一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅辅助设备技术领域，尤其涉及一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置。


背景技术：

2.在多晶硅还原炉生产中，经常出现硅棒靠对等非正常停炉、倒棒等异常问题，经多方分析及实验，这些异常均与硅芯在生产过程中发生倾斜有关，而硅芯倾斜和电极的水平垂直度和变形有着直接关系。在生产中，炉内是有毒有害、易燃易爆物质，还原炉必须在一个可靠的密闭环境中运行，每个还原炉电极数量在48-80个左右，每一个电极都是一个密封点，同时，底盘和电极都是导体，用绝缘四氟套间隔绝缘，为了密封和绝缘的可靠性，防止生产中物料进入导致绝缘降低；电极和底盘之间的绝缘四氟套配合间隙都非常小，加上底盘温度非常高，受热膨胀，在检修电极时，电极拆卸下来后，由于四氟套加工公差的差异，一部份四氟套脱离电极体，但却套在底盘电极孔里面，而且底盘温度很高，高温膨胀，把四氟套包裹在电极孔，四氟套上下尺寸都低于底盘电极孔长度，拆卸非常困难。
3.现有的拆卸四氟套的方式主要是在狭小的底盘下用圆棒工装和榔头把四氟套敲击出电极孔，通过榔头的敲击，逐渐把四氟套逐个缓慢退出电极孔，但是，这样的方式拆卸电极孔里面上的四氟套只能够由人工完成，导致工人的工作量非常大，检修时间长，而且也存在安全隐患。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型实施例提供一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置，主要目的是提供一种能够快速、方便对电极孔内的四氟套进行拆卸的一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置。
5.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
6.本实用新型实施例提供了一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置，该装置包括：
7.支架，所述支架具有第一螺纹孔；
8.升降部件，所述升降部件包括升降杆、转动件和阻挡件，所述升降杆的一端固定连接于转动件，另一端穿过所述第一螺纹孔和底盘的电极孔，所述升降杆的另一端侧面具有第一通孔，所述阻挡件插入所述第一通孔；
9.定位部件，所述定位部件设置在所述阻挡件和所述底盘之间，所述定位部件包括第一套管和第一套环，所述第一套管固定连接于所述第一套环，所述第一套管套在所述升降杆上，所述第一套管插入所述底盘的电极孔内。
10.进一步的，所述第一套环的直径略小于所述底盘的电极孔的直径。
11.进一步的，所述第一套管与所述第一套环为一体成型结构。
12.进一步的，所述第一套环具有第一顶接面，所述第一顶接面顶接于四氟套。
13.进一步的，所述第一套环具有第二顶接面，所述第二顶接面顶接于所述阻挡件的
侧面。
14.进一步的，所述升降杆包括第一螺纹杆和第一直杆，所述第一螺纹杆的一端固定连接于所述第一直杆，所述第一螺纹杆螺纹连接于所述第一螺纹孔，所述第一通孔位于所述第一直杆远离所述第一螺纹杆的一端侧面。
15.进一步的，所述支架包括第一架体和螺纹件，所述第一架体的上端固定连接于所述螺纹件，所述螺纹件具有所述第一螺纹孔。
16.进一步的，所述支架还包括顶接板，所述顶接板固定连接于所述第一架体的底端，所述顶接板的一侧顶接于所述底盘的表面。
17.进一步的，所述螺纹件的轴线与所述第一架体的轴线相互重合。
18.进一步的，所述转动件包括转动轮、连接环和多个连接杆，所述连接环设置在所述转动轮的中间位置，多个所述连接杆的一端固定连接于所述转动轮，另一端固定连接于所述连接环，所述连接环固定连接于所述升降杆。
19.与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：
