多狭缝模具涂布机的制作方法

1.本公开涉及一种能够通过润湿处理来同时形成两个或更多个层的多狭缝模具涂布机。特别地，本公开涉及一种改善了由包含薄模具块的结构特征造成的狭缝间隙的宽度方向偏差的多狭缝模具涂布机。本技术要求享有分别于2020年08月03日和2021年07月22日在韩国提交的韩国专利申请10-2020-0097073和10-2021-0096692的优先权，所述申请的公开内容在这里被引入以作为参考。


背景技术：

2.随着技术发展以及对于移动设备的需求的增长，对于作为能源的二次电池的需求也在迅速增长，并且此类二次电池本质上包括作为发电元件的电极组件。电极组件具有将正极、隔板和负极至少堆叠一次的形式，并且正极和负极是通过分别在用铝箔和铜箔制成的集电体上涂布和干燥正极活性物质浆料以及负极活性物质浆料制备的。为了均衡二次电池的充电/放电特征，在集电体上应该均匀地涂布正极活性物质浆料和负极活性物质浆料，并且通常会使用狭缝模具涂布机。
3.图1显示了使用常规的狭缝模具涂布机的涂布方法的一个示例。
4.参考图1，在使用狭缝模具涂布机的电极制造方法中，从狭缝模具涂布机30排出的电极活性物质浆料被涂布在涂布辊10传送的集电体20上。从狭缝模具涂布机排出的电极活性物质浆料被广泛地涂布于集电体20的一个表面，以便形成电极活性物质层。该狭缝模具涂布机30包括两个模具块31和32，并且在两个模具块31与32之间形成了单个狭缝35，以及可以经由可连通地连接到单个狭缝35的排放口37排放一种类型的电极活性物质浆料而形成一层电极活动物质层。
5.为了制造高能量密度的二次电池，大约130μm的电极活性物质层的厚度被逐渐提升至300μm。在用常规的狭缝模具涂布机30形成厚的电极活性物质层时，由于活性物质浆料中的粘合剂和导电材料的迁移(migration)会在干燥过程中加剧，因此，最终的电极会被制造得不均匀。为了解决这个问题，涂布处理被执行了两次，先涂布薄的电极活性物质层和干燥该电极活性物质层，然后再涂布另一层薄的电极活性物质层和干燥该电极活性物质层，其缺点在于会耗费大量时间。为了同时提高电极性能和生产率，需要一种能够同时涂布两种类型的电极活性物质浆料的双狭缝模具涂布机。
6.图2是沿着集电体的行进方向(纵向(md))截取的常规双狭缝模具涂布机的剖视图。
7.参考图2，双狭缝模具涂布机40是通过组装三个模具块41、42和43构造的。由于在彼此相邻的模具块41、42和43之间形成有狭缝，因此提供了两个狭缝45和46。通过分别经由可连通地连接到狭缝45和46的排放口47和48同时排放两种类型的电极活性物质浆料，可以通过在由先前涂布的电极活性物质浆料形成的电极活性物质层上连续涂布附加的电极活性物质浆料来同时形成两层的电极活性材料层。
8.由于在使用双狭缝模具涂布机40的工艺中必须使用同时从不同排放口47和48排
放的电极活性物质浆料，因此很难将每一个电极活性物质层都形成为具有期望的厚度。
9.通常，由于每一个电极活性物质层的厚度会受到经由排放口47和48排放的电极活性物质浆料的排放量的影响，并且每一个排放口47和48的尺寸(狭缝间隙)会极大影响每一种电极活性物质浆料的排放量，因此，为了产生期望的厚度，有必要重复执行拆装和再组装每一个模具块的作业，同时实验性地执行若干次涂布处理以调整狭缝间隙，并且再次检查排放量。然而，狭缝间隙不但是一个被调整得足够灵敏乃至会依照用于模具块41、42和43之间的组装的螺栓的紧固强度而发生大幅变化的变量，而且甚至有可能会被用以排放电极活性物质浆料的力改变。特别地，为了在与md方向垂直的双狭缝模具涂布机40的宽度方向或是集电体的宽度方向(横向(td))上稳定地执行均匀涂布，有必要在宽度方向上具有均匀的尺寸精度。由于为了使用宽度很大的集电体来提高生产率，双狭缝模具涂布机40的宽度也会增大，因此越发难以在宽度方向上均匀地控制狭缝间隙。
