_1被热辐射直接加热。进而，突出部102c_1抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间，抑制堆积物附着到反射器零件101_1、102_1上。由此，能够维持反射器零件101_1、102_1的热辐射的反射率。突出部102d_1抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之间，抑制堆积物附着到反射器零件102_1、101_2上。由此，能够维持反射器零件102_1、101_2的热辐射的反射率。
74.另外，卡合部102a_1及搭载部102b_1也具有与突出部102c_1、102d_1同样的功能。即，卡合部102a_1抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间。搭载部102b_1抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之间。进而，卡合部102a_1抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件101_1与反射器零件102_1之间。搭载部102b_1抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之间。
75.作为第3反射器零件的反射器零件101_2基本上具有与反射器零件101_1同样的截面构造。反射器零件101_2在内周部分c以将腔室13的内壁覆盖的方式具有大致圆筒形。反射器零件101_2以其侧壁将顶板110的内周部分c在大致铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。
76.反射器零件101_2在径向(d2)的截面中，在上方具有向外周侧突出的卡合部101a_2，在下端具有向内周侧突出的搭载部101b_2。卡合部101a_2与在其外侧邻接的反射器零件102_1的搭载部102b_1卡合，被搭载部102b_1支承。反射器零件101_2的搭载部101b_2为了搭载反射器零件102_2而向内周侧突出。这样，反射器零件101_2在上端具有卡合部101a_2，在下端具有搭载部101b_2。由此，反射器零件101_2通过自重与反射器零件102_1的搭载部102b_1卡合而被支承，并且能够搭载并支承反射器零件102_2。
77.反射器零件101_2的在铅垂方向(d1)上延伸的部分101_2a具有比反射器零件102_1的内径稍小的外径，以便能够进入到反射器零件102_1的内侧。另一方面，反射器零件101_2的卡合部101a_2的外接圆的直径比反射器零件102_1的搭载部102b_1的内接圆的直径稍大，以使卡合部101a_2卡挂在反射器零件102_1的搭载部102b_1上。通过这样构成，反射器零件101_2能够以将反射器零件102_1覆盖的状态载置。
78.卡合部101a_2具有与卡合部101a_1同样的功能，抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之间。搭载部101b_2具有与搭载部101b_1同样的功能，抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间。进而，卡合部101a_2抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件102_1与反射器零件101_2之间。搭载部101b_2抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间。由此，卡合部101a_2及搭载部101b_2能够得到与卡合部101a_1及搭载部101b_1同样的效果。
79.反射器零件102_2基本上具有与反射器零件102_1同样的截面构造。反射器零件102_2在顶板110的内周部分c以将腔室13的内壁覆盖的方式具有大致圆筒形。反射器零件102_2以其侧壁将反射器零件102_1的内表面在铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。
80.反射器零件102_2在径向(d2)的截面中，在上端具有向径向的内侧突出的搭载部102b_2，在下端具有向径向的外侧延伸的卡合部102a_2。反射器零件102_2的卡合部102a_2
与反射器零件101_2的搭载部101b_2卡合，被反射器零件101_2的搭载部101b_2支承。反射器零件102_2的搭载部102b_2为了搭载反射器零件104而向径向的内侧突出。这样，反射器零件102_2在沿铅垂方向(d1)延伸的主体的上端具有搭载部102b_2，在下端具有卡合部102a_2。由此，反射器零件102_2通过自重与反射器零件101_2的搭载部101b_2卡合而被支承，并且能够搭载并支承反射器零件104。
