探测器栅网的制造工装的制作方法

1.本技术涉及扫描电子显微镜技术领域，尤其涉及一种探测器栅网的制造工装。


背景技术：

2.二次电子探测器是收集样品上产生的二次电子，经高压闪烁体转化成光信号，再经石英玻璃传输到光电倍增管上转化成电信号，最后输出到外部电路成像的装置。现有技术中，二次电子探测器栅网的单元网尺寸大小不一，一般需要多个探测器栅网的制造工装进行一个个压铸成型，工艺繁琐，成本高。


技术实现要素：

3.本技术提供一种探测器栅网的制造工装。
4.本技术实施方式的探测器栅网的制造工装包括基座和压合件，所述基座设有型腔，所述型腔包括多个相互连通的子腔，至少两个所述子腔的形状不同，每个所述子腔的壁面形成有第一凹槽，所述压合件包括型芯，所述型芯包括多个子芯，所述子芯与所述子腔一一对应并适配，每个子芯的外表面形成有第二凹槽，所述第二凹槽的形状与对应的所述第一凹槽的形状相同，在所述型芯插入在所述型腔中的情况下，所述子芯嵌合在对应的子腔中，所述第一凹槽与所述第二凹槽对应。
5.本技术实施方式的探测器栅网的制造工装通过基座与压合件配合压铸二次电子探测器栅网，栅网的单元网与第一凹槽或第二凹槽对应放置，在压合件压入基座后，多个子腔与多个子芯同步压合可将多个不同规格的单元网一次性压铸成型，简化制造工艺，降低制造成本，提高生产效率。
6.在某些实施方式中，所述基座包括侧面，所述子腔自所述侧面向所述基座内延伸，所述第一凹槽自所述侧面延伸至所述子腔的底部并回绕至所述侧面。
7.在某些实施方式中，所述多个子腔沿同一直线方向排布。
8.在某些实施方式中，在所述多个子腔的排布方向，位于中间部位的所述子腔的深度大于位于两侧部位的所述子腔的深度。
9.在某些实施方式中，所述多个子腔的深度自中间部分向两侧部分减小。
10.在某些实施方式中，每个所述子腔自所述侧面向所述基座内聚拢。
11.在某些实施方式中，所述型腔具有位于所述侧面的开口，所述开口包括相对的第一边缘和第二边缘，所述第一边缘呈折线状，所述第二边缘呈直线。
12.在某些实施方式中，所述子腔具有第一平面和第二平面，所述第一平面连接所述侧面和所述第二平面，所述第二平面自所述第一平面向所述子腔的底部延伸，所述第二平面相对于所述第一平面倾斜设置。
13.在某些实施方式中，所述压合件还包括基板，所述型芯设置在所述基板上。
14.在某些实施方式中，所述压合件包括把手，所述把手设置在所述基板背离所述型芯的一面上。
15.本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
16.本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
17.图1是本技术实施方式的探测器栅网的制造工装的某一视角的结构示意图；
18.图2是本技术实施方式的探测器栅网的制造工装的另一视角的结构分解示意图；
19.图3是二次电子探测器栅网及单元网的结构示意图；
20.图4是本技术实施方式的探测器栅网的制造工装的基座的某一视角的结构示意图；
21.图5是本技术实施方式的探测器栅网的制造工装的基座的另一视角的剖面示意图；
22.图6是本技术实施方式的探测器栅网的制造工装的基座的另一视角的结构示意图。
23.主要元件符号说明：
24.探测器栅网的制造工装1000；
25.基座100；
26.型腔10、子腔11、第一凹槽1111、第一平面111、第二平面112、开口12、第一边缘121、第二边缘122；
27.侧面20；
28.压合件200、型芯210、子芯211、第二凹槽2111、基板220、把手230；
29.栅网2000；
30.单元网300。
具体实施方式
31.下面详细描述本技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
32.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
33.在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
34.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
36.请参阅图1-图3，本技术实施方式的探测器栅网的制造工装1000包括基座100和压合件200，基座100设有型腔10，型腔10包括多个相互连通的子腔11，至少两个子腔11的形状不同，每个子腔11的壁面形成有第一凹槽1111，压合件200包括型芯210，型芯210包括多个子芯211，子芯211与子腔11一一对应并适配，每个子芯211的外表面形成有第二凹槽2111，第二凹槽2111的形状与对应的第一凹槽1111的形状相同，在型芯210插入在型腔10中的情况下，子芯211嵌合在对应的子腔11中，第一凹槽1111与第二凹槽2111对应。
