一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的制作方法

1.本实用新型涉及粉尘收集技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、i-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
3.现有技术中，对于化学气象沉积炉工作时内部粉尘的处理方法通常是采用气体传输泵进行抽吸，再利用滤网或者滤布对气体中的粉尘进行过滤，从而完成粉尘的收集工作，但此方法存在以下缺点：1、收集到的粉尘在装袋时容易产生扬尘，不利于后续处理；2、通过滤布或滤网进行过滤的方法，需要同时设置多层过滤，提高成本支出且容易产生堵塞。


技术实现要素：

4.本实用新型公开一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，旨在解决现有技术中对于粉尘收集所存在的容易扬尘、滤布或滤网容易产生堵塞的技术问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的顶端内壁固定连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端，所述气体传输泵的输出端固定连接有传输管道，且传输管道的另一端固定连接有收集罐，所述收集罐的一侧内壁镶嵌有环形输水管道，且环形输水管道的内壁等密度设置有多个雾化喷头，所述传输管道同时穿过收集罐，且多个雾化喷头的设置高度高于收集罐内传输管道的设置高度，所述环形输水管道的顶端内壁固定连接有输水管道，且输水管道的顶端内壁固定连接有水箱，所述水箱设置在收集罐的顶端，且收集罐的顶端内壁同时设置有间歇式气体传输泵，所述间歇式气体传输泵的一端套接有滤布，且滤布的外壁紧密卡接有排气管道。
7.通过设置有雾化喷头和间歇式气体传输泵，当对沉积炉本体内的粉尘进行收集时，通过设置在传输管道上部的多个雾化喷头，利用输水管道连通水箱，多个雾化喷头向前喷射水雾，快速加重气体中的粉尘使其下落，对粉尘进行过滤收集，过滤后的气体在间歇式气体传输泵的作用下顺着排气管道排出，排出过程中通过滤布进行二次过滤，通过雾化喷头过滤后的空气中的粉尘含量大大降低，从而加长滤布的使用时长，降低成本支出和维护次数，同时通过设置的间歇式气体传输泵，达到间歇式抽吸空气的目的，为雾化喷头的过滤提供足够的反应时间，保证过滤效果，也进一步降低电的使用成本。
8.在一个优选的方案中，所述沉积炉本体的顶端外壁固定连接有支架，且气体传输泵与支架相连，所述传输管道的一端固定连接有出气口，且出气口设置在收集罐的内部，所述出气口的底端内壁为斜面向下，且出气口的材质为高分子聚乙烯板，所述出气口的顶端外壁固定连接有挡水板，且挡水板的顶端为弧面。
9.通过设置有出气口和挡水板，通过设置有挡水板，对出气口进行保护，避免雾化喷头的水雾落到出气口的出气端，影响气体排出，同时辅以出气口的底端内壁为斜面向下的状态，也避免了水雾聚积在出气口的底部，进一步的，由于出气口的材质为高分子聚乙烯板，该材质不易粘附泥土，避免长期使用下高温蒸发的水蒸汽与粉尘混合物粘附在出气口的内壁造成堵塞，保障了装置的正常使用。
10.在一个优选的方案中，所述收集罐的底端内壁固定连接有排料漏斗，且排料漏斗的底端内壁固定连接有输送筒，所述输送筒的一侧外壁固定连接有电机，且电机包括电机输出端，所述电机输出端固定连接有传动轴，且传动轴穿过输送筒，所述传动轴的外壁设置有螺旋输送叶片，且螺旋输送叶片的外壁贴合输送筒的内壁，所述输送筒的一侧内壁固定连接有排料口，且收集罐的外壁固定连接有固定底座。
11.通过设置有螺旋输送叶片、排料漏斗和排料口，通过横向设置螺旋输送叶片，便于与水混合后的粉尘混合物进行排出，且通过设置有排料漏斗和排料口，扩大输送筒的输入端和输出端直径，进一步避免输送混合物的过程中造成堵塞。
12.由上可知，一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的顶端内壁固定连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端，所述气体传输泵的输出端固定连接有传输管道，且传输管道的另一端固定连接有收集罐，所述收集罐的一侧内壁镶嵌有环形输水管道，且环形输水管道的内壁等密度设置有多个雾化喷头，所述传输管道同时穿过收集罐，且多个雾化喷头的设置高度高于收集罐内传输管道的设置高度，所述环形输水管道的顶端内壁固定连接有输水管道，且输水管道的顶端内壁固定连接有水箱，所述水箱设置在收集罐的顶端，且收集罐的顶端内壁同时设置有间歇式气体传输泵，所述间歇式气体传输泵的一端套接有滤布，且滤布的外壁紧密卡接有排气管道。本实用新型提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置具有强化过滤效果，降低成本支出，避免粉尘收集时产生扬尘的技术效果。
附图说明
