镀膜用载具装置及真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用载具装置及真空镀膜机。


背景技术：

2.智能手机和ar/vr等产业的发展，使得市场对非平面的异形工件的镀膜需求增加。现有技术中，对于异形工件的镀膜，一般采用承载治具作为装载工件的载体，再将承载治具设置于载具上进行镀膜。一个载具上承载的工件数量有限，同时固定设置的载具使得镀膜装置仅能针对工件的固定位置进行镀膜，使得镀膜不均匀，镀膜效果差。所以，亟需一种镀膜用载具装置及真空镀膜机，以解决上述问题。


技术实现要素：

3.基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种镀膜用载具装置及真空镀膜机，镀膜效率更高，镀膜效果更好。
4.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.镀膜用载具装置，用于装载搬运载具，所述搬运载具包括连接部和承载部，待镀膜工件可设置于所述承载部，镀膜用载具装置包括：
6.载具本体，包括同轴设置的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板的周向外侧设置有多个第一承载位，所述连接部可拆卸地设置于所述第一承载位，所述第二安装板设置有多个朝向所述第一安装板的第二承载位，所述承载部可拆卸地设置于所述第二承载位；所述第一承载位沿所述载具本体的轴向方向在所述第二安装板上的投影位于所述第二承载位的内侧；
7.公转驱动组件，用于驱动所述镀膜用载具装置转动。
8.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述第一安装板的所述第一承载位上设置有安装凸起，所述安装凸起沿所述第一安装板的径向凸设于所述第一安装板，所述连接部与所述安装凸起可拆卸地连接。
9.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述第一安装板背离所述第二安装板的一面上设置凸起安装板，所述安装凸起设置于所述凸起安装板。
10.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述搬运载具上设置有防护部，所述防护部设置于所述待镀膜工件与所述载具本体之间。
11.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述镀膜用载具装置还包括自转驱动组件，所述自转驱动组件与所述第二安装板连接，所述自转驱动组件与所述第二承载位对应设置，用于驱动所述待镀膜工件转动。
12.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述承载部能相对于所述连接部转动，所述承载部与所述自转驱动组件传动连接。
13.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述自转驱动组件包括自转驱动件和自转
转轴，所述自转转轴与所述第二承载位一一对应，所述自转驱动件能驱动多个所述自转转轴转动，所述自转转轴与所述第二安装板转动连接。
14.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述自转驱动组件还包括与所述自转转轴一一对应的离合器，所述离合器能选择性连接所述承载部。
15.作为一种镀膜用载具装置的优选方案，所述第二安装板上设置有与所述自转转轴一一对应的安装通孔，所述自转转轴转动设置于所述安装通孔内。
16.真空镀膜机，包括镀膜室，以及设置于所述镀膜室内的镀膜装置和以上任一方案所述的镀膜用载具装置。
17.本实用新型的有益效果为：
18.本实用新型通过在第一安装板的周向上设置多个第一承载位，搬运载具的连接部与第一安装板的周向外侧可拆卸地固定连接，承载部设置于第二安装板上的第二承载位上；使得搬运载具和待镀膜工件远离载具本体的转轴，一方面可在满足镀膜相关需求的前提下不会过多占用载具本体的轴向空间，可以在同等高度的镀膜腔或载具本体中提高镀膜范围，另一方面还增加了承载空间，能用于承载多个待镀膜工件，提高了镀膜用载具装置的承载量，使得一次镀膜可以针对多个待镀膜工件，提高了镀膜效率。还便于在搬运载具上设置防护部，提高了搬运载具的适用性。另外，通过设置公转驱动组件，用于驱动载具本体以及其上的多个待镀膜工件公转，提高了多个镀膜工件的镀膜均匀性。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