10.由于在狭缝模具涂布机中，狭缝是在模具块的耦合表面上形成的，因此，在双狭缝模具涂布机40中大体上需要三个模具块41、42和43以形成两个狭缝45和46。为了构造具有与包含一个狭缝的常规狭缝模具涂布机30相似的占用空间(foot print)和体积的设备，每一个模具块41、42和43的厚度必须很薄，并且因此不可避免地存在着结构容易变形和扭曲的问题。当发生变形或扭曲时，苦心调整的狭缝间隙会发生扭曲，而这是一个会造成电池工艺缺陷的严重问题。此外，在通过包含两个或更多狭缝以进一步增加模具块的数量的多狭缝模具涂布机中，该问题会变得更加严重。
11.为了解决这个问题，在略微增大每一个模具块41、42和43的尺寸(角度改变)时，排放方向会发生变化，由此导致涂布处理能力劣化。并且，即使通过增大三个模具块41、42和43中位于外侧的模具块41和43中的每一个的厚度以改善变形和扭曲，结构最弱且位于中间的模具块42的变形增大仍旧是一个难题。


技术实现要素：

12.技术问题
13.本发明被设计成解决相关技术的问题，由此，本发明旨在提供一种能够改善主要包括三个或更多模具块的多狭缝模具涂布机中结构易于变形和扭曲的问题的多狭缝模具涂布机。
14.特别地，本公开还旨在提供一种改善了由包含薄模具块的结构特征造成的狭缝间隙的宽度方向偏差的多狭缝模具涂布机。
15.然而，本公开所要解决的问题并不局限于上述问题，从以下描述的关于本发明的说明中，本领域技术人员会清楚理解没有提及的其他问题。
16.技术方案
17.在本发明的一个方面，提供了一种具有下狭缝和上狭缝的多狭缝模具涂布机，包括：下模具块；中间模具块，其被设置在所述下模具块上，以便在其间形成所述下狭缝；以及上模具块，其被设置在所述中间模具块上，以便在其间形成所述上狭缝，其中面朝所述上模具块的所述中间模具块的第一表面和面朝所述下模具块的所述中间模具块的第二表面形成的角度等于或大于20度。
18.面朝所述上模具块的所述中间模具块的第一表面和面朝所述下模具块的所述中
间模具块的第二表面形成的角度可以等于或小于70度。
19.在将面朝所述中间模具块的所述第一表面的所述上模具块的表面和与所述表面相邻的另一个表面形成的角度称为上模具块角，将面朝所述中间模具块的所述第二表面的下模具块的表面和与所述表面相邻的另一个表面形成的角度称为下模具块角，以及将面朝所述上模具块的所述中间模具块的所述第一表面和面朝所述下模具块的所述中间模具块的所述第二表面形成的角度称为中间模具块角时，所述上模具块角、所述中间模具块角以及所述下模具块角全都加起来可以达到最大180度。
20.所述下模具块、所述中间模具块和所述上模具块可以分别包括形成其前端部分的下模唇、中间模唇和上模唇，在所述下模唇与所述中间模唇之间可以形成与所述下狭缝可连通地连接的下排放口，以及在所述中间模唇与所述上模唇之间可以形成与所述上狭缝可连通地连接的上排放口，所述多狭缝模具涂布机可以通过所述下狭缝和所述上狭缝中的至少一个挤出电极活性物质浆料，并将其涂布在连续行进的基板的表面上，并且所述第一表面和所述第二表面形成的所述角度可被确定成致使所述下排放口和所述上排放口形成的角度处于这样的范围内，即从所述上排放口排出的电极活性物质浆料和从所述下排放口排出的电极活性物质浆料在同时排放之后不会立即形成涡流。
21.所述下狭缝和所述上狭缝形成的角度可以是20度到70度。
22.所述第一表面和所述第二表面形成的角度可被确定成使得在所述多狭缝模具涂布机的宽度方向的每一个位置，通过测量所述下狭缝的狭缝间隙和所述上狭缝的狭缝间隙所获取的每一个狭缝间隙的偏差处于10μm以内。
23.所述多狭缝模具涂布机可以通过所述下狭缝和所述上狭缝中的至少一个挤出电极活性物质浆料并将其涂布在连续行进的基板的表面上，并且排放所述电极活性物质浆料的方向可以是几乎水平的，所述多狭缝模具涂布机如此安装，使得所述第一表面可以是几乎水平的，并且面朝所述第一表面的所述上模具块的相对面也可以是几乎水平的，以及所述下模具块、所述中间模具块和所述上模具块的与排放所述电极活性物质浆料的方向相对的表面可以是几乎垂直的。
24.所述中间模具块可以包括第一中间模具块和第二中间模具块，所述第一中间模具块和所述第二中间模具块彼此面对面地上下接触并沿着接触表面滑动，由此是相对可移动的，以及由面朝所述上模具块的所述第二中间模具块的表面和面朝所述第一中间模具块的所述第二中间模具块的表面形成的角度可以等于大于14度。