81.反射器零件102_2的在铅垂方向(d1)上延伸的部分102_2a具有比反射器零件101_2的内径稍小的外径，以便能够进入到反射器零件101_2的内侧。另一方面，反射器零件102_2的卡合部102a_2的外接圆的直径比反射器零件101_2的搭载部101b_2的内接圆的直径稍大，以使卡合部102a_2卡挂在反射器零件101_2的搭载部101b_2上。通过这样构成，反射器零件102_2能够以将反射器零件101_2的内周面覆盖的状态载置。
82.反射器零件102_2在上端还具有向径向(d2)的外侧突出的突出部102c_2，在下端还具有向径向(d2)的内侧突出的突出部102d_2。突出部102c_2抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间，抑制反射器零件101_2、102_2被热辐射直接加热。突出部102d_2抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件102_2与反射器零件104之间，抑制反射器零件102_2被热辐射直接加热。进而，突出部102c_2抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间，抑制堆积物附着到反射器零件101_2、102_2上。由此，能够维持反射器零件101_2、102_2的热辐射的反射率。突出部102d_2抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件102_2与反射器零件104之间，抑制堆积物附着到反射器零件102_2、104上。由此，能够维持反射器零件102_2、104的热辐射的反射率。
83.另外，卡合部102a_2及搭载部102b_2也具有与突出部102c_2、102d_2同样的功能。即，卡合部102a_2抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间。搭载部102b_2抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件102_2与反射器零件104之间。进而，卡合部102a_2抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件101_2与反射器零件102_2之间。搭载部102b_2抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件102_2与反射器零件104之间。
84.反射器零件104在顶板110的内周部分c以将反射器零件102_2的内壁覆盖的方式具有大致圆筒形。反射器零件104例如也可以是在碳材料上成膜了sic膜或tac膜的材料。但是，反射器零件104由于是第1反射器单元100a的最内侧的反射器零件，所以优选的是由在碳材料上覆盖有sic膜的材料构成。
85.反射器零件104在上端具有向径向(d2)的外侧突出的卡合部104a。反射器零件104的卡合部104a与在其外侧邻接的反射器零件102_2的搭载部102b_2卡合，被搭载部102b_2支承。这样，反射器零件104在沿铅垂方向(d1)延伸的主体的上端具有卡合部104a。由此，反射器零件104通过自重与反射器零件102_2的搭载部102b_2卡合而能够被支承。
86.反射器零件104的沿铅垂方向(d1)延伸的部分104a_a具有比反射器零件102_2的内径稍小的外径，以便能够进入到反射器零件102_2的内侧。另一方面，卡合部104a的外接圆的直径比反射器零件102_2的搭载部102b_2的内接圆的直径稍大，以使卡合部104a卡挂在反射器零件102_2的搭载部102b_2上。通过这样构成，反射器零件104能够以将反射器零件102_2的内周面覆盖的状态载置。
87.卡合部104a具有与卡合部101a_2同样的功能，抑制来自上方的热辐射进入到反射
器零件102_2与反射器零件104之间。进而，卡合部104a抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件102_2与反射器零件104之间。由此，卡合部104a能够得到与卡合部101a_2同样的效果。
88.这样，本实施方式的第1反射器单元100a由反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104构成。反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104以顶板110的突起部110a为起点连续地卡挂而配置。由此，在反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104中，处于径向的外侧的反射器零件支承着处于径向的内侧的反射器零件。由此，在本实施方式中，不需要使用螺栓等的紧固工具进行固定。由于不使用螺栓等的紧固工具，所以抑制了经由紧固工具的热传导。此外，由于不使用螺栓等的紧固工具，所以第1反射器单元100a的拆卸、安装较简单，维护变得容易。进而，构成第1反射器单元100a的零件件数变少。
