用于控制用于加工工件的机床的超声发生器的方法和系统与流程

1.用于控制机床的超声发生器以产生用于加工工件的超声的方法和系统。


背景技术：

2.机床允许对工件进行灵活的、在大多数情况为下去切屑(chip-removing)的加工。因此，机床包括根据部件尺寸和待加工材料使用的多种不同刀具。通常，金属材料的去切屑加工是通过具有几何指定形状边缘的铣削加工或车床加工进行的。然而，诸如陶瓷之类的脆硬工件，由于其材料特定的特性，可能通过几何指定形状的边缘仅可进行不充分的加工。在此类应用中，为经济高效地加工工件，超声波加工通常显得更合适。
3.为此目的，本领域中存在一些已知的机床，其中通过附加地叠加高频振动来支持传统的例如磨削或去切屑加工过程的刀具运动学。这种振荡在工具和工件之间的接触处产生了几微米范围内的运动幅度，从而降低了加工力。
4.这种具有超声波功能的机床包括产生超声波振动的超声发生器，该超声波振动主要通过压电系统传递到刀架，该刀架例如可更换地插入铣削主轴中。在那里，通过超声波加工的工件的加工效率取决于所用刀具的几何形状及其夹紧长度等。


技术实现要素：

5.本发明的目的是分别提供一种用于控制机床的超声发生器以产生用于加工工件的超声的方法和系统，其使得能够通过机床进行优化的超声波加工。
6.该目的通过根据独立权利要求1和8的特征来解决。从属权利要求由此涉及本发明的特定实施例。
7.根据本发明的用于控制用于产生用于加工工件的超声波的机床的超声发生器的方法包括以下步骤：产生具有不同频率的电信号，所述频率在超声波频率范围内。由此，可以达到对用于加工工件的振动系统的固有频率的最佳应用。在一些实施例中，可以连续产生具有不同频率的电信号。在一些实施例中，生成的电信号可以包括具有不同频率的多个叠加的电信号。
8.优选地，由产生的不同频率的所有频率点是预定频带的一部分，该预定频带确定关于频率的可能运行范围。这可以具有确保频率的调节也满足工件加工关于频率的要求的优点。
9.在特别有利的实施例中，产生具有不同频率的电信号可以包括一个预定频谱的扫频(频率通过)。在一些实施例中，不同频率的频谱，特别是扫频(频率通过)的频谱，可以取决于工具(质量、温度)、加工参数(进给、旋转速度、横进给)和/或一个或多个如材料、几何形状、尺寸、质量等的工件特性。
10.该方法的另一个步骤是通过电信号向刀具施加超声波。在施加超声波时，例如可以将所产生的电信号，尤其是通过诸如压电马达的马达转换为机械信号(超声波)。
11.该方法还包括以下步骤：确定超声波的(相移角)作为频率的函数的相移，分析作
为频率的函数的相移，以及根据对相移的分析，确定用于控制由超声发生器产生的超声频率的调节算法。
12.确定超声波的相移可以例如包括确定所产生的电信号的电压和所产生的电信号的电流之间的相移角(相移)。
13.相移的分析可以包括作为频率的函数的相移与相位参考值的定量比较。
14.这样做的优点是，对于机床通过超声波对不同的工件进行加工，可以容易且有效地调节超声波的频率，使得被振动的刀具尽可能地与超声波共振。因此，可以减少(以超声波的形式的)能量消耗以使刀具的运行范围偏转预定幅度。
15.使用基于对作为频率的函数的相移分析的不同调节算法具有可以特别有效和稳定地设计控制器(调节算法)的优点。此外，在将相移确定为调节幅度时例如由于噪声(noise)而产生的误差可以被忽略。
16.在该方法的一个特别有利的配置中，例如，当相移的分析表明，在一个频率点，第一相位参考值相对更低时，该方法可以包括指定相移调节目标的步骤，调节超声发生器产生的频率以达到相移调节目标，并在调节超声波频率的同时加工工件。在第一相位参考值相对更低的条件下，可以确定是否可以(大约)达到预定的调节目标。在此基础上，可以优化调节算法。这具有可以特别有效且稳健地设计控制器的优点。
17.相移调节目标例如可以是0
°
的相移或者在接近0
°
的范围内，这意味着在相应的频率下，施加超声波的机体处于共振状态。这具有使相互重叠的超声波放大，从而可以减少用于达到超声波的预定幅度的能量消耗的优点。
18.第一相位参考值可以有利地具有特别是高于相位调节目标3
°
的值。这可以具有如下优点：在调节/控制期间的过冲，例如在调节到相位值0