37.本技术实施方式的探测器栅网的制造工装1000通过基座100与压合件200配合压铸二次电子探测器栅网2000(如图3所示)，栅网2000的单元网300与第一凹槽1111或第二凹槽2111对应放置，在压合件200压入基座100后，多个子腔11与多个子芯211同步压合可将多个不同规格的单元网300一次性压铸成型，简化制造工艺，降低制造成本，提高生产效率。
38.具体地，探测器栅网的制造工装1000可以是用于制造二次电子探测器栅网2000的工艺设备装置，探测器栅网的制造工装1000包括基座100和压合件200，基座100的外部轮廓可呈长方体结构，基座100上的型腔10位于基座100内部，型腔10可以是设置在基座100内的有型腔10体，型腔10可由多个子腔11组成，多个子腔11在型腔10内相互紧靠并连通的排布，子腔11的形状可呈一端聚拢的锥形结构，多个子腔11内的至少两个子腔11的形状不同，可以理解，多个子腔11的数量为两个时，两个子腔11的形状不同，多个子腔11的数量大于两个时，至少两个子腔11的形状可不同，其他子腔11的形状可相同或不同。
39.子腔11的尖端朝向型腔10的内侧，子腔11的壁面可以是子腔11朝向型腔10的腔体内的表面，子腔11的第一凹槽1111位于子腔11的壁面上，第一凹槽1111可环绕设置在子腔11的整个壁面。对应的，与基座100的型腔10对应设置的是压合件200上的型芯210，压合件200可用于压入基座100配合基座100对二次电子探测器栅网2000进行压铸。压合件200上的型芯210可对应基座100的型腔10的形状结构，型芯210上的子芯211可以是凸设在压合件200上的并可呈平行朝向的锥形结构，类似的，在子芯211的外表面上具有与子腔11的壁面相同的形状的第二凹槽2111，第二凹槽2111可环绕的设置在子芯211上。
40.型芯210可沿型腔10的开口12方向向型腔10内部插入，第一凹槽1111与第二凹槽2111的结构形状可以为相同的半圆截面形状。在型腔10插入型芯210后，第一凹槽1111与第二凹槽2111的半圆截面形状可相互组合共同构成圆形截面，并将第二电子探测器的栅网2000压铸在第一凹槽1111与第二凹槽2111内，圆形截面的直径可与栅网2000直径相同，由此，型腔10插入型芯210可将栅网2000压铸为与型芯210结构相似的锥形结构。
41.请参阅图2和图4，在某些实施方式中，基座100包括侧面20，子腔11自侧面20向基座100内延伸，第一凹槽1111自侧面20延伸至子腔11的底部并回绕至侧面20。
42.如此，子腔11环绕的方式可使子腔11中间呈空腔状，子腔11自侧面20环绕回侧面20可以提升子腔11与子芯211的形状吻合度，便于子芯211插入。
43.具体地，基座100的侧面20位于基座100的型腔10的开口12方向，型腔10内的多个子腔11具有靠近侧面20的两端部，两端部的一端均可由基座100的靠近底部的侧面20向基座100内延伸，并可沿型腔10内的腔壁绕回基座100的靠近顶部的侧面20。多个子腔11的延伸深度可以不同，环绕所形成的形状可与子芯211的凸出形状相同。
44.请参阅图2和图4，在某些实施方式中，多个子腔11沿同一直线方向(如图4所示出)排布。
45.如此，沿直线排布的多个子腔11可与型芯210上的多个子芯211的排布方向相同，便于子芯211顺利的匹配插入子腔11中。
46.具体地，多个子腔11可在型腔10的内部紧靠排列，多个子腔11可沿基座100的长度方向横向的排布，多个子腔11所沿的同一直线方向排布可以是多个子腔11与基座100的侧面20上靠近侧面20底部的，子腔11与侧面20相接触位置所组成的同一直线方向。
47.请参阅图2和图5，在某些实施方式中，在多个子腔11的排布方向，位于中间部位的子腔11的深度大于位于两侧部位的子腔11的深度。
48.如此，多个子腔11在排布方向上的深度大小不同可与型芯210上的多个子芯211的凸出长度不同对应，便于子芯211顺利的匹配插入子腔11中。
49.具体地，型腔10内的沿直线排布的多个子腔11可分为中间部分子腔11及靠近基座100边壁的两侧部分子腔11，与型芯210上的子芯211凸出长度类似，中间部分的多个子腔11的深度可大于两侧部分的子腔11深度，子腔11的深度可以是子腔11由基座100的侧面20向基座100上与侧面20相对的另一侧面20凹陷的深度。示例性地，当子腔11数量为九个并沿直线排布时，位于中间的三个子腔的深度大于中间三个子腔的左右侧的子腔的深度。
50.请参阅图2和图5，在某些实施方式中，多个子腔11的深度自中间部分向两侧部分减小。