89.此外，为了用紧固工具进行紧固，需要在反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104及顶板110上形成紧固孔，将它们用紧固工具紧固。在此情况下，在第1反射器单元100a及顶板110上被施加机械性的应力。如果这样的机械性的应力在热应力以外被施加在顶板110上，则腔室13容易损坏。相对于此，本实施方式的第1反射器单元100a由于不使用紧固工具，所以能够抑制机械性的应力被施加在顶板110即腔室13上。
90.此外，反射器零件101_1、101_2、102_1、102_2、104分别在铅垂方向(d1)上延伸，在径向(d2)上以嵌块状排列。由此，第1反射器单元100a能够将从大致水平方向到来的热辐射有效地反射。此外，第2反射器单元100b由在铅垂方向(d1)上重叠配置的反射器零件构成。因而，来自上部加热器95或下部加热器90的下方的热辐射被第2反射器单元100b有效地反射。由此，反射器单元100a、100b能够抑制向顶板110的热传导，抑制由热辐射带来的过剩的加热。由此，能够抑制由热应力带来的腔室13的损坏。
91.反射器零件101_1、101_2虽然直径的大小不同，但在图3所示的截面中具有相互大致相等的形状。此外，反射器零件102_1、102_2也虽然直径的大小不同，但在图3所示的截面中具有相互大致相等的形状。由此，在第1反射器单元100a中，多个第1反射器零件101_1、101_2和多个第2反射器零件102_1、102_2交替地在径向上以层状重叠而排列。处于罩103与反射器零件104之间的第1及第2反射器零件的数量没有被特别限定，分别既可以比两个少也可以比两个多。
92.在本实施方式中，反射器零件101_1的卡合部101a_1与罩103的卡合部103a接触，反射器零件102_1的卡合部102a_1与反射器零件101_1的搭载部101b_1接触，反射器零件102_1的搭载部102b_1与反射器零件101_2的卡合部101a_2接触，反射器零件101_2的搭载部101b_2与反射器零件102_2的卡合部102a_2接触，反射器零件102_2的搭载部102b_2反射器零件104的卡合部104a。但是，在其以外的部分中，罩103、反射器零件101_1、102_1、101_2、102_2、104不接触。因而，邻接的反射器零件的接触面设在各反射器零件的端部，在铅垂方向(d1)上离开(铅垂方向上的高度位置不同)，相互错开地以锯齿状配置。由此，从配置在第1反射器单元100a的最内侧的反射器零件104起到顶板110的热传导路如由图3的虚线箭头a1表示那样变长。通过这样使热传导路变长，反射器零件104的热不易被传导到顶板110。结果，第1反射器单元100a能够将来自水平方向的热辐射有效地遮断，保护顶板110免受热损伤。
93.图4是表示反射器零件101_1的结构例的俯视图。图5是沿着图4的b－b线的剖视
图。图6是表示反射器零件101_1的结构例的侧视图。参照图4～图6说明反射器零件101_1的结构。其他的反射器零件101_2的结构虽然直径不同，但与反射器零件101_1的结构基本上相同，所以省略其说明。反射器零件101_1例如由在碳材料上成膜了sic膜或tac膜的材料构成。
94.如图4所示，反射器零件101_1具备在其内侧在径向(d2)上突出并设在周向(d3)的整体上的凸缘101b_11、和在凸缘101b_11上在铅垂方向(d1)上突出的多个搭载部101b_1。即，搭载部101b_1设在反射器零件101_1的凸缘101b_11上。多个搭载部101b_1如图4所示，不是设在反射器零件101_1的内周整体上的，而是局部地大致均等配置在其内周的4处。搭载部101b_1只要能够稳定地支承反射器零件101_1即可，只要大致均等配置在至少3处即可。
95.假如在多个搭载部101b_1设在反射器零件101_1的内周整体上的情况下，反射器零件102_1的卡合部102a_1与凸缘101b_11接触，相互的接触面积变大。在此情况下，反射器零件101_1与反射器零件102_1之间的热传导性变得比较高。因此，导致第1反射器单元100a的热遮断效果下降。
96.因而，使多个搭载部101b_1从凸缘101b_11局部地突出，使卡合部102a_1卡合到多个搭载部101b_1上。由此，反射器零件101_1与反射器零件102_1的接触面积变小。另一方面，为了将反射器零件102_1稳定地支承，多个搭载部101b_1优选的是大致均等地配置在反射器零件101_1的内周，并且以充分的强度与搭载部101b_1连接。
97.另一方面，反射器零件101_1如图5及图6所示，在与搭载部101b_1相反侧的端部的外侧具备在径向(d2)上突出的卡合部101a_1。即，卡合部101a_1也作为反射器零件101_1的凸缘设置。卡合部101a_1也可以设在反射器零件101_1的外周整体上。在此情况下，只要将图3的罩103的卡合部103a与搭载部101b_1同样地局部地大致均等配置即可。由此，即使卡合部101a_1设在反射器零件101_1的外周整体上，也能够使与卡合部103a的接触面积变小。