°
的相位调节目标处的过冲，不会导致调节算法的修改。
19.在一个特别有效的实施例中，当可以通过两个不同的频率达到相移调节目标时，可以将超声发生器产生的用于达到相移调节目标的频率调节到两个不同频率中的较高的频率。这具有可以减少用于产生预定偏转所需的能量消耗的优点。
20.在一个特别有利的配置中，当例如可以通过两个或多个不同的频率达到相移调节目标时，可以将由超声发生器产生的用于到达移相调节目标的频率调节为用于产生超声波的阻抗(电阻)与两个或多个不同频率的阻抗值相比较低的频率。这具有的优点在于，在例如通过压电马达产生超声波时，只需要较低的电压来产生预定的超声波激励。
21.在一个特别优化的实施例中，例如，当相移的分析表明，在所有频率点上都超过了第一相位参考值和/或在至少一个频率点上，第二相位参考值相对较低，在下文中，该方法可以包括以下步骤：调节由超声发生器产生的频率使得相移最小，并且在调节超声波的频率的同时加工工件。
22.这可能具有以下优点，即在例如预期可能无法达到0
°
的相位调节目标时，使用对于找到最小值而言特别有效的最小值控制器。因此，可以优化超声发生器的控制，从而优化用于改进工件加工的关于节能和工件加工速度的机床的控制。
23.在特别通用的实施例中，例如，当相移的分析表明在所有频率点都超过了第二相位参考值时，该方法可以包括确定不同频率的频率的步骤，其中在该频率下确定的相移最小，在调整超声波的频率的同时加工工件，并且在工件加工期间围绕确定的频率改变预定
加工频带中的频率。
24.这可能具有的优点是，特别是在相位噪声和最小相移具有低显着性的情况下，可以尽可能好地激励刀具，从而使刀具与激励共振。因此，可以减少将工具振动至预定程度所需的能量消耗。
25.在优选实施例中，加工频带可以是围绕中心频率的
±
600hz的频带。在一些实施例中，改变频率扫描(frequencysweep)的频率可以特别地包括频率通过(frequencypass)。例如，这可以通过压控振荡器(vco)线性发生。
26.在特别有利的实施例中，尤其是在以离散的值改变频率时，频带边缘处的步长可以大于加工频带中心处的步长。
27.在特别有利的实施例中，该方法可以包括以下步骤：确定所产生的超声波和反射的超声波之间的相移作为频率的函数，同时改变频率；分析作为频率的函数的相移；从具有最小相移的确定频率附近的加工频带中确定新频率；在新确定的频率附近改变加工频带中的频率。
28.这具有以下优点，特别是当难以识别最小相移时，可以改进通过迭代调整将频率控制到刀具的更加共振的频率范围。由此，可以最小化工件加工的能量消耗。
29.在特别灵活的实施例中，该方法可以包括以下步骤：在工件加工期间确定所产生的超声波和反射的超声波之间的相移作为频率的函数，在工件加工期间分析作为频率的函数的相移，以及根据对相移的分析，改变用于控制超声发生器产生的超声频率的调节算法。
30.这具有以下优点，即超声发生器的控制，特别是对于调节算法，瞬时(特别是在工件加工期间，根据实施例且最佳地)适用于例如由于热源、刀具特性、工件特性、加工特性等而发生的对系统参数的修改。由此，工件加工可以在质量、速度和能量消耗方面得到改进。
31.根据本发明的用于控制用于产生用于加工工件的超声波的机床的超声发生器的系统包括用于产生用于加工工件的超声波的超声发生器、用于确定超声波的相移的相移确定单元，评估单元，用于分析作为频率的函数的相移并根据对相移的分析确定调节算法，以及控制单元，用于根据产生的和反射的超声波之间的相移以及根据确定的调节算法来调节频率。
32.例如，超声发生器可以包括用于将电流转换为机械运动的压电马达，和/或用于分别以预定频率产生电流和电压的频率发生器。
33.在一些实施例中，超声发生器可以产生具有不同频率的电信号。在一些实施例中，可以连续产生具有不同频率的电信号。在一些实施例中，生成的电信号可以包括具有不同频率的多个叠加的电信号。例如，可以通过一个或多个压电马达将一个电信号转换为超声波。
34.一个超声相移的示例是一个转换为超声的电信号的电流和电压之间的相移。
35.相移确定单元可以是用于确定相移的模拟和/或数字电路。因此，在一些实施例中，相移确定单元可以包括一个或多个模数转换器(adc)。
