砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质与流程

1.本发明涉及砂浆回收技术领域，尤其是涉及一种砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质。


背景技术：

2.在半导体硅晶圆片切割的生产行业中，浆料是硅晶圆片切割过程中的重要耗材，切割浆料的性能与线切割机对硅晶圆片切割的效果有着不可分割的关系；为降低生产成本和保护环境，硅晶圆片制造企业在硅晶圆片切割过程中，对切割浆料进行在线回收再利用是半导体硅晶圆片切割高效生产的重要环节。
3.砂浆在线回收机在硅片切割车间为单独使用，压滤液箱中清液的进料和成品砂浆出料是单独进行，相互之间没有实际的联系，不能准确控制成品砂浆的密度。生产中产生的废砂浆中存在一些无效颗粒及其他金属杂质，严重影响生产使用，则此时需回收系统进行回收，将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于克服上述技术不足，提出一种砂浆回收方法、系统、电子设备和存储介质，解决现有技术中生产中产生的废砂浆中存在一些无效颗粒及其他金属杂质，严重影响生产使用的技术问题。
5.为达到上述技术目的，第一方面，本发明的技术方案提供一种砂浆回收方法，包括以下步骤：
6.在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；
7.将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；
8.在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；
9.将所述一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
10.将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
11.与现有技术相比，本发明的有益效果包括：
12.本发明提供的砂浆回收方法，首先在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；然后，将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；其次，在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；其次，将所述一次回收砂浆
输送至一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；最后，将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
13.本发明提供的砂浆回收方法，能够有效去除废砂浆中的无效颗粒及其他金属杂质，提升废砂浆的回收使用效果，大幅度降低生产成本，使砂浆能够很好地循环使用，具有非常好的实用价值，能够将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。
14.根据本发明的一些实施例，将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，包括步骤：
15.将所述一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；
16.在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将所述二次分离回收砂浆固相输送至所述二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至所述二次落饼罐中的总质量达到预设质量；
17.将所述二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环所述二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到所述二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
18.将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
19.根据本发明的一些实施例，在所述废砂浆调和罐、一次调和罐和二次调和罐中设置有密度传感器，通过所述密度传感器检测调和砂浆、一次回收砂浆和二次回收砂浆密度。
20.根据本发明的一些实施例，在所述得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相之后，包括步骤：
21.将所述一次分离回收砂浆液相和所述二次回收砂浆液相输送至脏液箱；
22.将所述脏液箱的混合液加热到工艺要求温度后进入压滤机中进行固液分离，将分离得到的所述回收液输送到压滤液箱。
23.根据本发明的一些实施例，在将分离得到的所述回收液输送到压滤液箱之后，包括步骤：
24.使用精滤器对所述回收液进行精滤处理再使用冷却板进行冷却处理，得到所述冷却精滤液。
25.根据本发明的一些实施例，根据所述成品砂浆的粒径设定所述调和砂浆的预设工艺密度以及所述一次回收砂浆的预设密度。
26.第二方面，本发明提供了一种砂浆回收系统，包括：
27.废砂浆调和罐，将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；
28.一次离心机，与所述废砂浆调和罐连接，将所述调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；
29.一次落饼罐，底部铺设回收液作为底液，将所述一次分离回收砂浆固相输送至所述一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至所述一次落饼罐中的总质量达到预设质量；
30.一次调和罐中，在循环所述一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到所述一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
31.成品砂浆储存罐，用于将所述一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二
次回收砂浆，将所述二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
32.根据本发明的一些实施例，砂浆回收系统还包括：
33.脏液箱，用于储存所述一次分离回收砂浆液相和二次分离砂浆液相；
34.压滤机，与所述脏液箱连接，用于将所述脏液箱加热到工艺要求温度的混合液进行固液分离得到的所述回收液；
35.压滤液箱，与所述压滤机连接，用于储存所述回收液。
36.第三方面，本发明提供了一种电子设备，包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如第一方面所述的砂浆回收方法。
37.第四方面，本发明提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，所述计算机可执行指令用于使计算机执行如第一方面所述的砂浆回收方法。
38.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
39.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中摘要附图要与说明书附图的其中一幅完全一致：
40.图1为本发明一个实施例提供的砂浆回收方法的流程图；
41.图2为本发明另一个实施例提供的砂浆回收方法的流程图；
42.图3为本发明另一个实施例提供的砂浆回收系统的结构示意图。
具体实施方式
43.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
44.需要说明的是，虽然在系统示意图中进行了功能模块划分，在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于系统中的模块划分，或流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。
45.本发明提供了一种砂浆回收方法，能够有效去除废砂浆中的无效颗粒及其他金属杂质，提升废砂浆的回收使用效果，大幅度降低生产成本，使砂浆能够很好地循环使用，具有非常好的实用价值，能够将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。
46.下面结合附图，对本发明实施例作进一步阐述。
47.参照图1，图1为本发明一个实施例提供的砂浆回收方法的流程图；砂浆回收方法包括但是不仅限于以下步骤：
48.步骤s110，在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；
49.步骤s120，将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；
50.步骤s130，在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；
51.步骤s140，将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
52.步骤s150，将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
