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一种用于真空镀膜膜厚测试的支架的制作方法

2023-01-14 12:54:49 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,包括支撑圈(1),其特征在于:所述支撑圈(1)的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构(2),所述位置调节机构(2)的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构(3),所述支撑圈(1)的内周均匀分布有支撑杆(4),所述支撑杆(4)相靠近的一端均固定连接在吊杆(5)的下端外周,所述吊杆(5)的上端外周固定连接有联轴器(6),用于将支撑圈(1)及位置调节机构(2)和样品夹持机构(3)吊装在镀膜机的旋转连接件的下端。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述位置调节机构(2)包括均匀分布在支撑圈(1)外周的支撑板(201),所述支撑板(201)远离支撑圈(1)的一侧上下端均固定连接有限位座(2010),所述支撑板(201)远离支撑圈(1)的一侧中部均转动连接有驱动组件,所述驱动组件的前端固定连接在内螺纹筒(206)的中部外周,所述内螺纹筒(206)的上下端内周均螺纹连接有螺纹杆一(207),所述螺纹杆一(207)远离支撑圈(1)的一端均固定连接有滑杆(208),所述滑杆(208)的一侧均固定连接有限位条(209),所述滑杆(208)和限位条(209)的外周均滑动连接在限位座(2010)的中部开口内。3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述驱动组件包括转动连接在支撑板(201)远离支撑圈(1)一侧中部开口内的驱动杆(202),所述驱动杆(202)的一端均固定连接有转把一(203),所述驱动杆(202)的另一端均固定连接有锥齿轮一(204),所述锥齿轮一(204)均啮合连接有锥齿轮二(205),所述锥齿轮二(205)的中部内周均固定连接在内螺纹筒(206)的中部外周。4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述样品夹持机构(3)包括固定连接在滑杆(208)远离支撑圈(1)一端的框架(301),所述框架(301)的内上壁中部均开设有限位槽一(302),所述框架(301)的内两侧中部均开设有滑槽一(303),所述框架(301)的内中部均设置有支撑条(304),所述支撑条(304)的上端中部均开设有限位槽二(3018),所述支撑条(304)的下端均开设有滑槽二(305),所述滑槽二(305)的中部均固定连接有限位组件,所述滑槽二(305)的内两侧均滑动连接有连接组件,所述连接组件远离支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)靠近支撑圈(1)的一侧中部,所述调节板(3010)远离支撑圈(1)的一侧中部均固定连接有调节组件。5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述支撑条(304)的两端均滑动连接在滑槽一(303)的内部,所述调节板(3010)的两端均滑动连接在滑槽一(303)内部,所述调节板(3010)均位于支撑条(304)远离支撑圈(1)的一侧。6.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述连接组件包括滑动连接在滑槽二(305)内两侧的滑座(306),所述滑座(306)的内部均通过转杆一(307)转动连接有连接杆(3019),所述连接杆(3019)远离滑座(306)的一端均通过转杆二(308)转动连接在旋转座(309)的开口内两侧,所述旋转座(309)远离支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)靠近支撑圈(1)的一侧中部。7.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述调节组件包括转动连接在框架(301)远离支撑圈(1)一侧中部螺纹杆二(3013),所述螺纹杆二(3013)靠近支撑圈(1)的一端均转动连接有限位轴承座(3011),所述螺纹杆二(3013)的另一端均固定连接有转把二(3014),所述螺纹杆二(3013)的中部外周均螺纹连接有螺纹套(3012)。
8.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述限位轴承座(3011)靠近支撑圈(1)的一端均固定连接在调节板(3010)远离支撑圈(1)的一侧中部,所述螺纹套(3012)靠近支撑圈(1)的一端均固定连接在框架(301)远离支撑圈(1)的一侧中部。9.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述限位组件包括固定连接在滑槽二(305)内中部的限位筒(3015),所述限位筒(3015)的内中部设置有弹簧(3016),所述弹簧(3016)的两端均固定连接有限位杆(3017),所述限位杆(3017)相靠近的一端外周均滑动连接在限位筒(3015)的两端开口内,所述限位杆(3017)相远离的一端均固定连接在滑座(306)相靠近的一侧上端。

技术总结
本发明涉及真空镀膜设备领域,尤其涉及一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,包括支撑圈,所述支撑圈的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构,所述位置调节机构的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构,所述支撑杆相靠近的一端均固定连接在吊杆的下端外周,本发明通过位置调节机构调节样品的位置,不仅节省了测试成本,而且使测试结果更加准确,且通过样品夹持机构内的限位组件和连接组件以及调节组件,实现了在母板的样品切割尺寸出现误差时,仍然能将母板的样品夹紧,并且夹持时具有一定的缓冲效果,避免直接对母板的样品进行硬性夹持导致其发生破裂损坏的情况。品进行硬性夹持导致其发生破裂损坏的情况。品进行硬性夹持导致其发生破裂损坏的情况。


技术研发人员:许晓晨 林文治 李柏仪 钱鑫 陈守军 张坤 王言锋 郑守磊
受保护的技术使用者:徐州市检验检测中心
技术研发日:2022.12.04
技术公布日:2022/12/30
再多了解一些

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