25.由面朝所述上模具块的所述第二中间模具块的表面和面朝所述第一中间模具块的所述第二中间模头的表面形成的角度可以等于小于62度。
26.由面朝所述下模具块的所述第一中间模具块的表面和面朝所述第二中间模具块的所述第一中间模具块的表面形成的角度可以等于或大于14度且小于等于62度。
27.所述第一中间模具块可以被固定耦合到所述下模具块，以及所述第二中间模具块可以被固定耦合到所述上模具块。
28.所述下模具块、所述中间模具块和所述上模具块可以分别包括形成其前端部分的下模唇、中间模唇和上模唇，在所述下模唇与所述中间模唇之间可以形成与下狭缝可连通地连接的下排放口，在所述中间模唇与所述上模唇之间可以形成与所述上狭缝可连通地连接的上排放口，以及在所述下排放口与所述上排放口之间可以形成预定梯级。
29.所述多狭缝模具涂布机可以进一步包括：第一间隔件，所述第一间隔件介于所述下模具块与所述中间模具块之间，以便调整所述下狭缝的宽度，以及第二间隔件，所述第二间隔件介于所述中间模具块与所述上模具块之间，以便调整所述上狭缝的宽度。
30.所述下模具块可以包括被构造成容纳第一涂布溶液并且可连通地连接到所述下狭缝的第一歧管，并且所述中间模具块可以包括被构造成容纳第二涂布溶液并且可连通地连接到所述上狭缝的第二歧管。
31.有益效果
32.根据本公开，模具块的角度被限制成超出一定范围，由此可以改善模具块因为其厚度很薄而在结构上容易遭受的变形和扭曲。本公开提出了模具块的最小角度，尤其是中间模具块的最小角度，其仅仅会引发可接受的变形水平。根据本公开，即使考虑到模具块因为紧固螺栓的力以及所排放的电极活性物质浆料的压力而发生变形，通过保持均匀的(
±
2％)狭缝间隙，也具有均匀控制涂布量的效果。
33.当通过减小螺栓力来降低螺栓紧固压力以最小化模具块变形时，电极活性物质浆料有可能会从模具块之间的耦合表面泄漏(leakage)。由于本公开的模具块具有将变形最小化的角度，因此可以通过充分施加螺栓力来使用模具块而不会泄漏电极活性物质浆料。
34.通常，即使电极活性物质浆料的压力也会改变狭缝间隙，特别地，在td上，在侧面与中间之间的狭缝间隙中有很大的差异。由于本公开的模具块具有将变形最小化的角度，因此，即使因为所供给的电极活性物质浆料的压力而导致发生变形，该变形也是在可接受的范围以内发生的，并且由此可以获得质量均匀的涂布产品，尤其是通过使用具有均匀狭缝间隙的多狭缝模具涂布机来获得用于二次电池的电极。
35.如上所述，根据本公开，通过控制模具块的角度，可以限制变形和扭曲的最小可接受范围。即使电极活性物质浆料的排放压力增大，保持一次调整后的狭缝间隙的效果也是非常优秀的。这样做的效果是确保了涂布处理能力并且确保了再现性。
36.通过使用这种多狭缝模具涂布机，可以均匀地形成期望厚度的涂层、尤其是电极活性物质层，并且优选地，两种以上的电极活性物质浆料可以被同时涂布，由此具有性能和生产率都很优异的效果。
37.在使用本公开的多狭缝模具涂布机而在允许集电体行进的同时通过将电极活性物质浆料涂布在集电体上以制造二次电池的电极时，优点在于：即使处于高速行进或宽度较大的涂布状况之下，也可以执行均匀的涂布。
38.根据本公开的另一个方面，通过依照涂布处理条件来相对移动上下模具块，可以很容易地调整上排放口和下排放口的位置，由此具有提升了多狭缝涂布处理的处理能力的效果。
附图说明
39.附图示出了本公开的优选实施例，并且连同前述的公开内容一起用于提供关于本公开的技术特征的更进一步的理解，因此，本公开不应该被解释成受限于附图。
40.图1是显示了一个使用根据常规技术的狭缝模具涂布机的示例的示意图。
41.图2是根据常规技术的双狭缝模具涂布机的剖视图。
42.图3是根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机的示意性剖视图。