20.本实用新型实施例提供的技术方案中，支架的作用是支撑升降部件，所述支架具有第一螺纹孔；升降部件的作用是将四氟套从电极孔中拉出，所述升降部件包括升降杆、转动件和阻挡件，所述升降杆的一端固定连接于转动件，另一端穿过所述第一螺纹孔和底盘的电极孔，所述升降杆的另一端侧面具有第一通孔，所述阻挡件插入所述第一通孔，所述定位部件设置在所述阻挡件和所述底盘之间，所述定位部件包括第一套管和第一套环，所述第一套管固定连接于所述第一套环，所述第一套管套在所述升降杆上，所述第一套管插入所述底盘的电极孔内，相对于现有技术，在狭小的底盘下用圆棒工装和榔头把四氟套敲击出电极孔，通过榔头的敲击，逐渐把四氟套逐个缓慢退出电极孔，但是，这样的方式拆卸电极孔里面上的四氟套只能够由人工完成，导致工人的工作量非常大，检修时间长，而且也存在安全隐患，本技术方案中，通过将支架固定在底盘的上部，升降杆穿过电极孔延伸至底盘的下部，然后将定位部件套在升降杆的另一端侧面，使得第一套管伸入到电极孔中，而第一套环的侧面顶接于四氟套，将阻挡件插入到第一通孔中，然后对转动件进行转动，使得升降杆向上移动，定位部件向上移动的过程中逐渐将四氟套向上推动，使得四氟套逐渐脱离电极孔，从而达到边方便、快速的将四氟套从电极孔中拉出的技术效果。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例提供的一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置的结构示意图；
22.图2为图1中a处的放大结构示意图；
23.图3为本实用新型实施例提供的一种定位部件的结构示意图；
24.图4为本实用新型实施例提供的一种转动件的结构示意图。
具体实施方式
25.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
26.如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种还原炉底盘电极孔四氟套拆卸装置，该装置包括：
27.支架，所述支架具有第一螺纹孔11；
28.升降部件，所述升降部件包括升降杆、转动件22和阻挡件23，所述升降杆的一端固定连接于转动件22，另一端穿过所述第一螺纹孔11和底盘9的电极孔91，所述升降杆的另一端侧面具有第一通孔24，所述阻挡件23插入所述第一通孔24；
29.定位部件3，所述定位部件3设置在所述阻挡件23和所述底盘9之间，所述定位部件3包括第一套管31和第一套环32，所述第一套管31固定连接于所述第一套环32，所述第一套管31套在所述升降杆上，所述第一套管31插入所述底盘9的电极孔91内。
30.本实用新型实施例提供的技术方案中，支架的作用是支撑升降部件，所述支架具有第一螺纹孔11；升降部件的作用是将四氟套8从电极孔91中拉出，所述升降部件包括升降杆、转动件22和阻挡件23，所述升降杆的一端固定连接于转动件22，另一端穿过所述第一螺纹孔11和底盘9的电极孔91，所述升降杆的另一端侧面具有第一通孔24，所述阻挡件23插入所述第一通孔24，所述定位部件3设置在所述阻挡件23和所述底盘9之间，所述定位部件3包括第一套管31和第一套环32，所述第一套管31固定连接于所述第一套环32，所述第一套管31套在所述升降杆上，所述第一套管31插入所述底盘9的电极孔91内，相对于现有技术，在狭小的底盘9下用圆棒工装和榔头把四氟套8敲击出电极孔91，通过榔头的敲击，逐渐把四氟套8逐个缓慢退出电极孔91，但是，这样的方式拆卸电极孔91里面上的四氟套8只能够由人工完成，导致工人的工作量非常大，检修时间长，而且也存在安全隐患，本技术方案中，通过将支架固定在底盘9的上部，升降杆穿过电极孔91延伸至底盘9的下部，然后将定位部件3套在升降杆的另一端侧面，使得第一套管31伸入到电极孔91中，而第一套环32的侧面顶接于四氟套8，将阻挡件23插入到第一通孔24中，然后对转动件22进行转动，使得升降杆向上移动，定位部件3向上移动的过程中逐渐将四氟套8向上推动，使得四氟套8逐渐脱离电极孔91，从而达到边方便、快速的将四氟套8从电极孔91中拉出的技术效果。
