一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置的制作方法

技术特征：
1.一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括沉积炉本体(1)，其特征在于，所述沉积炉本体(1)的顶端内壁固定连接有气体传输泵(3)，且气体传输泵(3)包括输出端，所述气体传输泵(3)的输出端固定连接有传输管道(4)，且传输管道(4)的另一端固定连接有收集罐(10)，所述收集罐(10)的一侧内壁镶嵌有环形输水管道(9)，且环形输水管道(9)的内壁等密度设置有多个雾化喷头(16)，所述传输管道(4)同时穿过收集罐(10)，且多个雾化喷头(16)的设置高度高于收集罐内传输管道(4)的设置高度，所述环形输水管道(9)的顶端内壁固定连接有输水管道(8)，且输水管道(8)的顶端内壁固定连接有水箱(5)，所述水箱(5)设置在收集罐(10)的顶端，且收集罐(10)的顶端内壁同时设置有间歇式气体传输泵(6)，所述间歇式气体传输泵(6)的一端套接有滤布(19)，且滤布(19)的外壁紧密卡接有排气管道(7)。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述沉积炉本体(1)的顶端外壁固定连接有支架(2)，且气体传输泵(3)与支架(2)相连，所述传输管道(4)的一端固定连接有出气口(18)，且出气口(18)设置在收集罐(10)的内部。3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述出气口(18)的底端内壁为斜面向下，且出气口(18)的材质为高分子聚乙烯板，所述出气口(18)的顶端外壁固定连接有挡水板(17)，且挡水板(17)的顶端为弧面。4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述收集罐(10)的底端内壁固定连接有排料漏斗(11)，且排料漏斗(11)的底端内壁固定连接有输送筒(12)。5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述输送筒(12)的一侧外壁固定连接有电机(15)，且电机(15)包括电机输出端，所述电机输出端固定连接有传动轴(20)，且传动轴(20)穿过输送筒(12)。6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述传动轴(20)的外壁设置有螺旋输送叶片(21)，且螺旋输送叶片(21)的外壁贴合输送筒(12)的内壁。7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，所述输送筒(12)的一侧内壁固定连接有排料口(13)，且收集罐(10)的外壁固定连接有固定底座(14)。

技术总结
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括沉积炉本体，所述沉积炉本体的顶端内壁固定连接有气体传输泵，且气体传输泵包括输出端，所述气体传输泵的输出端固定连接有传输管道，且传输管道的另一端固定连接有收集罐，所述收集罐的一侧内壁镶嵌有环形输水管道，且环形输水管道的内壁等密度设置有多个雾化喷头，所述传输管道同时穿过收集罐，且多个雾化喷头的设置高度高于收集罐内传输管道的设置高度，所述环形输水管道的顶端内壁固定连接有输水管道，且输水管道的顶端内壁固定连接有水箱，本实用新型公开的化学气相沉积炉的粉尘收集装置具有强化过滤效果，降低成本支出，避免粉尘收集时产生扬尘的效果。避免粉尘收集时产生扬尘的效果。避免粉尘收集时产生扬尘的效果。


技术研发人员：奚衍罡
受保护的技术使用者：苏州冠岚新材料有限公司
技术研发日：2022.09.27
技术公布日：2023/2/9