98.图7是表示其他的反射器零件102_1的结构例的俯视图。图8是沿着图7的b－b线的剖视图。图9是表示其他的反射器零件102_1的结构例的侧视图。参照图7～图9说明反射器零件102_1的结构。反射器零件102_2的结构虽然直径不同，但与反射器零件102_1的结构基本上相同，所以省略其说明。反射器零件102_1例如由在碳材料上成膜了sic膜或tac膜的材料构成。
99.如图7所示，反射器零件102_1具备在其内侧在径向(d2)上突出的多个搭载部102b_1。多个搭载部102b_1如图7所示，不是设在反射器零件101_2的内周整体上，而是局部地大致均等配置在其内周的例如4处。搭载部102b_1只要能够将反射器零件101_2稳定地支承即可，只要大致均等配置在至少3处即可。
100.假如在多个搭载部102b_1设在反射器零件101_2的内周整体上的情况下，与反射器零件101_2的卡合部101a_2的接触面积有可能变大。在此情况下，反射器零件101_2与反射器零件102_1之间的热传导性变得比较高。因此，导致第1反射器单元100a的热遮断效果下降。
101.因而，多个搭载部102b_1为了使与卡合部101a_2的接触面积变小，优选的是局部地设置并且设为小面积。另一方面，为了将反射器零件101_2稳定地支承，多个搭载部102b_1优选的是大致均等地配置在反射器零件101_2的内周上，并且以充分的强度连接在搭载部
102b_1上。
102.另一方面，反射器零件102_1如图8所示，在与搭载部102b_1相反侧的端部的内侧具备在径向(d2)上突出的突出部102d_1。突出部102d_1如图7所示，优选的是设在反射器零件102_1的内周整体上。突出部102d_1不与其他的反射器零件接触，但为了抑制热辐射进入反射器零件102_1与反射器零件101_2之间的而设置。因而，通过突出部102d_1设在反射器零件102_1的内周整体上，能够有效地抑制热辐射的进入。结果，第1反射器单元100a的热遮断效果提高。
103.如图8及图9所示，反射器零件102_1在其外侧具备在径向(d2)上突出的卡合部102a_1。卡合部102a_1也可以设在反射器零件101_2的外周整体上。在此情况下，只要将图3的反射器零件101_1的搭载部101b_1与搭载部102b_1同样地局部地大致均等配置即可。由此，即使将卡合部102a_1设在反射器零件101_2的外周整体上，也能够减小与搭载部101b_1的接触面积。
104.如图8及图9所示，反射器零件102_1在与卡合部102a_1相反侧的端部的外侧具备在径向(d2)上突出的突出部102c_1。突出部102c_1优选的是如图7所示那样设在反射器零件102_1的外周整体上。突出部102c_1不与其他的反射器零件接触，但为了抑制热辐射进入反射器零件102_1与反射器零件101_1之间而设置。因而，通过将突出部102c_1设在反射器零件102_1的外周整体上，能够有效地抑制热辐射的进入。结果，第1反射器单元100a的热遮断效果提高。
105.此外，在本实施方式中，反射器零件101_1、102_1及101－2、102－2、104也可以是连续的圆筒。但是，也可以如图4、图7所示那样在一部分上具有狭缝(切入部)sl。狭缝sl将反射器零件的由热带来的膨胀或收缩吸收，能够抑制作用在反射器零件自身上的热应力。
106.另外，在上述实施方式中，反射器零件101_1的搭载部101b_1在周向上局部地配置，与搭载部101b_1接触的反射器零件102_1的卡合部102a_1遍及整周设置。但是，也可以相反，搭载部101b_1遍及整周设置，卡合部102a_1在周向上局部地设置。
107.进而，也可以将搭载部101b_1及卡合部102a_1的两者在周向上局部地设置。在此情况下，需要配置为，使搭载部101b_1及卡合部102a_1在周向上大致均等地接触。
108.即，卡合部101a_1、101a_2或搭载部101b_1、101b_2只要在反射器零件101_1、101_2的周向上局部地大致均等配置在至少3处即可。卡合部102a_1、102a_2或搭载部102b_1、102b_2只要在反射器零件102_1、102_2的周向上局部地大致均等配置在至少3处即可。由此，抑制了邻接的反射器零件间的接触面积，能够使与搭载部101b_1的接触面积变小。
109.罩103、反射器零件104的卡合部103a、104a也可以分别在周向上局部地大致均等配置在至少3处。由此，能够使罩103与顶板110之间的接触面积以及反射器零件104与反射器零件102_2的接触面积变小。由此，能够使第1反射器单元100a的热遮断效果进一步提高。通过将卡合部103a大致均等配置，罩103能够将其他的反射器零件101_1、102_1、101_2、102_2、104稳定地支承。此时，各卡合部101a_1、101a_2、103a、104a、搭载部101b_1、101b_2的相位只要能够分别支承内周侧的反射器，也可以分别不同。通过这样的结构，能够对顶板110增长热传导路，能够保护顶板110免于热损伤。