36.为了分析相移，评估单元可以包括模拟和/或数字电路。因此，在一些实施例中，评估单元可以包括一个或多个模数转换器。
37.在一些实施例中，控制单元可以包括模拟调节电路和/或数字调节。在一些实施例中，控制可以在离散时间或连续时间中发生。在一些实施例中，可以以量化或连续值输出调
节的控制参数。控制单元可以被配置为调节/控制通过超声发生器产生的超声的频率。
38.在一些实施例中，超声发生器、相移确定单元、评估单元和/或控制单元，或上述单元的一部分，可以分别融合到一个单元。
39.在本发明的一个特别有利的实施方式中，评估单元可以被配置用于分析相移并且用于在工件加工期间确定调节算法。
40.因此，可以监测工件加工的质量。在一些实施例中，机床可以根据相移的分析来控制加工速度。因此，由于较低磨损而产生的寿命可以得到改善。
41.在本发明的特别灵活的实施例中，控制单元可以被配置为在工件加工期间改变调节算法。这具有在加工期间加工工件适应系统参数的优点。因此，工件加工可以在能耗和工件加工质量方面得到改善。
42.在本发明的一个特别优化的实施例中，系统可以被配置用于执行根据权利要求1至7之一的方法。由此，系统可以针对工件加工对系统参数进行优化，使得可以优化能量消耗、加工速度和刀具磨损。
43.根据本发明的用于控制用于产生用于加工工件的超声波的机床的超声发生器的方法包括以下步骤：产生用于加工工件的具有不同频率的电信号；通过电信号特别是借助压电马达向刀具施加超声波；确定作为频率的函数的超声波的相移(相移角)；确定相移具有最小值的频率；在该确定的频率附近改变预定加工频带中的频率；并加工工件。
44.因此，特别是在难以检测到的刀具的共振或在信号上叠加了噪声的情况下，刀具可以被超声激发，从而可以产生具有低能量消耗的超声振幅。
45.在特别有利的实施例中，该方法可以包括在工件加工期间确定作为频率的函数的超声相移的进一步步骤；在确定频率附近的预定加工频带中的频率已经改变之后，确定相移具有最小值的新频率；在新确定的频率附近改变预定加工频带中的频率。
46.这具有一个优点，即该方法特别有效地对修改的系统参数做出反应，例如温度、工件质量、工件形状、刀具等的修改。
47.根据本发明的用于控制用于产生用于加工工件的超声波的机床的超声发生器的系统包括用于产生用于加工工件的超声波的超声发生器、用于确定超声波的相移的相移确定单元，用于分析超声的相移并根据相移的分析确定相移具有最小值的频率的评估单元；用于在所确定的频率附近的预定加工频带中改变频率的控制单元。
48.在一些实施例中，超声发生器可以产生具有不同频率的电信号。在一些实施例中，可以连续产生具有不同频率的电信号。在一些实施例中，生成的电信号可以包括具有不同频率的多个叠加的电信号。例如，可以通过一个或多个压电马达将一个电信号转换为超声波。
49.一个超声相移的示例是一个转换为超声的电信号的电流和电压之间的相移。
附图说明
50.本发明的其他细节和优点以及各个实施例将基于以下对图1至图6的描述而变得清楚。
51.图1示意性地示出了根据本发明的一个实施例的用于控制机床的超声发生器的方法。
52.图2示出了根据本发明确定的超声的相移的相位响应，其作为频率的一个函数。
53.图3示出了根据本发明确定的超声的相移的相位响应，其作为频率的一个函数。
54.图4示出了根据本发明确定的相移的相位响应，作为频率的函数。
55.图5示出了根据本发明确定的相移的相位响应21，作为频率的函数。
56.图6示意性地示出了根据本发明的一个实施例的用于控制机床的超声发生器的系统。
57.图7示意性地示出了根据本发明的一个实施例的超声发生器。
58.图8示意性地示出了根据本发明的一个实施例的评估单元。
59.图9示意性地示出了根据本发明的一个实施例的控制单元。
具体实施方式
60.图1示意性地示出了根据本发明的一个实施例的用于控制机床的超声发生器的方法。在该方法中，可以并行地添加、分离、合并和/或执行步骤，而不偏离本发明。此外，可以修改各步骤的顺序而不由此损害本发明。
61.在第一步骤s11中，产生具有不同频率的电信号。由此，在一些实施例中，可以产生具有多个频率(宽频谱)的电信号。由此，在一些实施例中，可以依次生成不同频率的电信号。
