一种基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法

技术特征：
1.一种基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将锆粉末与聚酰亚胺溶液均匀混合；(2)将混合物涂于载物片上形成软膜层，对载物片上的软膜层进行固化，或将软膜层转移至待镀膜工件上进行固化，固化得到混合薄膜；(3)以激光器扫描混合薄膜，在载物片或待镀膜工件上形成掺锆石墨烯膜层。2.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述聚酰亚胺溶液中聚酰亚胺与锆粉末的质量比为10:(0.8-1.2)。3.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(1)中，将锆粉末倒入聚酰亚胺溶液后，以剪切搅拌机以1800-2400r/min搅拌25-35min，得到混合物。4.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(2)中，以匀胶机在具有保护气体的环境中，将混合物旋涂于载物片，旋涂的转速为2500-3200r/min，旋涂时间为50-80s。5.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(2)中，软膜层的厚度为120-140μm。6.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(2)中，所述待镀膜工件为光纤，使光纤的端面蘸取所述载物片上的软膜层，软膜层即转移至光纤的端面。7.根据权利要求6所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，将光纤端面的软膜层进行固化之后，将光纤固定于光纤固定器，以使所述激光器扫描位于光纤端面的薄膜，在光纤端面形成掺锆石墨烯膜层。8.根据权利要求1所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(2)中，采用加热的方式使软膜层固化，固化方法为：在80℃下加热20分钟；温度升高到120℃后加热30分钟；温度升高到160℃进行加热30分钟；温度升高到200℃加热10分钟；最后在220℃的温度下加热20分钟。9.根据权利要求6所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述激光器的下方设置有可沿x轴和y轴移动的位移平台，所述激光器带有摄像机，所述激光器可沿z轴移动；所述激光器扫描混合薄膜前，将所述激光器与混合薄膜对准，对准方法如下：将带有所述混合薄膜的载物片或待镀膜工件放置于所述位移平台，所述位移平台将混合薄膜移动至所述摄像机下方，摄像机沿z轴移动完成对所述混合薄膜的粗调焦；之后，所述位移平台移动，使混合薄膜的中心位于所述摄像机的正下方，完成微调焦；调整所述摄像机沿z轴向下移动实现离焦；之后，所述位移平台将混合薄膜移动至所述激光器的正下方，对所述混合薄膜进行扫描。10.根据权利要求9所述的基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，其特征在于，当对载
物片上所述混合薄膜进行对准时，所述摄像机的离焦量为5mm；当对光纤端面上的混合薄膜进行对准时，摄像机的离焦量为0.035mm。

技术总结
本发明公开了一种基于激光诱导掺锆石墨烯的镀膜方法，包括以下步骤：(1)将锆粉末与聚酰亚胺溶液均匀混合；(2)将混合物涂于载物片上形成软膜层，对载物片上的软膜层进行固化，或将软膜层转移至待镀膜工件上进行固化，固化得到混合薄膜；(3)以激光器扫描混合薄膜，在载物片或待镀膜工件上形成掺锆石墨烯膜层。本发明的方法能实现石墨烯膜层中掺杂金属锆，该镀膜方法可操作性强，设备成本低。设备成本低。设备成本低。


技术研发人员：侯茂祥 温官海 陈云 李彪 宋奥柯 赖声宝 欧正平 陈新
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：2022.07.19
技术公布日：2022/10/11