51.如此，多个子腔11在排布方向上深度的变化可与型芯210上的多个子芯211的凸出长度的变化对应，便于子芯211顺利的匹配插入子腔11中。
52.具体地，多个子腔11的深度可呈梯度变化，可以理解，位于多个子腔11中间部分的子腔11的深度较大，自中间部分的子腔11向两侧布置的子腔11的深度可逐渐减小。示例性地，当子腔11的数量为九个时，九个子腔可依次排布，中间的三个子腔可理解为第五子腔、第六子腔、第七子腔，中间的三个子腔的深度可以相同，自中间三个子腔向两侧的第三子腔、第二子腔、第一子腔的深度可呈依次减小，第七子腔、第八子腔、第九子腔的深度可依次减小。
53.请参阅图2、图4和图5，在某些实施方式中，每个子腔11自侧面20向基座100内聚拢。
54.如此，子腔11相基座100内聚拢可形成使子腔11在基座100内的一端呈与子芯211尖端匹配的形状，可便于子芯211插入子腔11内匹配压合。
55.具体地，型腔10内的每个子腔11在基座100的侧面20上均设置有连接端，连接端呈展开状，每个子腔11自侧面20向基座100内的另一侧面20方向凹陷过程中，子腔11的凹陷延伸逐渐聚拢可形成平滑连接的聚拢尖端。
56.请参阅图6，在某些实施方式中，型腔10具有位于侧面20的开口12，开口12包括相对的第一边缘121和第二边缘122，第一边缘121呈折线状，第二边缘122呈直线。
57.如此，型腔10的侧面20的开口12形状与第一边缘121和第二边缘122相关联，型腔10的折线状第一边缘121与直线状第二边缘122配合子芯211的边缘可以使型芯210准确的插入型腔10，还可具有一定的防呆作用，减少型芯210错误压入型腔10的情况。
58.具体地，型腔10的开口12位于型腔10的侧面20，开口12可以是多个子腔11连接侧面20的端部之间的空间组合形成。开口12位于侧面20宽度方向上的一端边缘可以是呈折线形状的第一边缘121，开口12位于侧面20宽度方向上的另一端可以是呈直线形状的第二边缘122，第一边缘121可呈阶梯形状的折线，第一边缘121的中间部分向两侧的部分可逐渐接近第二边缘122。第一边缘121与第二边缘122可在最接近的部位设置有一定的空间间隔。
59.请参阅图6，在某些实施方式中，子腔11具有第一平面111和第二平面112，第一平面111连接侧面20和第二平面112，第二平面112自第一平面111向子腔11的底部延伸，第二平面112相对于第一平面111倾斜设置。
60.如此，第一平面111与第二平面112构成与子芯211的表面配合的子腔11表面，第二平面112连接第一平面111并倾斜可以使得第一凹槽1111嵌设子腔11内具有弯折形状。
61.具体地，子腔11的第一平面111可以是子腔11的紧靠侧面20的与基座100底面相平的平面，多个子腔11的第一平面111向基座100内延伸的长度可不相同，子腔11的第二平面112连接在第一平面111的远离侧面20的一端边缘，且第二平面112相可对第一平面111倾斜的设置。子腔11内的第一平面111与第二平面112可相对子腔11的中心轴对称设置在子腔11上。
62.请参阅图2，在某些实施方式中，压合件200还包括基板220，型芯210设置在基板220上。
63.如此，基板220可以提供压合件200连接型芯210的结构支撑，基板220呈板状可以提供型芯210连接所需的板面，可将多个子芯211共同连接在基板220上。
64.具体地，压合件200的基板220可以是与基座100截面相匹配的长方体板状结构，基板220可以是金属材料，类似的，基座100和压合件200也可以是金属材质制成。基板220的厚度方向的一侧可连接型芯210，型芯210的背离尖端的一侧可连接在基板220上，且多个子芯211可呈直线的排布连接在基板220的侧面20上。
65.请参图2，在某些实施方式中，压合件200包括把手230，把手230设置在基板220背离型芯210的一面上。
66.如此，把手230的设置可便于压合件200压入基座100，还可便于将压合件200拉出并进行下一次压入操作。
67.具体地，把手230可设置在基板220的背离型芯210的一侧面20，可作为外力作用基板220的抓手。把手230可以是金属结构，把手230的形状可以是拱形的柱状结构，把手230可具有与基板220连接的两端，把手230的两端可通过焊接等连接方式与基板220连接。
68.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
69.尽管已经示出和描述了本技术的实施方式，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本技术的原理和宗旨的情况下可以对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由权利要求及其等同物限定。