62.在另一步骤s12中，通过电信号将超声波施加到刀具。这意味着，刀具或刀具的一部分借助于施加超声波来振动。例如，可以通过将电信号转换为超声波，特别是通过一个或多个压电马达来施加超声波。在一些实施例中，超声可以通过刀具处/上的相应马达直接在刀具处/上产生。
63.步骤s13包括确定做为频率的函数的超声波的相移。这可以例如通过算法进行，特别是用于确定被转换为超声的电信号的电流和电压之间的相移。在一些实施例中，也可以近似地确定相移。
64.在另一步骤s14中，将相移作为频率的函数进行分析。这可以包括将作为频率的函数的相移与一个或多个相位参考值进行比较。在一些实施例中，分析相移可以包括作为频率的函数的相移的定性评估(qualitativeevaluation)。
65.在一些实施例中，可以不给出预定频带，但可以通过分析相移来确定。
66.根据步骤s14中的分析，在步骤s15中确定用于控制超声频率的调节算法。在本发明中使用的调节算法的优选示例是在预定频带(频率通过)中改变频率，特别是扫频(sweeping)，其中在通过之后根据相移的最小值重新确定频带；最小算法被配置为通过调节参数(操纵变量)，特别是通过凸优化(convexoptimization)，以及被配置为通过操纵变量(调节参数)将调节幅度调节到预定值(例如过零)的调节算法来最小化调节幅度。
67.例如，最小值算法可以是在第一频率处检测最小值、将第一频率增加到第二频率；比较第一频率的相移与第二频率的相移；当第二频率的相移小于第一频率的相移时，将第二频率作为第一频率；当第二频率的相移大于第一频率的相移时，将第一频率降低到第二频率，比较第二频率的相移与第一频率的相移；当第二频率的相移小于第一频率的相移时，以第二频率为第一频率的步骤。
68.根据增加和减少第一频率之间的开关的数量，分别增加和减少频率的步长可以分
别扩大和减少。
69.在另一步骤s16中，加工工件。在工件加工s16期间，取决于实施例，可能返回步骤s14。因此，超声的频率可以适应于系统修改(影响工具的共振频率的修改)。
70.在一些实施例中，步骤s11之前是步骤s10，其中指定频带。优选地，在步骤s11中生成的不同频率包括在步骤s10中指定的频带中。因此，可以确保将超声的频率调节到预定的共振而不是高阶或低阶的共振。
71.图2示出了根据本发明确定的超声的相移的相位响应，其作为频率的一个函数。沿x轴，频率以千赫兹为单位。在y轴上，相移phi以度为单位给出。图2中所示的相位响应21作为频率的函数，在其最小值30处，低于第一相位参考值23。第一相位参考值可以是例如具有3
°
的值。由于相位响应的最小值低于第一相位参考值23，超声波的频率将被调节到相移调节目标31。在图2所示的示例中，调节目标是0
°
.
72.如果相位响应21的最小值30在第一相位参考值23和第二相位参考值24之间的范围内，则超声的频率将被调节到具有最小相移30的频率。
73.如果相位响应21的最小值30不低于相位参考值24，或者如果相位响应21的最小值30如果超过相位参考值24，分别地，根据本发明，使用扫描算法(通过预定频带)是有利的。这有一个优点，特别是在相位响应被噪声叠加的情况下，仍然可以获得最佳结果。在图2所示的图中，第二相位参考值24约为58
°
，第一相位参考值23约为5
°
。这里，调节目标31被设置为0
°
。然而，第一和第二相位参考值以及调节目标的值可以改变。合理地，这些量级的数量比例(qualitativeratio)应该保持不变。
74.在一些实施例中，第一相位参考值23可以与第二相位参考值24匹配，第一或第二相位参考值可以仅存在一个，以及可以分别存在其他相位参考值，使得用于控制由超声发生器产生的超声频率的调节算法仅根据相移的分析从用于控制超声发生器的频率的两个或多个调节算法中确定。
75.图3示例性地示出了根据本发明确定的相移的相位响应，作为频率的函数。在图3中，类似于图2，示出了包括最小值30的相位响应21。在图3中，沿y轴，相位标度显示在右侧，阻抗标度显示在左侧。在x轴上，频率以赫兹显示。