43.图4是根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机的示意性分解透视图。
44.图5是根据本公开的另一个实施例的多狭缝模具涂布机的示意性剖视图。
45.图6是示出了由于图5的多狭缝模具涂布机中的下模具块与上模具块之间的相对移动而导致在上排放口与下排放口之间出现位置差的情形的图示。
46.图7显示了对比示例中的取决于模具块变化的涂布方面。
47.图8是在对比示例中沿宽度方向的侧面和中间部分的剖视图。
48.图9是对比示例中的取决于紧固强度的td中的狭缝间隙的图表。
具体实施方式
49.在下文中将会参考附图来详细描述本公开的优选实施例。在描述之前，应该理解的是，在说明书和附加的权利要求中使用的术语不应该被解释成局限于通用和字典含义，相反，基于允许发明人恰当定义术语以进行最佳说明的原则，这些术语是基于与本公开的技术方面相对应的含义和概念来解释的。因此，这里提出的描述只是一个优选示例，其目的仅仅是进行例证，而不是限制本公开的范围，因此，应该理解的是，在不脱离本公开的范围的情况下，其他的等价物和修改都是可行的。
50.根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机可以包括两个或更多狭缝。本质上，多狭缝模具涂布机是一种包括下狭缝和上狭缝以及在基板上施加双层涂布溶液的装置。以下描述的“基板”是集电体，并且涂布溶液是“电极活性物质浆料”。第一涂布溶液和第二涂布溶液都是电极活性物质浆料，并且可以是指具有相同或不同的组成(活性物质、导电材料和粘合剂的类型)、含量(活动物质、导电材料以及粘合剂中的每一种的总量)或物理属性的电极活性物质浆料。根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机针对电极制造处理而被进行了优化，其中涂布处理是被同时执行的，或者通过交替施加两种或更多类型的电极活性物质浆料来执行图案涂布处理。然而，本公开的范围不必局限于此。举例来说，基板可以是构成分离隔膜的多孔膜，第一涂布溶液和第二涂布溶液可以是具有不同组成或物理性质的有机物。也就是说，在需要薄膜涂布时，任何基板、任何第一涂布溶液以及任何第二涂布溶液都是可以使用的。
51.在多狭缝模具涂布机中，用于紧固模具块的螺栓的力以及在涂布期间供给的涂布溶液的压力也会导致模具块变形或扭曲。本公开的发明人发现在以导致变形超出可接受水平的角度制造模具块时，变形量会增大且所涂布的涂布量会不均匀，并且通过进行研究确定了最佳角度，由此完成了本公开。
52.本公开提出了只会导致产生可接受的变形水平的模具块的最小角度，尤其是中间模具块的最小角度。
53.图3是根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机的示意性剖视图。图4是根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机的示意性分解透视图。
54.根据本公开的一个实施例的多狭缝模具涂布机100是具有下狭缝101和上狭缝102的双狭缝模具涂布机，并且是一种能够通过下狭缝101和上狭缝102来同时或交替地在基板300上涂布两种相同或不同的涂布溶液的装置。参考图3和4，多狭缝模具涂布机100包括下模具块110，设置在下模具块110的上部的中间模具块120，以及设置在中间模具块120的上部的上模具块130。
55.在图3中，多狭缝模具涂布机100是在排放是涂布溶液的电极活性物质浆料的基本水平的方向(x方向)上安装的(大约
±
5度)。
56.中间模具块120是位于构成多狭缝模具涂布机100的各块中的中间的块，并且是设置在下模具块110与上模具块130之间以形成双狭缝的模具块。本实施例的中间模具块120的横截面是直角三角形，但是不必局限于这种形状。例如，该横截面可以是等腰三角形。