53.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
54.本发明提供的砂浆回收方法，能够有效去除废砂浆中的无效颗粒及其他金属杂质，提升废砂浆的回收使用效果，大幅度降低生产成本，使砂浆能够很好地循环使用，具有非常好的实用价值，能够将废砂浆中的大部分无效颗粒进行剔除，保留砂浆中的有效颗粒，提升砂浆的品质，满足生产使用要求。
55.参照图2，图2为本发明另一个实施例提供的砂浆回收方法的流程图；砂浆回收方法包括但是不仅限于以下步骤：
56.步骤s210，将一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；
57.步骤s220，在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将二次分离回收砂浆固相输送至二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至二次落饼罐中的总质量达到预设质量；
58.步骤s230，将二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；
59.步骤s240，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
60.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将二次分离回收砂浆固相输送至二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至二次落饼罐中的总质量达到预设质量；将二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环二次回收砂浆的过程中添加冷
却精滤液进行自循环密度检测，直到二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
61.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。在废砂浆调和罐、一次调和罐和二次调和罐中设置有密度传感器，通过密度传感器检测调和砂浆、一次回收砂浆和二次回收砂浆密度。
62.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将二次分离回收砂浆固相输送至二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至二次落饼罐中的总质量达到预设质量；将二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
63.在得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相之后，包括步骤：将一次分离回收砂浆液相和二次回收砂浆液相输送至脏液箱；将脏液箱的混合液加热到工艺要求温度后进入压滤机中进行固液分离，将分离得到的回收液输送到压滤液箱。
64.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆加热至二次分离工艺温度后，输送至二次离心机进行分离，得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相；在二次落饼罐中铺设冷却精滤液，将二次分离回收砂浆固相输送至二次落饼罐中得到二次回收砂浆，直至二次落饼罐中的总质量达到预设质量；将二次回收砂浆输送至二次调和罐中，在循环二次回收砂浆的过程中添加冷却精滤液进行自循环密度检测，直到二次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
65.在得到二次分离回收砂浆固相和二次回收砂浆液相之后，包括步骤：将一次分离
回收砂浆液相和二次回收砂浆液相输送至脏液箱；将脏液箱的混合液加热到工艺要求温度后进入压滤机中进行固液分离，将分离得到的回收液输送到压滤液箱。在将分离得到的回收液输送到压滤液箱之后，包括步骤：使用精滤器对回收液进行精滤处理再使用冷却板进行冷却处理，得到冷却精滤液。
66.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。根据成品砂浆的粒径设定调和砂浆的预设工艺密度以及一次回收砂浆的预设密度。
67.在一实施例中，砂浆回收方法包括步骤：在废砂浆调和罐将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；在一次落饼罐中铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；将一次回收砂浆输送至一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
68.参照图3，图3为本发明另一个实施例提供的砂浆回收系统的结构示意图。
69.本发明还提供了一种砂浆回收系统，包括：废砂浆调和罐，将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；一次离心机，与废砂浆调和罐连接，将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；一次落饼罐，底部铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；成品砂浆储存罐，用于将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。
70.在一实施例中，砂浆回收系统包括：废砂浆调和罐，将废砂浆和回收液进行调和得到预设工艺密度的调和砂浆；一次离心机，与废砂浆调和罐连接，将调和砂浆加热到一次分离工艺温度后，输送至一次离心机进行分离，得到一次分离回收砂浆固相和一次分离回收砂浆液相；一次落饼罐，底部铺设回收液作为底液，将一次分离回收砂浆固相输送至一次落饼罐中得到一次回收砂浆，直至一次落饼罐中的总质量达到预设质量；一次调和罐中，在循环一次回收砂浆的过程中添加回收液进行自循环密度检测，直到一次调和罐中的砂浆密度达到预设密度；成品砂浆储存罐，用于将一次回收砂浆经过二次分离及砂浆密度调整得到二次回收砂浆，将二次回收砂浆与新砂浆按比例混合得到成品砂浆。脏液箱，用于储存一次分离回收砂浆液相和二次分离砂浆液相；压滤机，与脏液箱连接，用于将脏液箱加热到工艺
要求温度的混合液进行固液分离得到的回收液；压滤液箱，与压滤机连接，用于储存回收液。
71.本发明还提供了一种电子设备，包括：存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现如上述的砂浆回收方法。
72.处理器和存储器可以通过总线或者其他方式连接。
73.存储器作为一种非暂态计算机可读存储介质，可用于存储非暂态软件程序以及非暂态性计算机可执行程序。此外，存储器可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非暂态存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件或其他非暂态固态存储器件。在一些实施方式中，存储器可选包括相对于处理器远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至该处理器。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
74.以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
75.此外，本发明的一个实施例还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令，该计算机可执行指令被一个处理器或控制器执行，例如，被上述终端实施例中的一个处理器执行，可使得上述处理器执行上述实施例中的砂浆回收方法。
76.本领域普通技术人员可以理解，上文中所公开方法中的全部或某些步骤、系统可以被实施为软件、固件、硬件及其适当的组合。某些物理组件或所有物理组件可以被实施为由处理器，如中央处理器、数字信号处理器或微处理器执行的软件，或者被实施为硬件，或者被实施为集成电路，如专用集成电路。这样的软件可以分布在计算机可读介质上，计算机可读介质可以包括计算机存储介质(或非暂时性介质)和通信介质(或暂时性介质)。如本领域普通技术人员公知的，术语计算机存储介质包括在用于存储信息(诸如计算机可读指令、数据结构、程序模块或其他数据)的任何方法或技术中实施的易失性和非易失性、可移除和不可移除介质。计算机存储介质包括但不限于ram、rom、eeprom、闪存或其他存储器技术、cd-rom、数字多功能盘(dvd)或其他光盘存储、磁盒、磁带、磁盘存储或其他磁存储装置，或者可以用于存储期望的信息并且可以被计算机访问的任何其他的介质。此外，本领域普通技术人员公知的是，通信介质通常包含计算机可读指令、数据结构、程序模块或者诸如载波或其他传输机制之类的调制数据信号中的其他数据，并且可包括任何信息递送介质。
77.以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明，但本发明并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本发明权利要求所限定的范围内。
78.以上所述本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。