110.此外，如图3所示，第1反射器单元100a也可以还具备设在邻接的反射器零件间的接触部处的隔热件101e_1、102e_1、101e_2、102e_2。例如，隔热件101e_1设在搭载部101b_1
与卡合部102a_1之间。隔热件102e_1设在搭载部102b_1与卡合部101a_2之间。隔热件101e_2设在搭载部101b_2与卡合部102a_2之间。隔热件102e_2设在搭载部102b_2与卡合部104a之间。
111.这样，隔热件101e_1、102e_1、101e_2、102e_2能够进一步抑制邻接的反射器零件间的接触部处的热传导。由此，能够使第1反射器单元100a的热遮断效果进一步提高。
112.(第2实施方式)
113.图10是表示第2实施方式的第1反射器单元100a的结构例的剖视图。在第2实施方式中，反射器零件201_1～201_4具有相互大致相同的截面形状。反射器零件201_1～201_4的卡合部201a_1～201a_4、104a处于大致相同的高度，搭载部201b_1～201b_4也处于大致相同的高度。第2实施方式的其他结构可以是与第1实施方式的对应的结构相同。
114.第1反射器单元100a具备反射器零件201_1～201_4、104、罩103。
115.反射器零件201_1～201_4分别具有从第1实施方式的反射器零件102_1省略了卡合部102a_1的构造。例如，反射器零件201_1～201_4在径向(d2)的截面中，在上端分别具有向径向(d2)的内侧延伸的搭载部201b_1～201b_4，并分别具有向径向(d2)的外侧延伸的卡合部201a_1～201a_4。卡合部201a_1～201a_4分别与罩103、搭载部201b_1～201b_3卡合。搭载部201b_1～201b_4向径向(d2)的内侧延伸，分别搭载卡合部201a_2～201a_4、104a，并支承反射器零件201_2～201_3、104。卡合部201a_1～201a_4、104及搭载部201b_1～201b_4具有与第1实施方式的卡合部101a_2及搭载部102b_1同样的功能及效果。
116.反射器零件201_1～201_4在下端分别具有向径向(d2)的内侧延伸的突出部201c_1～201c_4。突出部201c_1～201c_4抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件201_1～201_4、104间，并抑制反射器零件201_1～201_4、104被热辐射直接加热。突出部201c_1～201c_4抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件201_1～201_4、104间，并抑制堆积物附着到反射器零件201_1～201_4、104上。
117.反射器零件201_1～201_4虽然直径的大小不同，但在图10所示的截面中具有相互大致相等的形状。由此，在第2实施方式的第1反射器单元100a中，多个反射器零件201_1～201_4在径向上以层状排列。排列在罩103与反射器零件104之间的反射器零件201_1～201_4的数量没有特别限定，分别既可以比4个少，也可以比4个多。
118.在本实施方式中，反射器零件201_1的卡合部201a_1与罩103接触，反射器零件201_2的卡合部201a_2与反射器零件201_1的搭载部201b_1接触，反射器零件201_2的搭载部201b_2与反射器零件201_3的卡合部201a_3接触，反射器零件201_3的搭载部201b_3与反射器零件201_4的卡合部201a_4接触，反射器零件201_4的搭载部201b_4与反射器零件104的卡合部104a接触。卡合部201a_1～201a_4、104a与搭载部201b_1～201b_4的接触位置分别处于大致相同的高度。但是，在其以外的部分中，罩103、反射器零件201_1～201_4、104不接触。因而，邻接的反射器零件的接触面虽然不像第1实施方式那样离开，但其接触面的面积是有限的。第1反射器单元100a的热传导路如由图10的虚线箭头a2表示那样比较短。但是，由于邻接的反射器零件间的接触面积较小，所以反射器零件104的热不易传导到顶板110。结果，第1反射器单元100a将来自大致水平方向的热辐射有效地遮断，能够保护顶板110免受热损伤。
119.另外，各反射器零件201_1～201_4的结构从图7～图9的反射器零件102_1中省略
了卡合部102a_1。因而，各反射器零件201_1～201_4的结构通过参照图7～图9而能够容易地理解，所以省略其图示。
120.此外，如图10所示，第1反射器单元100a也可以还具备设在邻接的反射器零件间的接触部上的隔热件201e_1～201e_4。例如，隔热件201e_1～201e_4分别设在搭载部201b_1～201b_4与卡合部201a_1～201a_4之间。这样，隔热件201e_1～201e_4能够进一步抑制邻接的反射器零件间的接触部的热传导。由此，能够使第1反射器单元100a的热遮断效果进一步提高。
121.(变形例)