31.上述支架的作用是支撑升降部件，所述支架具有第一螺纹孔11，支架放置在还原炉底盘9上，并且位于电极孔91的上部，支架的中间位置设置第一螺纹孔11，第一螺纹孔11贯穿支架的上下两端；升降部件的作用是将四氟套8从电极孔91中拉出，所述升降部件包括升降杆、转动件22和阻挡件23，所述升降杆的一端固定连接于转动件22，另一端穿过所述第一螺纹孔11和底盘9的电极孔91，升降杆的一端侧面设置外螺纹，外螺纹能够与第一螺纹孔11相互连接，转动件22的作用是方便人员对升降杆绕其轴线转动，当转动件22转动时，升降杆绕自身的轴线转动，使得升降杆能够上下移动，升降杆的另一端依次穿过第一螺纹孔11和底盘9的电极孔91并伸出电极孔91，在所述升降杆的另一端侧面具有第一通孔24，所述阻挡件23插入所述第一通孔24，并且，阻挡件23的长度小于电极孔91的直径，当升降杆向上移动时，阻挡件23能够通过电极孔91，所述定位部件3设置在所述阻挡件23和所述底盘9之间，所述定位部件3包括第一套管31和第一套环32，所述第一套管31固定连接于所述第一套环32，并且，所述第一套管31与所述第一套环32为一体成型结构，所述第一套管31套在所述升降杆上，所述第一套管31插入所述底盘9的电极孔91内，第一套管31的中部具有第三通孔323，当第一套管31插入电极孔91时，第一套管31位于升降杆和四氟套8之间，第一套环32固定连接于第一套管31，并且，第一套环32位于电极孔91的外部，所述第一套环32的直径略小于所述底盘9的电极孔91的直径，使得第一套环32可以通过电极孔91，所述第一套环32具有第一顶接面，所述第一顶接面顶接于四氟套8，当升降杆向上运动时，第一套环32的第一顶
接面顶接于四氟套8，第一套环32的第二顶接面顶接于阻挡件23的侧面，升降杆在移动的同时带动阻挡件23和定位部件3向上移动，定位部件3向上移动的过程中逐渐将四氟套8向上推动，使得四氟套8逐渐脱离电极孔91，从而达到边方便、快速的将四氟套8从电极孔91中拉出的技术效果。
32.进一步的，所述升降杆包括第一螺纹杆211和第一直杆212，所述第一螺纹杆211的一端固定连接于所述第一直杆212，所述第一螺纹杆211螺纹连接于所述第一螺纹孔11，所述第一通孔24位于所述第一直杆212远离所述第一螺纹杆211的一端侧面。本实施例中，进一步限定了升降杆，第一螺纹的外侧设置外螺纹，所述第一螺纹杆211螺纹连接于所述第一螺纹孔11，第一直杆212位于第一螺纹杆211的下部，所述第一通孔24位于所述第一直杆212远离所述第一螺纹杆211的一端侧面，第一直杆212的表面是光滑的，方便定位部件3在第一直杆212上滑动，第一螺纹杆211与第一直杆212为一体成型结构，能够提高升降杆的连接性和支撑性。
33.进一步的，所述支架包括第一架体12和螺纹件13，所述第一架体12的上端固定连接于所述螺纹件13，所述螺纹件13具有所述第一螺纹孔11。本实施例中，进一步限定了支架，第一架体12为筒状结构，第一架体12的上部固定安装螺纹件13，所述螺纹件13的轴线与所述第一架体12的轴线相互重合，螺纹件13的中间位置设置第一螺纹孔11，第一螺纹杆211插入并连接于第一螺纹孔11，当第一螺纹杆211在第一螺纹孔11内绕其轴线转动时，四打一螺纹杆可以上下移动，从而达到升高或者降低定位部件3的位置的作用，进而达到将四氟套8从电极孔91中拉出的技术效果。
34.进一步的，所述支架还包括顶接板14，所述顶接板14固定连接于所述第一架体12的底端，所述顶接板14的一侧顶接于所述底盘9的表面。本实施例中，进一步限定了支架，在支架与底盘9接触的一端设置顶接板14，顶接板14采用锥体结构，能够增加支架与底盘9的接触范围，从而提高支架的支撑性和稳定性。
35.进一步的，所述转动件22包括转动轮221、连接环222和多个连接杆223，所述连接环222设置在所述转动轮221的中间位置，多个所述连接杆223的一端固定连接于所述转动轮221，另一端固定连接于所述连接环222，所述连接环222固定连接于所述升降杆。本实施例中，进一步限定了转动件22，转动轮221为圆环结构，连接环222设置在转动轮221的中间位置，多个连接杆223设置在转动轮221和连接环222之间，多个连接杆223的两端分别固定连接于转动轮221和连接环222，提高转动件22的连接性和支撑性，连接环222固定连接于第一螺纹杆211的一端，人员通过手动带动转动轮221绕其轴线转动，使得第一螺纹杆211绕其轴线转动，升降杆在移动的同时带动阻挡件23和定位部件3向上移动，定位部件3向上移动的过程中逐渐将四氟套8向上推动，使得四氟套8逐渐脱离电极孔91，从而达到边方便、快速的将四氟套8从电极孔91中拉出的技术效果。
36.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。