76.除了图2中所示的相位响应21之外，图3还显示了阻抗响应22。因此，作为频率的函数的阻抗响应22可以被确定为在相位响应的第一个零交叉点28处显示为最大值，并且阻抗22到大约在相位响应的第二个零交叉点29处显示最小值。因此，在根据电流进行控制的超声发生器中，将频率控制为具有低阻抗值的频率是有利的。
77.在图3中还可以看出，相位响应可以包括多个最小值30、30a。因此，例如通过下限25和上限26的方式，将与频谱有关的运行范围限制在预定频带是合理的。这样，可以确保由超声发生器产生的频率被调节到刀具的预定共振。
78.图4示例性地示出了根据本发明确定的相移的相位响应，作为频率的函数。与图3类似，图4也在图右侧沿y轴显示了相位，并图的左侧沿y轴显示了阻抗。沿x轴，频率以赫兹显示。图4中所示的相位响应包括超过第一相位参考值23同时低于第二相位参考值24的最小值30。该实施例中的第一相位参考值是3
°
并且该实施例中的第二相位参考值是67
°
。但是，这些值不具有约束力，而只是示例性的。
79.与图2类似，图4也表明例如通过极限25和26来指定关于频率(预定频带)的运行范
围，使得由超声发生器产生的频率被明确地调节到刀具的预定共振位置可能是合理的。在一些实施例中，在第一频率通过(frequencypass)之后，将关于频率的运行范围(预定频带)限制到较小的频率范围27可能是额外有帮助的，从而可以加速频率通过并在准确性方面提高频率通过。
80.由于最小值30低于第二相位参考值24并超过第一相位参考值23，根据本发明，需要使用用于调节由超声发生器产生的超声频率使得相移最小的最小算法。
81.图5示例性地示出了根据本发明确定的相移的相位响应，作为频率的函数。在图5中，y轴显示相位，x轴显示频率。在图5中，很明显，作为频率的函数的相位响应21具有最小值30，其既不低于第一相位参考值23，也不低于第二相位参考值24。因此，有利地，控制器用于调节所产生的超声波的频率，其在以最小相移30为中心频率的加工频带35中改变所产生的超声波的频率。有利地，与加工频带35的中心相比，在加工频带35的边缘处分别改变频率和相移的最小值可以更快地发生并且具有更大的频点间隔。这具有可以防止在确定由于信号噪声引起的相移中的快速调节的优点。
82.有利地，在频带的每次通过之后，可以重新确定相移的最小值，并且可以相应地适配改变频率的频带。
83.图6示意性地示出了根据本发明的一个实施例的用于控制机床的超声发生器的系统50。在本发明的系统内，针对它们的划分，多个功能单元可以被添加、分离、合并和/或修改。
84.系统50包括超声发生器51、相位确定单元52、评估单元53和控制单元54。超声发生器51被配置为使刀具55或刀具55的一部分振动，特别是以20和40khz(超声波)之间的频率振动，以用于加工工件。因此，超声发生器51被配置为改变频率。在一些实施例中，超声发生器51可以被配置为连续地产生具有不同频率的超声波。在一些实施例中，超声发生器51可以被配置为产生包括具有不同频率的多个叠加的超声波的超声波。
85.优选地，由超声发生器51产生的不同频率的所有频率点都是预定频带的一部分，该预定频带确定了关于频率的可能运行范围。这可以具有确保频率的调节也满足工件加工关于频率的要求的优点。
86.在特别有利的实施例中，超声发生器51可以被配置为通过预定频谱的扫描(频率通过)来产生具有不同频率的超声波。在一些实施例中，不同频率的频谱，尤其是扫描(频率通过)的频谱，可以取决于刀具(质量、温度、几何形状)、加工特性(进给、横进给、旋转速度)和/或一个或更多工件特性，如材料、几何形状、尺寸、质量。因此，在一些实施例中，超声发生器51可以包括压控振荡器(vco)。
87.在有利的实施例中，超声发生器51可以包括用于将超声波施加到刀具55的压电马达。
88.在一些实施例中，超声发生器可以包括数模转换器(digital-analog-converter/dac)，用于产生预定频率的电信号，例如，可以通过压电马达将其转换为具有预定频率的超声。
89.用于确定超声波的相移的相位确定单元例如可以被配置为包括具有用于产生超声波(特别是通过压电马达产生超声波)的频率的电信号的电流和电压之间的相移。
90.这可以例如通过模拟或数字电路发生。因此，在一些实施例中，相位确定单元52可