122.图11是表示第1实施方式的变形例的第1反射器单元100a的结构例的剖视图。在变形例中，还具备配置在邻接的反射器零件间的空间中的隔热件300_1～300_4。隔热件300_1～300_4分别呈大致圆筒形。另外，这些隔热件300_1～300_4也可以具有狭缝，也可以被分割为多个。
123.例如，隔热件300_1配置在反射器零件101_1与反射器零件102_1之间的空间中。隔热件300_2配置在反射器零件102_1与反射器零件101_2之间的空间中。隔热件300_3配置在反射器零件102_1与反射器零件101_2之间的空间中。隔热件300_4配置在反射器零件101_2与反射器零件102_2之间的空间中。
124.在隔热件300_1～300_4中，例如使用将碳纤维的成形隔热件进行了石墨覆层后的材料等的热传导率较低的材料。由此，第1反射器单元100a能够将来自水平方向的热辐射有效地遮断，更有效地保护顶板110免受热损伤。
125.本变形例的其他结构可以与第1实施方式的对应的结构同样。由此，本变形例还能够得到与第1实施方式同样的效果。
126.本变形例的隔热件300_1～300_4对于第2实施方式也同样能够应用。
127.(第3实施方式)
128.图12是表示第3实施方式的第1反射器单元100a的结构例的剖视图。在第3实施方式中，第1反射器单元100a的支承方法与上述实施方式不同。第1反射器单元100a经由安装在气体供给部12上的安装部108而被由结合部件501固定的第1及第2支承部件400、410支承。安装部108是沿着顶板110的内缘的大致圆环形状的部件。在安装部108中，例如除了碳、哈式合金(hastelloy)或石英以外，优选的是由sic(碳化硅)、tac(碳化钽)、w(钨)、mo(钼)、在碳上成膜了sic膜或tac膜后的材料等的有700℃以上的耐热性的材料形成。
129.第1反射器单元100a设在安装部108的下方。由此，安装部108保护气体供给部12免受从第1反射器单元100a放射的热损伤。此外，能够防止堆积物附着到腔室13的内壁上，维持内壁的反射率。另外，也可以将安装部108省略而直接固定到支承部件400、410、气体供给部12上。
130.图13是表示第1反射器单元100a的更详细的结构例的剖视图。第1反射器单元100a具备反射器零件101_1～107、第1支承部件400和第2支承部件410。
131.第1及第2支承部件400、410被结合部件500相互结合。此外，第1支承部件400被结合部件510、520经由安装部108结合在气体供给部12的上部。结合部件500、510、520例如是螺栓等的接合件。
132.第1支承部件400被固定在腔室13的上部。第2支承部件410被固定在第1支承部件
400上，被第1支承部件400支承。进而，第2支承部件410在其上表面上搭载并支承罩105、反射器零件106。罩105、反射器零件106支承其他的反射器零件101_1、102_1、101_2、107。由此，第1及第2支承部件400、410能够支承第1反射器单元100a整体，并相对于腔室13及顶板110载置。此外，在第3实施方式中，由于不将反射器单元载置在突起部110a，所以也可以将突起部110a省略。
133.第1反射器单元100a、第1及第2支承部件400、410及结合部件510、520例如除了碳、哈式合金、石英以外，优选的是由sic(碳化硅)、tac(碳化钽)、w(钨)、mo(钼)、在碳上成膜了sic膜或tac膜后的材料等的有700℃以上的耐热性的材料形成。
134.图14～图16是表示第1支承部件400的结构例的图。图14表示从第1支承部件400的侧面观察的剖视图。图15表示从第1支承部件400的正面观察的剖视图。图16表示第1支承部件400的俯视图。另外，图14表示沿着图15及图16的a－a线的截面。
135.第1支承部件400具备主体部401和突起部402、403。主体部401是在d1方向上延伸的板状部件。突起部402在主体部(板状部件)401的一端以向大致正交方向( d2方向)突出的方式设置。突起部403在主体部(板状部件)401的另一端以向与突起部402相反侧的大致正交方向(－d2方向)突出的方式设置。主体部401及突起部402、403优选的是一体形成。
136.在突起部402上，设有使结合部件500贯通的开口404。在突起部403上，设有使结合部件510贯通的开口405。开口404、405例如可以是与结合部件500、510的螺栓对应而将它们拧紧的螺母。在突起部403上还设有缺口部406。通过将结合部件520的一部分嵌入到缺口部406中，结合部件510及520将第1支承部件400的朝向相对于顶板110固定。
137.图17及图18是表示第2支承部件410的结构例的图。图17表示从第1支承部件400的侧面观察的剖视图。图18表示第1支承部件400的俯视图。另外，图17表示沿着图18的a－a线的截面。
138.第2支承部件410是大致方形的板状部件。在第2支承部件410上，设有使结合部件500贯通的开口412。开口412例如具有长圆形状或大致椭圆形，短径以比该螺纹部分稍大的方式形成，以便能够使结合部件500的螺纹部分贯通。
