一种多工位式连续式真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别涉及一种多工位式连续式真空镀膜设备。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.由于镀膜技术的不断发展，因此镀膜工艺在现在共同工业生产中得以大量的使用，但是目前的镀膜设备在使用过程中仍存在一些缺陷，现在的镀膜设备在进行镀膜作业时，往往在完成对一件工件的镀膜工作后，需要将真空中的工件取出再进行下一件工件的加工，这样十分影响工件的加工效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种多工位式连续式真空镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的现在的镀膜设备在进行镀膜作业时，往往在完成对一件工件的镀膜工作后，需要将真空中的工件取出再进行下一件工件的加工，这样十分影响工件的加工效率的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多工位式连续式真空镀膜设备，包括镀膜壳，所述镀膜壳的内壁开设有第一空腔，所述第一空腔内壁的上方固定连接有多个固定杆，多个所述固定杆的下端共同固定连接有阴极板；
6.所述镀膜壳的表面固定连接有多个进料壳，多个所述进料壳的内部均开设有第二空腔，多个所述第二空腔的上表面均固定连接有液压杆，多个所述液压杆的下端均固定连接有开合板，多个所述第二空腔内壁的下方均通过滑动机构滑动连接有放料板。
7.优选的，所述滑动机构包括多个凹槽，多个所述第二空腔内壁的下方均开设有凹槽，多个所述凹槽的内壁均固定连接有电动滑轨，多个所述电动滑轨的内壁均滑动连接有电动滑块，两个相对应的电动滑块的上表面共同与相对应的放料板下表面的一侧固定连接。
8.优选的，多个所述放料板的上表面均开设有放料槽。
9.优选的，多个所述第二空腔内壁上方的中心处均开设有固定孔，多个所述固定孔的内壁均固定连接有真空管。
10.优选的，多个所述开合板的表面均固定连接有密封垫，多个所述密封垫均由软化橡胶材料制作而成。
11.优选的，所述镀膜壳的下表面固定连接有支撑板，多个所述进料壳下表面的中心处均固定连接有支撑腿。
12.本实用新型的技术效果和优点：
13.1、通过设置镀膜壳、第一空腔、固定杆、阴极板、进料壳、第二空腔、液压杆、开合板、放料板，对现在的镀膜设备进行了优化与改进，完成镀膜设备连续工作的改造，使现在的镀膜设备在进行镀膜作业时，不再需要在完成对一件工件的镀膜工作后，将真空中的工件取出再进行下一件工件的加工，极大的提高了工件的加工效率。
14.2、通过设置第二空腔、电动滑轨、电动滑块、放料板，使放料板可以通过电动滑轨与电动滑块进行移动，通过设置放料板、放料槽，可以将需要加工的工件放置在放料槽中。
15.3、通过设置第二空腔、固定孔、真空管，使真空泵可以通过真空管将第二空腔内部的空气抽走，通过设置开合板、密封垫，提高开合板的密封效果，防止外部的空气溢入到第二空腔内部，通过设置镀膜壳、支撑板、进料壳、支撑腿，对镀膜设备进行稳定支撑。
附图说明
16.图1为本实用新型的镀膜壳剖面结构示意图。
17.图2为本实用新型的a部放大图结构示意图。
18.图3为本实用新型的b部放大图结构示意图。
19.图4为本实用新型的放料板立体结构示意图。
20.图中：1、镀膜壳；2、第一空腔；3、固定杆；4、阴极板；5、进料壳；6、第二空腔；7、液压杆；8、开合板；9、电动滑轨；10、电动滑块；11、放料板；12、放料槽；13、固定孔；14、真空管；15、密封垫；16、支撑板；17、支撑腿。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.本实用新型提供了如图1-4所示的一种多工位式连续式真空镀膜设备，包括镀膜壳1，镀膜壳1的内壁开设有第一空腔2，第一空腔2内壁的上方固定连接有多个固定杆3，多个固定杆3的下端共同固定连接有阴极板4；
23.镀膜壳1的表面固定连接有多个进料壳5，多个进料壳5的内部均开设有第二空腔6，多个第二空腔6的上表面均固定连接有液压杆7，多个液压杆7的下端均固定连接有开合板8，多个第二空腔6内壁的下方均通过滑动机构滑动连接有放料板11，对现在的镀膜设备进行了优化与改进，完成镀膜设备连续工作的改造，使现在的镀膜设备在进行镀膜作业时，不再需要在完成对一件工件的镀膜工作后，将真空中的工件取出再进行下一件工件的加工，极大的提高了工件的加工效率。
24.如图1-3所示，滑动机构包括多个凹槽，多个第二空腔6内壁的下方均开设有凹槽，多个凹槽的内壁均固定连接有电动滑轨9，多个电动滑轨9的内壁均滑动连接有电动滑块10，两个相对应的电动滑块10的上表面共同与相对应的放料板11下表面的一侧固定连接，使放料板11可以通过电动滑轨9与电动滑块10进行移动，多个第二空腔6内壁上方的中心处均开设有固定孔13，多个固定孔13的内壁均固定连接有真空管14，使真空泵可以通过真空管14将第二空腔6内部的空气抽走，多个开合板8的表面均固定连接有密封垫15，多个密封
垫15均由软化橡胶材料制作而成，提高开合板8的密封效果，防止外部的空气溢入到第二空腔6内部，镀膜壳1的下表面固定连接有支撑板16，多个进料壳5下表面的中心处均固定连接有支撑腿17，对镀膜设备进行稳定支撑。
25.如图4所示，多个放料板11的上表面均开设有放料槽12，可以将需要加工的工件放置在放料槽12中。
26.如本实用新型工作原理：在镀膜壳1在对一个工件进行镀膜工作时，然后在后端管理程序的控制下，启动剩余进料壳5远离镀膜壳1一侧的液压杆7，液压杆7的上升会带动相对应的开合板8的上升，开合板8上升后，将需要加工的工件放进放料板11的放料槽12内，然后再次启动液压杆7，液压杆7回落会带动开合板8一起进行回落，在开合板8密闭严实后，启动真空泵通过真空管14将多个第二空腔6内部抽成真空环境，在镀膜壳1内部的工件加工完毕后，启动已经进料的进料壳5的靠近镀膜壳1一侧的液压杆7，液压杆7的上升会带动相对应的开合板8进行上升，开合板8上升后，两个电动滑块10对共同带动放料板11在两个电动滑轨9内进行移动，直到将放料板11送入到镀膜壳1之中，以此来实现镀膜设备的不间断加工。
27.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。