57.中间模具块120的面朝上模具块130的第一表面120a是几乎水平的，并且与上模具块130的面朝第一表面120a的表面130b相对的表面130d(即形成多狭缝模具涂布机100的外圆周表面的上表面的表面)同样是水平的。这样一来，第一表面120a与表面130d几乎相互平行。并且，与下模具块110的面朝中间模具块120的表面110b相对的表面110d(即形成多狭缝模具涂布机100的外圆周表面的下表面的表面)同样是几乎水平的，并且该表面是底面110d(x-z平面)。
58.与排放电极活性物质浆料的排放方向相对的下模具块110、中间模具块120和上模具块130的表面(即后表面110c、120c和130c)是几乎垂直的(y方向)。
59.在是最外侧模具块的下模具块110和上模具块130中的用于形成多狭缝模具涂布机的外圆周表面的表面中，下模具块110的底面110d和上模具块130的上表面130d被制造成几乎垂直于后表面110c和130d。并且，中间模具块120的第一表面120a被制造成几乎垂直于后表面120c。在这样的模具块110、120和130中，由于表面形成的拐角是以直角形成的，因此在该横截面中有一个直角，并且，由于可以使用垂直或水平表面作为参考表面，因此，制造或处理模具块110、120和130会很容易，并且其精度是有保证的。此外，下模具块110、中间模具块120和上模具块130被组合在一起的状态整体上具有大致为长方体的形状，并且只有排放涂布溶液的前部是朝着基板300倾斜的。这样做是非常有利的，因为组装后的形状与包含单个狭缝的狭缝模具涂布机(例如图1中的30)的形状大致相似，由此可以共用狭缝模具涂布机支架等等。
60.多狭缝模具涂布机100可以进一步包括在其后表面110c、120c和130c上提供的两个或更多固定单元140。固定单元140是为了在下模具块110与中间模具块120之间进行紧固以及在中间模具块120与上模具块130之间进行紧固而被提供的。在多狭缝模具涂布机100的宽度方向上可以提供多个固定单元140。螺栓被紧固到固定单元140，下模具块110、中间模具块120和上模具块130彼此是通过该螺栓组装的。
61.下模具块110、中间模具块120和上模具块130不必局限于以上示例的形状，并且作为示例，它们可以被构造成是将排放电极活性物质浆料的方向作为朝上方向以及将后表面110c、120c和130c作为底面的垂直模头。
62.作为示例，模具块110、120和130由sus材料制成。所使用的可以是易于处理的材料，例如sus420j2、sus630、sus440c、sus304以及sus316l。sus的优点在于易于加工，价格便宜、耐腐蚀性高，并且可以以很低的成本制造成期望的形状。
63.下模具块110是构成多狭缝模具涂布机100的各块中的最下部的块，并且面朝中间模具块120的表面110b具有倾斜的形状，由此相对于底面110d形成大约20度到60度角。
64.可以在下模具块110与中间模具块120彼此面对位置形成下狭缝101。作为示例，在下模具块110与中间模具块120之间插入了第一间隔件113，以便在其间提供间隙，由此可以形成与可供第一涂布溶液50流过的通道相对应的下狭缝101。在这种情况下，第一间隔件
113的厚度决定了下狭缝101的垂直宽度(y轴方向和狭缝间隙)。然而，常规的模具块容易变形和扭曲，由此很难保持该狭缝间隙。
65.如图4所示，第一间隔件113包括通过切割其一个区域而形成的开口部分113a，并且可以插入到下模具块110和中间模具块120的相对表面的边缘区域的除了一侧之外的其余部分中。相应地，仅仅在下模具块110的前端部分与中间模具块120的前端部分之间形成了可以将第一涂布溶液50排放到外部的下排放口101a。下模具块110的前端部分和中间模具块120的前端部分被分别定义为下模唇111和中间模唇121。换句话说，下排放口101a可以是通过将下模唇111与中间模唇121彼此隔开而被形成的。
66.作为参考，第一间隔件113充当了衬垫(gasket)来防止第一涂布溶液50泄漏到除了形成下排放口101a的区域之外的下模具块110与中间模具块120之间的间隙中，因此第一间隔件113优选是用具有密封特性的材料制成的。
