一种用于研磨机的高质量研磨方法与流程

技术特征：
1.一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：实时获取当前待研磨区域图像；将所述当前待研磨区域图像进行灰度化处理，得到灰度图像；并将所述灰度图像进行快速傅里叶变换，得到当前待研磨频谱图；获取当前待研磨频谱图中频谱值最大的点作为中心点，计算所述当前待研磨频谱图中心点的值以及上一次待研磨区域图像的频谱图的中心点的值，将两者的差值作为当前待研磨频谱图的中心变化量；根据当前待研磨频谱图中各频谱点的坐标，根据每个频谱点的坐标得到每个频谱点与中心点的距离，以及每个频谱点与中心点的斜率；利用自适应大小的滑窗对所述当前待研磨频谱图中各频谱点进行遍历操作，得到每个频谱点的变化方向和变化值；根据各频谱点的变化方向、变化值和对应的斜率，得到所有频谱点的方向向心程度；获取当前待研磨频谱图中，任意距离下每个方向向心程度出现的次数，根据所述次数得到每个距离对应的概率；根据所有距离对应的概率得到当前待研磨频谱图的研磨指标；根据所述中心变化量与所述研磨指标得到当前研磨程度，计算所述当前研磨程度与上一次待研磨区域图像的研磨程度的差值为研磨变化量；根据所述研磨变化量对下一次研磨机的研磨力度进行控制。2.根据权利要求1所述的一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，所述自适应大小的滑窗的获取方法为：固定所述滑窗的行或者列的大小为3；计算当前待研磨频谱图的长与宽的比值，根据所述比值得到所述滑窗的另一个列或行的大小，另一个列或行的大小与所述比值呈正相关关系。3.根据权利要求1所述的一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，所述每个频谱点的变化方向和变化值的获取方法为：对于第i个频谱点的变化方向和变化值：使滑窗边缘的第1个频谱点与第i个频谱点形成1个向量；所述向量的方向为第i个频谱点和滑窗边缘的第1个频谱点之间的斜率，且第i个频谱点指向滑窗边缘的第1个频谱点；所述向量的模的获取方法为：将第i个频谱点的频谱值与滑窗边缘第1个频谱点的频谱值作差，取所述差值的绝对值为所述向量的模；进而可得到滑窗边缘所有频谱点与第i个频谱点形成的所有向量，将所述所有向量进行矢量求和得到第i个频谱点的变化方向和变化值。4.根据权利要求1所述的一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，所述根据各频谱点的变化方向、变化值和对应的斜率，得到所有频谱点的方向向心程度的步骤，包括：对于第i个频谱点的方向向心程度：计算第i个频谱点的变化方向与第i个频谱点到当前待研磨频谱图的中心点的斜率的乘积，以及第i个频谱点的变化方向与第i个频谱点到当前待研磨频谱图的中心点的斜率的差值；以所述乘积加1作为分母，所述差值为分子得到比值，利用反正切函数获取所述比值对应的角度，获取所述角度的余弦值，所述余弦值与第i个频谱点的变化值的乘积为所述方向向心程度。5.根据权利要求1所述的一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，所述根据所有距离对应的概率得到当前待研磨频谱图的研磨指标的步骤，包括：
所述研磨指标的计算为：其中，表示频谱点距离当前待研磨频谱图的任意距离，表示频谱点距离当前待研磨频谱图中心点的最大距离，表示在t对应范围边界线上任意角度，表示t对应范围边界线上所有的角度，其中表示在当前待研磨频谱图中同等距离t下，不同出现的次数，表示距离t下对应的概率。6.根据权利要求1所述的一种用于研磨机的高质量研磨方法，其特征在于，所述上一次待研磨区域图像为未进行研磨的原始图像或者已进行研磨操作后的研磨区域图像；当上一次待研磨区域图像为未进行研磨的原始图像时，上一次待研磨区域图像的研磨程度为0。

技术总结
本发明涉及一种用于研磨机的高质量研磨方法，其实时获取当前待研磨区域图像，得到当前待研磨频谱图；获取当前待研磨频谱图中心点的值和上一次待研磨区域图像的频谱图的中心点的值，将两者的差值作为中心变化量；根据当前待研磨频谱图中各频谱点的坐标，计算各频谱点到中心点的距离和斜率；利用滑窗对当前待研磨频谱图进行遍历操作，并根据斜率得到各频谱点的变化方向和变化值，进而得到当前待研磨频谱图中各频谱点的方向向心程度；根据方向向心程度和距离得到当前待研磨频谱图的研磨指标；根据中心变化量和研磨指标得到研磨程度；进而得到研磨变化量；根据研磨变化量对研磨机下一次的研磨力度进行控制。本发明能够更为精确对研磨机进行控制。研磨机进行控制。研磨机进行控制。


技术研发人员：蔡娜娜
受保护的技术使用者：江苏黛尚仪器科技有限公司
技术研发日：2022.11.29
技术公布日：2022/12/30