13.图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的整体结构示意图。
14.图2为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的收集罐内部结构示意图。
15.图3为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的出气管连接结构示意图。
16.图4为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的输送筒内部结构示意图。
17.附图中：1、沉积炉本体；2、支架；3、气体传输泵；4、传输管道；5、水箱；6、间歇式气体传输泵；7、排气管道；8、输水管道；9、环形输水管道；10、收集罐；11、排料漏斗；12、输送
筒；13、排料口；14、固定底座；15、电机；16、雾化喷头；17、挡水板；18、出气口；19、滤布；20、传动轴；21、螺旋输送叶片。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.本实用新型公开的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置主要应用于化学气相沉积炉的粉尘收集的场景。
20.参照图1-图3，一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括沉积炉本体1，沉积炉本体1的顶端内壁固定连接有气体传输泵3，且气体传输泵3包括输出端，气体传输泵3的输出端固定连接有传输管道4，且传输管道4的另一端固定连接有收集罐10，收集罐10的一侧内壁镶嵌有环形输水管道9，且环形输水管道9的内壁等密度设置有多个雾化喷头16，传输管道4同时穿过收集罐10，且多个雾化喷头16的设置高度高于收集罐内传输管道4的设置高度，环形输水管道9的顶端内壁固定连接有输水管道8，且输水管道8的顶端内壁固定连接有水箱5，水箱5设置在收集罐10的顶端，且收集罐10的顶端内壁同时设置有间歇式气体传输泵6，间歇式气体传输泵6的一端套接有滤布19，且滤布19的外壁紧密卡接有排气管道7。
21.参照图1和图2，在一个优选的实施方式中，沉积炉本体1的顶端外壁固定连接有支架2，且气体传输泵3与支架2相连，传输管道4的一端固定连接有出气口18，且出气口18设置在收集罐10的内部。
22.参照图2，在一个优选的实施方式中，出气口18的底端内壁为斜面向下，且出气口18的材质为高分子聚乙烯板，出气口18的顶端外壁固定连接有挡水板17，且挡水板17的顶端为弧面，通过设置有出气口18和挡水板17，通过设置有挡水板17，对出气口18进行保护，避免雾化喷头16的水雾落到出气口18的出气端，影响气体排出，同时辅以出气口18的底端内壁为斜面向下的状态，也避免了水雾聚积在出气口18的底部，进一步的，由于出气口18的材质为高分子聚乙烯板，该材质不易粘附泥土，避免长期使用下高温蒸发的水蒸汽与粉尘混合物粘附在出气口18的内壁造成堵塞，保障了装置的正常使用。
23.参照图1，在一个优选的实施方式中，收集罐10的底端内壁固定连接有排料漏斗11，且排料漏斗11的底端内壁固定连接有输送筒12。
24.参照图1和图4，在一个优选的实施方式中，输送筒12的一侧外壁固定连接有电机15，且电机15包括电机输出端，电机输出端固定连接有传动轴20，且传动轴20穿过输送筒12。
25.参照图4，在一个优选的实施方式中，传动轴20的外壁设置有螺旋输送叶片21，且螺旋输送叶片21的外壁贴合输送筒12的内壁。
26.参照图1，在一个优选的实施方式中，输送筒12的一侧内壁固定连接有排料口13，且收集罐10的外壁固定连接有固定底座14，通过设置有螺旋输送叶片21、排料漏斗11和排料口13，通过横向设置螺旋输送叶片21，便于与水混合后的粉尘混合物进行排出，且通过设置有排料漏斗11和排料口13，扩大输送筒12的输入端和输出端直径，进一步避免输送混合物的过程中造成堵塞。
27.工作原理：当对沉积炉本体1内的粉尘进行收集时，通过设置在传输管道4上部的多个雾化喷头16，利用输水管道8连通水箱5，多个雾化喷头16向前喷射水雾，快速加重气体中的粉尘使其下落，对粉尘进行过滤收集，过滤后的气体在间歇式气体传输泵6的作用下顺着排气管道7排出，排出过程中通过滤布19进行二次过滤，通过雾化喷头16过滤后的空气中的粉尘含量大大降低，从而加长滤布19的使用时长，降低成本支出和维护次数，与水混合后的粉尘也可在收集时避免扬尘，降低处理难度，同时通过设置的间歇式气体传输泵6，达到间歇式抽吸空气的目的，为雾化喷头16的过滤提供足够的反应时间，保证过滤效果，也进一步降低电的使用成本。
28.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。所述替代可以是部分结构、器件、方法步骤的替代，也可以是完整的技术方案。根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。