20.图1是本实用新型具体实施方式提供的镀膜用载具装置隐藏搬运载具的示意图；
21.图2是本实用新型具体实施方式提供的镀膜用载具装置的搬运载具的示意图一；
22.图3是本实用新型具体实施方式提供的镀膜用载具装置的搬运载具的示意图二。
23.图中：
24.1、载具本体；11、第一安装板；111、减重孔；112、安装凸起；113、凸起安装板；12、第二安装板；13、支撑梁；
25.2、公转驱动组件；
26.3、自转驱动组件；31、自转转轴；32、离合器；
27.4、搬运载具；41、连接部；42、承载部；421、承载轴；422、底座；43、防护部；431、防护侧板；432、防护顶板；433、防护底板。
具体实施方式
28.下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。
30.除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
31.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
32.如图1-图3所示，本实施方式提供一种用于真空镀膜机的镀膜用载具装置，用于装载搬运载具4，搬运载具4包括连接部41和承载部42，连接部41设置于承载部42的周向外侧，待镀膜工件可设置于承载部42上。
33.该镀膜用载具装置包括载具本体1和公转驱动组件2。载具本体1包括第一安装板11和第二安装板12，第一安装板11和第二安装板12均呈圆形并平行和同轴设置。第一安装板11位于第二安装板12的上方。第一安装板11的周向外侧设置有多个第一承载位。搬运载具4的连接部41位于搬运载具4的上部，其被用于将搬运载具4设置于第一安装板11上的第一承载位。搬运载具4的连接部41可拆卸地设置于第一安装板11的周向外侧的第一承载位，设置方式可以是挂钩连接或卡销连接等。
34.具体地，第一承载位即第一安装板11上用于与连接部41连接的一个位置，为便于连接部41可拆卸地设置于第一承载位，第一安装板11的第一承载位上设置有安装凸起112。示例性地，一个第一承载位设置有两个安装凸起112，以保证连接部41连接的可靠性。可选地，安装凸起112可以设置为挂钩，且挂钩沿第一安装板11的径向凸设于第一安装板11，连接部41上的孔或凹槽与挂钩可拆卸地连接。
35.进一步地，为便于第一安装板11上设置安装凸起112，第一安装板11背离第二安装板12的一面上设置凸起安装板113，凸起安装板113的截面设置为l形，l形的一个侧面设置于第一安装板11背离第二安装板12的一面，安装凸起112设置于l形的凸起安装板113的另一个侧面。
36.作为一种镀膜用载具装置的可选方案，第二安装板12设置有多个朝向第一安装板11的第二承载位，第二承载位即第二安装板12及其连接的机构上用于与承载部42连接的一位置，承载部42可拆卸地设置于第二承载位；通过设置第一承载位和第二承载位，分别实现连接部41和承载部42与载具本体1的连接。
37.值得说明的是，以载具本体1的轴为基准，第一承载位沿载具本体1的轴向方向在第二安装板12上的投影位于第二承载位的内侧。通过上述设置，使得承载部42侧方的连接部41以及承载部42能分别设置于第一承载位和第二承载位，兼顾利用载具本体1的轴向空间；使得搬运载具4和待镀膜工件远离载具本体1的转轴，一方面可在满足镀膜相关需求的前提下不会过多占用载具本体1的轴向空间，可以在同等高度的镀膜腔或载具本体中提高
镀膜范围，另一方面还增加了承载空间，能用于承载多个待镀膜工件，提高了镀膜用载具装置的承载量，使得一次镀膜可以针对多个待镀膜工件，提高了镀膜效率。
38.搬运载具4的承载部42包括承载轴421和底座422，承载轴421用于装载待镀膜工件，其一端的径向一侧设置有连接部41，另一端设置有底座422；底座422用于将搬运载具4与第二安装板12连接。当位于承载轴421径向一侧的连接部41设置于第一承载位时，承载部42设置于第二承载位，此时承载轴421和底座422的轴线均与第二安装板12垂直设置。由于第一承载位沿载具本体1的轴向方向在第二安装板12上的投影位于第二承载位的内侧，所以搬运载具4的连接部41设置于载具本体1的第一承载位时也不会占用承载轴421的轴向空间，保证了承载部42的承载量。
39.待镀膜工件可通过工件治具安装在承载轴421的外周。在一些实施例中，承载轴421可以被替换成承载板，其可用于承载平面型的待镀膜工件。搬运载具4的承载部42与第二安装板12可拆卸地连接；具体来说，承载部42的底座422可与第二安装板12可拆卸地连接；连接方式可以是插接或卡销连接等。