67.下模具块110包括在面朝中间模具块120的表面110b上具有预定深度且与下狭缝101可连通地连接的第一歧管112。虽然图中没有显示，但是第一歧管112连接到安装在外部的第一涂布溶液供应室(未显示)，以便通过供应管接收第一涂料溶液50。当在第一歧管112中填充第一涂布溶液50时，第一涂布溶液50会沿着下狭缝101流动并通过下排放口101a排放到外部。
68.作为另一个示例，第一歧管112可以是在中间模具块120的面朝下模具块110的表面120b上提供的。
69.上模具块130被设置为面朝第一表面120a，所述第一表面120a是中间模具块120的上表面，该上表面相对于底面是水平的。由此在中间模具块120和上模具块130彼此面对的位置形成上狭缝102。
70.与如上所述的下狭缝101一样，在中间模具块120与上模具块130之间可以插入第二间隔件133，以便在其间提供间隙。相应地，可以形成与可供第二涂布溶液60流经的通道相对应的上狭缝102。在这种情况下，上狭缝102的垂直宽度(y轴方向和狭缝间隙)是由第二间隔件133决定的。然而，常规的模具块很容易变形和扭曲，由此很难保持狭缝间隙。
71.此外，与如上所述的第一间隔件113具有相似结构的第二间隔件133包括通过切割其一个区域而形成的开口部分133a，并且可以插入到中间模具块120和上模具块130的相对表面的边缘区域的除了一侧之外的其余部分中。同样，第二间隔件133的除了上狭缝102的前部之外的外周方向都被阻挡，并且仅仅在中间模具块120的前端部分与上模具块130的前端部分之间形成了上排放口102a。上模具块130的前端部分被定义成上模唇131。换句话说，上排放口102a可以是通过使中间模唇121与上模唇131相互间隔而被形成的。
72.此外，中间模具块120包括在面朝上模具块130的表面120a上具有预定深度且与上狭缝102可连通地连接的第二歧管132。虽然图中没有显示，但是第二歧管132被连接到安装在外部的第二涂布溶液60的供应室，以便通过供应管来接收第二涂布溶液60。在从外部沿着管道形状的供应管供应第二涂布溶液60以及将第二涂布溶液60填充在第二歧管132中时，第二涂布溶液60会沿着可连通地连接到第二歧管132的上狭缝102流动，并且通过上排放口102a而被排放到外部。
73.作为另一个示例，在上模具块130的面朝中间模具块120的表面130b上可以提供第二歧管132。
74.上狭缝102与下狭缝101形成了一定角度，并且该角度可以是大约20度到70度。上狭缝102和下狭缝101彼此可以在一点相交，并且可以在该交点附近提供上排放口102a和下排放口101a。相应地，第一涂布溶液50和第二涂布溶液60的排放点可以大致集中在一点。
75.依照具有这种构造的多狭缝模具涂布机100，在多狭缝模具涂布机100的前部设置了以可旋转的方式提供的涂布辊200，通过旋转该涂布辊200来驱动所要涂布的基板300，第一涂布溶液50和第二涂布溶液60与基板300的表面连续接触，由此可以将基板300涂布成双层。作为替换，第一涂布溶液50的供给和中断以及第二涂布溶液60的供给和中断是交替执行的，由此可以在基板300上间歇地执行图案涂布处理。
76.在这里，中间模具块120的面朝上模具块130的第一表面120a与中间模具块120的面朝下模具块110的第二表面120b之间的角度θ(即中间模具块120的角度)被设置成等于或大于20度。
77.在这里，20度是最小角度。角度θ可以等于或大于20度。当角度θ小于20度时，中间模具块120将会太薄，由此很容易变形和扭曲。在本公开中，20度是作为仅仅导致产生可接受的变形水平的最小角度提出的。中间模具块120随着角度θ的增大而变厚，这一点在变形和扭曲方面会非常有利。
78.角度θ的上限可以如下确定。上模具块130的面朝第一表面120a的表面130b和与表面130b相邻的另一个表面130a之间的角度、即上模具块130的角度，下模具块130的角度(该角度是下模具块110的面朝第二表面120b的表面110b和与表面110b相邻的另一个表面110a之间的角度)，以及中间模具块120的角度的总和可被设置成是最大180度。那么，中间模具块120的角度的上限是通过从180度减去上模具块130的角度和下模具块110的角度所获取的值。上模具块130的角度和下模具块110的角度可以用各种方式来确定。