以包括一个或多个模数转换器(adc)。因此，相位确定单元52可以有利地通过模拟或数字信号传输连接到超声发生器51。在一些实施例中，相位确定单元52可以被配置为分别确定用于执行算法或程序代码的相移。
91.相位确定单元例如可以包括用于将两个相位值相减和/或用于执行用于确定两个信号的相移的算法的单元。在一些实施例中，为了确定相移，相位确定单元可以包括用于确定相移的模拟电路。
92.在一些实施例中，相位确定单元可以连接到刀具55。
93.评估单元53可以被配置为分析所确定的相移并根据相移的分析来确定调节算法。因此，该分析可以包括将作为频率的函数确定的相移与一个或多个相位参考值进行定量比较。在一些实施例中，该分析可以包括作为频率的函数的所确定的相移的定量分析，尤其是作为频率的函数的所确定的相移与参考相位响应的比较。
94.可以在本发明中使用的调节算法的优选示例是在预定频带中围绕最小值(频率通过)改变频率，特别是扫频，其中在通过之后根据相移的最小值重新确定频带转移；被配置为通过调节参数(操纵变量)，特别是通过凸优化来最小化调节幅度的最小算法；以及被配置为通过操纵变量(调节参数)将调节幅度调节到预定值(例如过零)的调节算法。
95.例如，最小值算法可以是在第一频率处检测最小值、将第一频率增加到第二频率；比较第一频率的相移与第二频率的相移；当第二频率的相移小于第一频率的相移时，将第二频率作为第一频率；当第二频率的相移大于第一频率的相移时，将第一频率降低到第二频率，比较第二频率的相移与第一频率，的相移；当第二频率的相移小于第一频率的相移时，以第二频率为第一频率的步骤。
96.根据增加和减少第一频率之间的开关的数量，分别增加和减少频率的步长可以分别扩大和减少。
97.控制单元54被配置为根据确定的调节算法和确定的相移来控制由超声发生器51产生的针对频率的超声波。因此，控制单元54可以通过模拟或数字信号传输的方式连接到超声发生器51。
98.这样做的优点是，对于机床通过超声波对不同的工件进行加工，可以容易且有效地调节超声波的频率，使得被振动的刀具尽可能地与超声波共振。因此，可以减少能量消耗(以超声波的形式)以使工具的运行范围偏转预定幅度。
99.使用基于作为频率的函数的相移分析的不同调节算法具有可以特别有效和稳定地设计控制器(调节算法)的优点。此外，例如由于噪声而将相移确定为调节幅度的误差可以被忽略。
100.在优选实施例中，评估单元53可以被配置为分析工件加工过程中的相移，并基于分析确定调节算法。
101.在优选实施例中，控制单元可以被配置为在工件加工期间改变调节算法。
102.这具有以下优点，特别是在系统参数的修改中，例如，由于工件特性(例如尺寸、质量)、加工特性和/或刀具特性(质量、温度)的修改，超声频率可以立即调整。由此，可以保护刀具并且可以提高工件质量。
103.图7示意性地示出了根据本发明实施例的超声发生器。超声发生器51可以包括超声波发生单元71，特别是以压电马达的形式。此外，超声发生器51可以包括用于改变频率的
单元72，特别是采用压控振荡器(vco)的形式。
104.在一些实施例中，超声发生器51可以包括用于执行频率通过，特别是频率扫描的单元73。在一些实施例中，用于进行频率通过的单元73可以包括用于改变超声频率的单元72和/或超声发生单元。
105.图8示意性地示出了根据本发明的一个实施例的评估单元53。在一些实施例中，评估单元53可以包括数模转换器(dac)92，用于将数字信号转换为模拟信号，特别是用于控制压控振荡器或用于控制压电马达。此外，评估单元53可以包括模数转换器(adc)93，用于将模拟信号，特别是包括作为信息的相移的模拟可用信号，转换为数字信号。
106.评估单元53可以包括用于分析作为频率的函数的相移的单元94。此外，评估单元可以包括用于确定调节算法的单元95，特别是取决于相移的分析。
107.图9示意性地示出了根据本发明的一个实施例的控制单元54。该控制单元可以包括用于执行调节算法的单元96，特别是用于根据相移和/或阻抗调节频率。
108.此外，控制单元54可以包括特别是在工件加工期间用于改变调节算法的单元97。
109.在一些实施例中，控制单元54可以直接以数字或模拟方式连接至相位确定单元。