一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法与流程

1.本发明属于传感器技术领域，具体的说是一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法。


背景技术：

2.常规热导传感器可以使用温度敏感的电阻式传感器检测装置，传感器直接与待测介质接触，在受到杂质污染之后，驱动电路及敏感的传感器本身容易因为过载，受潮等各种原因而损坏。鉴于此，本发明提出了一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，解决了上述技术问题。


技术实现要素：

3.为了解决现有技术的不足，本发明提出的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法；降低故障率，提高产品寿命与可靠性。
4.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，包括在同一微机电系统半导体基片上的n套传感器系统，n≥2，以及接收n套传感器系统工作信号的控制器，工作时，其中任意一套传感器系统为检测传感器，通电工作，余下的传感器系统为备份传感器，不通电，且不受到短路影响；当检测传感器因短路故障损坏无法继续使用时，手动或者自动切换使用备用传感器中任意一个，使得传感器继续正常运行，以此类推，直至硅片上的n套传感器系统全部故障。
5.优选的，所述传感器系统包括热导传感器和参比传感器。
6.优选的，n套传感器系统信号调理部分独立，或者公用，保证在未使用的传感器系统不会因为故障受到影响或者损坏。
7.优选的，当检测传感器损坏故障时，控制器接收到故障信号，并输出一个信号，提示传感器损坏信息，使传感器系统自动切换到备份传感器。
8.本发明的有益效果如下：
9.本发明所述的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，在同一微机电系统半导体基片上生产两套或者两套以上的传感器系统，实际应用中当检测到传感器发生故障损坏，可以实时的手动或者自动切换到备份传感器模块，保证传感器功能正常，实现传感器热备份或冷备份，提高传感器可靠性和稳定性，并产生故障检测信号。
附图说明
10.下面结合附图对本发明作进一步说明。
11.图1是本发明的实施例的结构示意图；
12.图2是本发明的实施例的工作原理图。
具体实施方式
13.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
14.本发明实施例通过提供一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，
15.如图1所示，本发明所述的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，包括在同一微机电系统半导体基片上的2套传感器系统，r1＝r2，r3＝r4，两套热导传感器和参比传感器。正常使用时，其中一套r1 r3为检测传感器，通电工作。r2 r4为备份传感器。正常使用时不通电，不参与系统，不工作。不工作时不会受到短路影响，使得传感器继续正常运行。
16.如图2所示，当r1 r3传感器因为短路等故障损坏无法继续使用时，手动或者自动切换使用r2 r4传感器，使得传感器模块整体可以继续正常运行。当r1 r3检测传感器损坏故障时，控制器接收到故障信号，并输出一个信号，提示传感器损坏信息，使传感器系统自动切换到r2 r4备份传感器。本发明方便检修和准备备件，总体降低故障率，提高产品寿命与可靠性。两套传感器的信号调理部分独立，或者公用，保证在未使用时不会因为故障受到影响或者损坏。
17.上述前、后、左、右、上、下按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
18.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
19.以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，包括在同一微机电系统半导体基片上的n套传感器系统，n≥2，以及接收n套传感器系统工作信号的控制器，其特征在于：工作时，其中任意一套传感器系统为检测传感器，通电工作，余下的传感器系统为备份传感器，不通电，且不受到短路影响；当检测传感器因短路故障损坏无法继续使用时，手动或者自动切换使用备用传感器中任意一个，使得传感器继续正常运行，以此类推，直至硅片上的n套传感器系统全部故障。2.根据权利要求1所述的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，其特征在于：所述传感器系统包括热导传感器和参比传感器。3.根据权利要求1所述的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，其特征在于：n套传感器系统信号调理部分独立，或者公用，保证在未使用的传感器系统不会因为故障受到影响或者损坏。4.根据权利要求1所述的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，其特征在于：当检测传感器损坏故障时，控制器接收到故障信号，并输出一个信号，提示传感器损坏信息，使传感器系统自动切换到备份传感器。

技术总结
本发明公开了一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法，包括在同一微机电系统半导体基片上的N套传感器系统，N≥2，以及接收N套传感器系统工作信号的控制器，其特征在于：工作时，其中任意一套传感器系统为检测传感器，通电工作，余下的传感器系统为备份传感器，不通电，且不受到短路影响；当检测传感器因短路故障损坏无法继续使用时，手动或者自动切换使用备用传感器中任意一个，使得传感器继续正常运行，以此类推，直至硅片上的N套传感器系统全部故障。本发明方便检修和准备备件，总体降低故障率，提高产品寿命与可靠性。提高产品寿命与可靠性。提高产品寿命与可靠性。


技术研发人员：王洋 冯树环
受保护的技术使用者：安徽安分光电科技有限公司
技术研发日：2022.09.14
技术公布日：2022/11/11