一种激光诱导蚀刻设备的制作方法

技术特征：
1.一种激光诱导蚀刻设备，其特征在于：包括激光发生装置、蚀刻池、换热器以及恒温池，蚀刻池用于装蚀刻液，恒温池用于装换热介质，换热器用于把蚀刻池内的蚀刻液与恒温池内的换热介质进行换热，激光发生装置用于对蚀刻池内的工件发射激光；恒温池具有用于保持恒温池内部蚀刻液温度恒定的控温机构。2.根据权利要求1所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述激光发生装置包括激光发生器、振镜机构以及高度调节机构，振镜机构位于激光发生器与蚀刻池之间，高度调节机构用于调节激光发生器相对于蚀刻池的高度。3.根据权利要求2所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述振镜机构包括x轴振镜和y轴振镜，x轴振镜与y轴振镜配合用于调整激光发生器所发出激光的水平汇聚位置。4.根据权利要求2所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述高度调节机构包括支撑杆和调节杆，调节杆的一端可升降地设置于支撑杆，激光发生器焊装于调节杆的另一端。5.根据权利要求1所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述换热器包括耐蚀泵和换热盘管，换热盘管位于恒温池内且浸没在恒温池内的换热介质中，耐蚀泵的两端分别与蚀刻池、换热盘管连通。6.根据权利要求5所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述耐蚀泵的两端分别连通有第一耐蚀管和第二耐蚀管，第一耐蚀管与蚀刻池连通，第二耐蚀管与换热盘管连通。7.根据权利要求1所述的激光诱导蚀刻设备，其特征在于：所述控温机构包括加热器以及测温件，测温件与加热器电连接，测温件用于监测恒温池内的换热介质温度，加热器用于在换热介质的温度低于设定值时对换热介质进行加热。

技术总结
本实用新型涉及金属蚀刻技术领域，尤其是指一种激光诱导蚀刻设备，包括激光发生装置、蚀刻池、换热器以及恒温池，蚀刻池用于装蚀刻液，恒温池用于装换热介质，换热器用于把蚀刻池内的蚀刻液与恒温池内的换热介质进行换热，激光发生装置用于对蚀刻池内的工件发射激光；恒温池具有用于保持恒温池内部蚀刻液温度恒定的控温机构。本实用新型能够实现对于金属工件的化学蚀刻以及激光加工，有利于提升对于金属工件的蚀刻效率。属工件的蚀刻效率。属工件的蚀刻效率。


技术研发人员：王文涛 张亮旗 王世权
受保护的技术使用者：东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
技术研发日：2022.09.20
技术公布日：2022/12/30