镀膜用载具装置及真空镀膜机的制作方法

技术特征：
1.镀膜用载具装置，用于装载搬运载具(4)，所述搬运载具(4)包括连接部(41)和承载部(42)，所述连接部(41)设置于所述承载部(42)的周向外侧，待镀膜工件可设置于所述承载部(42)，其特征在于，所述镀膜用载具装置包括：载具本体(1)，包括同轴设置的第一安装板(11)和第二安装板(12)，所述第一安装板(11)的周向外侧设置有多个第一承载位，所述连接部(41)可拆卸地设置于所述第一承载位，所述第二安装板(12)设置有多个朝向所述第一安装板(11)的第二承载位，所述承载部(42)可拆卸地设置于所述第二承载位；所述第一承载位沿所述载具本体(1)的轴向方向在所述第二安装板(12)上的投影位于所述第二承载位的内侧；公转驱动组件(2)，用于驱动所述镀膜用载具装置转动。2.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述第一安装板(11)的所述第一承载位上设置有安装凸起(112)，所述安装凸起(112)沿所述第一安装板(11)的径向凸设于所述第一安装板(11)，所述连接部(41)与所述安装凸起(112)可拆卸地连接。3.根据权利要求2所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述第一安装板(11)背离所述第二安装板(12)的一面上设置凸起安装板(113)，所述安装凸起(112)设置于所述凸起安装板(113)。4.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述搬运载具(4)上设置有防护部(43)，所述防护部(43)设置于所述待镀膜工件与所述载具本体(1)之间。5.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述镀膜用载具装置还包括自转驱动组件(3)，所述自转驱动组件(3)与所述第二安装板(12)连接，所述自转驱动组件(3)与所述第二承载位对应设置，用于驱动所述待镀膜工件转动。6.根据权利要求5所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述承载部(42)能相对于所述连接部(41)转动，所述承载部(42)与所述自转驱动组件(3)传动连接。7.根据权利要求5所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述自转驱动组件(3)包括自转驱动件和自转转轴(31)，所述自转转轴(31)与所述第二承载位一一对应，所述自转驱动件能驱动多个所述自转转轴(31)转动，所述自转转轴(31)与所述第二安装板(12)转动连接。8.根据权利要求7所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述自转驱动组件(3)还包括与所述自转转轴(31)一一对应的离合器(32)，所述离合器(32)能选择性连接所述承载部(42)。9.根据权利要求7所述的镀膜用载具装置，其特征在于，所述第二安装板(12)上设置有与所述自转转轴(31)一一对应的安装通孔，所述自转转轴(31)转动设置于所述安装通孔内。10.真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜室，以及设置于所述镀膜室内的镀膜装置和如权利要求1-9任一项所述的镀膜用载具装置。

技术总结
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种镀膜用载具装置及真空镀膜机。其中镀膜用载具装置用于装载搬运载具，搬运载具包括连接部和承载部，待镀膜工件可设置于承载部，镀膜用载具装置包括载具本体和公转驱动组件，载具本体包括固连且同轴设置的第一安装板和第二安装板，第一安装板的周向外侧设置有多个第一承载位，连接部可拆卸地设置于第一承载位，第二安装板朝向第一安装板的一面设置有多个第二承载位，承载部可拆卸地设置于第二承载位；第一承载位沿载具本体的轴向方向在第二安装板上的投影位于第二承载位的内侧；公转驱动组件用于驱动镀膜用载具装置转动。本实用新型在满足镀膜相关需求的前提下可有效利用载具本体的轴向空间。的轴向空间。的轴向空间。


技术研发人员：马淑莹 卢鹏 陈韶华
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
技术研发日：2022.10.25
技术公布日：2023/2/9