139.图19是表示被结合的第1及第2支承部件400、410的结构例的立体图。第2支承部件410的开口412与第1支承部件400的开口404连通，结合部件500贯通。通过将结合部件500相对于第1支承部件400的开口404拧紧，从而将第2支承部件410在结合部件500与第1支承部件400之间紧固并固定。通过第2支承部件410的开口412具有长圆形状或大致椭圆形，能够将第2支承部件410相对于第1支承部件400的相对位置在d2方向上变更。
140.具有这样的结构的第1及第2支承部件400、410如图8所示那样被安装到腔室13的内壁的上表面上。第1及第2支承部件400、410的安装个数为了充分地支承第1反射器单元100a而优选为较多，但另一方面，为了抑制从第1反射器单元100a向顶板110的热传导而优选为较少。因而，第1及第2支承部件400、410的安装个数设为能够充分地支承第1反射器单元100a并且尽可能抑制从第1反射器单元100a向顶板110的热传导的个数。例如，第1及第2支承部件400、410的安装个数至少是3个。当然，第1及第2支承部件400、410的安装个数也可以是4个以上。
141.此外，第1及第2支承部件400、410的安装位置为了将第1反射器单元100a大致均等地支承，并且使从第1反射器单元100a向顶板110的热传导大致均等地分散，优选的是大致
均等配置在顶板110的内周。
142.此外，在第3实施方式中，通过设置罩105，能够省略顶板110的罩103。第1支承部件400不与突起部110a及顶板110接触。由此，第1支承部件400能够进一步抑制从第1反射器单元100a向顶板110的热传导。
143.再次参照图8，更详细地说明第1反射器单元100a的结构。第1反射器单元100a包括反射器零件101_1～107。反射器零件101_1、102_1、101_2的结构可以与第1实施方式的这些结构相同。因而，省略反射器零件101_1、102_1、101_2的说明。
144.罩105以将顶板110的内周部分c覆盖的方式具有大致圆筒形。即，罩105以其侧壁将顶板110的内周部分c在铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。
145.罩105在径向(d2)的截面中在d1方向上大致在直线上延伸，被第2支承部件410从底面支承。在第1及第2支承部件400、410被安装在顶板110的内周的3处的情况下，罩105被3个第1及第2支承部件400、410在3处支承。
146.罩105能够抑制支承部件400、410及顶板110被来自反射器零件106、101_1、102_1、101_2、107的热辐射直接加热。此外，罩105能够抑制工艺气体与支承部件400、410及顶板110接触而堆积物附着。
147.反射器零件106以将顶板110的内周部分c覆盖的方式具有大致圆筒形。反射器零件106以其侧壁将罩105的内表面在铅垂方向(d1)及周向(d3)上覆盖的方式配置。
148.反射器零件106在径向(d2)的截面中，在上方具有向内侧突出的搭载部106b，在下方具有向外侧突出的卡合部106a。卡合部106a与第2支承部件410卡合，被第2支承部件410支承。搭载部106b为了搭载反射器零件101_1而向内侧突出。这样，反射器零件106在上端具有搭载部106b，在下方具有卡合部106a。由此，反射器零件106通过自重与第2支承部件410卡合而被支承，并且能够搭载并支承反射器零件101_1。
149.反射器零件106的在铅垂方向(d1)上延伸的部分具有比罩105的内径稍小的外径，以便能够进入到罩105的内侧。另一方面，卡合部106a的外接圆形成为比第2支承部件410的内端靠外侧，以使卡合部106a卡挂到第2支承部件410上。通过这样构成，反射器零件106以将罩105的内周面覆盖的状态载置。
150.反射器零件106在下端还具有向径向(d2)的内侧突出的突出部106c。突出部106c抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件106与反射器零件101_1之间，并抑制反射器零件106、101_1被热辐射直接加热。进而，突出部106c抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件106与反射器零件101_1之间，并抑制堆积物附着到反射器零件106、101_1上。由此，能够维持反射器零件106、101_1的热辐射的反射率。
151.另外，卡合部106a及搭载部106b也具有与突出部106c同样的功能。即，卡合部106a抑制来自下方的热辐射进入到罩105与反射器零件106之间。搭载部106b抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件106与反射器零件101_1之间。进而，卡合部106a抑制来自下方的工艺气体进入到罩105与反射器零件106之间。搭载部106b抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件106与反射器零件101_1之间。