40.公转驱动组件2能驱动载具本体1绕第一安装板11和第二安装板12的圆心的连线旋转。通过设置公转驱动组件2，用于驱动载具本体1以及其上的多个待镀膜工件公转，提高了多个镀膜工件的镀膜均匀性。
41.作为一种镀膜用载具装置的可选方案，镀膜用载具装置还包括自转驱动组件3，自转驱动组件3设置于第二安装板12上。由于第一安装板11和第二安装板12固连且同轴设置，所以公转驱动组件2能带动第二安装板12与其上的自转组件一同公转。
42.搬运载具4的连接部41固定设置于第一承载位，且承载部42相对于连接部41转动设置。当承载部42设置于第二承载位时，通过设置与第二承载位一一对应的自转驱动组件3，用于驱动每块待镀膜工件自转，进而提高每块待镀膜工件的镀膜均匀性。
43.本实施例中，第一安装板11和/或第二安装板12上设置有减重孔111。通过设置减重孔111，能有效地减轻镀膜用载具装置整体的重量，进而减轻公转驱动组件2的负载。示例性地，第一安装板11设置为圆形，圆形的第一安装板11上设置有多个减重孔111；第二安装板12设置为圆环形，中部设置有一个圆形的减重孔111。
44.作为一种镀膜用载具装置的可选方案，自转驱动组件3包括自转驱动件和自转转轴31，自转转轴31与第二安装板12转动连接，且与第二承载位一一对应，底座422能与自转转轴31连接，以用于带动置于对应第二承载位的待镀膜工件转动。自转驱动件能驱动多个自转转轴31转动，通过设置一个自动驱动件，有利于降低成本，同时保证多个自转转轴31之间转动的同步性。
45.优选地，自转驱动组件3还包括与自转转轴31一一对应的离合器32，离合器32能选择性连接底座422，当自转驱动件和自转转轴31连接时，自转驱动件的动力能依次经过自转转轴31和离合器32，并通过底座422和承载轴421与待镀膜工件传动连接，以驱动待镀膜工件自转。示例性地，离合器32靠近待镀膜工件的上端的周向设置为多齿结构，便于待镀膜工件与离合器32的连接，使得连接更加便捷，可靠。
46.示例性地，为实现自转转轴31与第二安装板12的安装，第二安装板12上设置有与自转转轴31一一对应的安装通孔，自转转轴31转动设置于安装通孔内。
47.值得说明的是，离合器32与底座422连接的一端可以凸设于第二安装板12朝向第
一安装板11的一侧，此时离合器32与底座422在第二安装板12的上方进行连接，视野更好，更加便于连接。于其他实施例中，离合器32与底座422连接的一端可以设置于安装通孔内，或者离合器32与底座422连接的一端设置于第二安装板12背离第一安装板11的一侧，如此设置均可以有效地减小镀膜用载具装置在高度方向的尺寸。在上述情况下，第二承载位均可以理解为朝向第一安装板11。
48.作为一种镀膜用载具装置的可选方案，搬运载具4与载具本体1可拆卸连接，待镀膜工件设置于搬运载具4上。通过设置用于承载待镀膜工件的搬运载具4，可减少直接搬运待镀膜工件对其的损伤。同时，搬运载具4与载具本体1可拆卸地固定连接，一方面便于及时更换镀膜工件和已经完成镀膜的工件，另一方面便于公转驱动组件2带动搬运载具4一同公转。
49.值得说明的是，待镀膜工件可以具有不同的形状，而且，待镀膜工件可以直接设置于搬运载具4，也可以先设置于搬运载具上，再将搬运载具设置于搬运载具4。
50.可选地，第一安装板11与第二安装板12之间设置有支撑梁13，用于实现第一安装板11与第二安装板12之间的固定连接，使得第一安装板11与第二安装板12平行间隔设置，用于实现搬运载具4与载具本体1的连接，同时还能适应更大尺寸的镀膜工件，提高了镀膜用载具装置通用性。
51.进一步地，搬运载具4的连接部41上还设置有防护部43，防护部43设置于待镀膜工件与载具1之间，能有效地镀膜过程中，防止膜屑污染载具本体1等，减少对镀膜室中部件的维护频率。
52.本实施例中，防护部43包括与承载部42平行设置的防护侧板431、以及设置于承载部42两端且均与承载部42垂直的防护顶板432和防护底板433，以实现对待镀膜工件的全方位保护。
53.示例性地，防护顶板432与连接部41连接，且能选择性钩挂于第一安装板11，使得搬运载具4能随第一安装板11公转；防护底板433设置于第二安装板12。同时，承载部42与自转驱动组件3传动连接使得承载部42上的待镀膜工件随自转驱动组件3自转。
54.本实施方式还公开一种真空镀膜机，真空镀膜机包括镀膜室，以及设置于镀膜室内的镀膜装置和如上任一方案所述的镀膜用载具装置。镀膜装置能对镀膜用载具装置上的待镀膜工件进行镀膜。采用镀膜用载具装置的真空镀膜机，镀膜效率更高，镀膜效果更好。
55.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。