152.反射器零件101_1、102_1、101_2的结构及功能与第1实施方式的这些是同样的，所以这里省略其说明。
153.反射器零件107在顶板110的内周部分c以将反射器零件101_2的内壁覆盖的方式
具有大致圆筒形。反射器零件107例如可以是在碳材料上成膜了sic膜或tac膜后的材料。但是，反射器零件107由于是第1反射器单元100a的最内侧的反射器零件，所以优选的是由在碳材料上覆盖有sic膜的材料构成。
154.反射器零件107在下端具有向径向(d2)的外侧突出的卡合部107a。反射器零件107的卡合部107a与在其外侧邻接的反射器零件101_2的搭载部101b_2卡合，被搭载部101b_2支承。这样，反射器零件107在沿铅垂方向(d1)延伸的主体的下端具有卡合部107a。由此，反射器零件107通过自重能够与反射器零件101_2的搭载部101b_2卡合而被支承。
155.反射器零件107的在铅垂方向(d1)上延伸的部分具有比反射器零件101_2的内径稍小的外径，以便能够进入到反射器零件101_2的内侧。另一方面，卡合部107a的外接圆的直径比反射器零件101_2的搭载部101b_2的内接圆的直径稍大，以使卡合部107a卡挂在反射器零件101_2的搭载部101b_2上。通过这样构成，反射器零件107能够以将反射器零件101_2的内周面覆盖的状态载置。
156.反射器零件107在上端还具有向径向(d2)的外侧突出的突出部107b。突出部107b抑制来自上方的热辐射进入到反射器零件107与反射器零件101_2之间，并抑制反射器零件107、101_2被热辐射直接加热。进而，突出部107b抑制来自上方的工艺气体进入到反射器零件107与反射器零件101_2之间，并抑制堆积物附着到反射器零件107、101_2上。由此，能够维持反射器零件107、101_2的热辐射的反射率。
157.卡合部107a具有与突出部107b同样的功能，抑制来自下方的热辐射进入到反射器零件101_2与反射器零件107之间。进而，卡合部107a抑制来自下方的工艺气体进入到反射器零件101_2与反射器零件107之间。由此，卡合部107a能够得到与突出部107b同样的效果。
158.另外，设在反射器零件106与反射器零件107之间的反射器零件101_1、102_1、101_2的组数没有被特别限定，也可以是两个以上。
159.第3实施方式的其他结构可以与第1实施方式的对应的结构同样。由此，第3实施方式还能够得到与第1实施方式同样的效果。此外，第3实施方式的支承方法也能够对以往型的在z方向上层叠的层叠型反射器应用。
160.(变形例)
161.图20是表示被结合的第1支承部件400的另一结构例的从侧面观察的剖视图。图21是表示被结合的第1支承部件400的另一结构例的俯视图。另外，支承部件410可以与图10所示的结构同样。
162.在本变形例中，在突起部403上设有多个开口405a、405b、407。开口405a、405b例如可以是与结合部件510a、510b的螺栓对应而将它们拧紧的螺母。支承部件400、410经由多个开口405a、405b被用结合部件510a、510b安装到腔室13的内壁的上表面上。由此，能够将支承部件400、410相对于腔室13更牢固地固定。
163.通过将结合部件520嵌在开口407中，结合部件510a、510b、520将支承部件400的朝向相对于顶板110固定。
164.本变形例的第1支承部件400的其他结构可以与第3实施方式的第1支承部件400的对应的结构同样。由此，本变形例能够得到与第3实施方式同样的效果。
165.说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为例子提示的，不是要限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种各样的形态实施，在不脱离发明的主旨的范围
内能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围或主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明和其等价的范围中。
166.附图标记说明
167.10成膜装置；12气体供给部；13腔室，c连接区域；12气体供给部，n喷嘴；90下部加热器；95上部加热器；100反射器单元；100a第1反射器单元；100b第2反射器单元；110顶板；110a突起部；101_1、101_2、102_1、102_2、104、106、107、210_1～201_4反射器零件；105罩；101a_1、101a_2、102a_1、102a_2卡合部；101b_1、101b_2、102b_1、102b_2搭载部；103、105罩；400、410支承部件；401主体部；402、403突起部；404、405、412开口；406缺口部；500、510、520结合部件。