79.然而，由于角度θ还会影响下排放口101a与上排放口102a之间的角度，因此角度θ不能过大。由此，在本公开的一个实施例中，下排放口101a与上排放口102a之间的角度可被确定成处于这样的范围内，即从上排放口102a排放的电极活性物质浆料和从下排放口101a排放的电极活性物质浆料在被同时排放之后不会立即形成涡流，相应地就可以确定在第一表面120a与第二表面120b之间形成的角度θ的上限。
80.此外，角度θ被确定成使得在多狭缝模具涂布机100的宽度方向的每一个位置，通过测量下狭缝101的狭缝间隙和上狭缝的狭缝间隙102所获取的每一个狭缝间隙的偏差处于10μm的范围以内。该狭缝间隙偏差可以指示最大狭缝间隙与最小狭缝间隙之间的差异。通常，该狭缝间隙在宽度方向的中间是最大的，并且该狭缝间隙在宽度方向会朝着一侧变小。如果每一个狭缝间隙的偏差大于10μm，则确定宽度方向上的加载量是不均匀的。由于宽度方向上的不均匀的加载量会导致在以后将电极制造成二次电池时的容量不均匀，因此在二次电池的特性方面不是优选的。相应地，在本公开的一个实施例中，可接受的水平受到管理，由此以狭缝间隙偏差是10μm为基础，狭缝间隙的偏差处于10μm的范围以内。可以考虑狭缝间隙的偏差而将角度θ的最小值确定为20度。
81.角度θ的下限为20度。如上所述，考虑到两个排放口101a和102a的角度，即使考虑上模具块130和下模具块110的角度，角度θ的上限也可以被确定成处于等于或小于180度的范围以内。特别地，考虑到如在本公开中那样由下狭缝101和上狭缝102形成20度到70度角的情形，角度θ的上限为70度。相应地，角度θ的范围优选是20度到70度。
82.角度θ是中间模具块120的第一表面120a与第二表面120b之间的角度，并且本公开提出对角度θ的最小角度进行管理，但是上模具块130的角度可以是至少20度。同样，下模具块110的角度可以是至少20度。由此，在下模具块110与中间模具块120之间形成的下狭缝101以及在中间模具块120与上模具块130之间形成的上狭缝102的狭缝间隙可被控制在可接受的变形水平范围以内。
83.如上所述，根据本公开，提出了模具块、尤其是中间模具块120与其他模具块110和130相面对的表面之间的角度θ，以便改善模具块因为厚度很薄而在结构上容易遭受的变形或扭曲。本公开提出导致产生可接受的变形水平的模具块的最小角度、尤其是中间模具块120的最小角度θ为20度。根据本公开，即使考虑到模具块会因为紧固螺栓的力以及所排放的电极活性物质浆料的压力而变形，通过保持均匀的(
±
2％)狭缝间隙，也可以具有均匀控制涂布量的效果。
84.在通过减小螺栓力来降低螺栓紧固压力以使模具块的变形最小化时，电极活性物质浆料有可能会从模具块之间的耦合表面泄漏。由于本公开的模具块具有将变形最小化的角度，因此可以通过充分施加螺栓力来使用模具块，而不会泄漏电极活性物质浆料。
85.通常，狭缝间隙甚至会被电极活性物质浆料的压力改变，特别地，在md上，在侧面与中间之间的狭缝间隙中存在着很大的差异。由于本公开的模具块具有将变形最小化的角度，因此，即使因为所供应的电极活性物质浆料的压力而发生变形，该变形也是在可接受的范围以内发生的，并且由此可以获得具有均匀质量的涂布产品，尤其是通过使用具有均匀狭缝间隙的多狭缝模具涂布机来获得用于二次电池的电极。
86.如上所述，根据本公开，通过控制模具块的角度，可以限制变形和扭曲的最小可接受范围。即使电极活性物质浆料的排放压力增大，保持经过一次调整的狭缝间隙的效果也是非常优秀的。这样做的效果是确保了涂布处理能力以及确保了再现性。
87.通过使用这种多狭缝模具涂布机，可以均匀地形成期望厚度的涂布层，尤其是电极活性物质层，并且优选地，两种或多种电极活性物质浆料是可以同时涂布的，并且由此具有性能和生产率都很优异的效果。
88.同时，在本实施例中已经举例描述了涂布两层涂布溶液的情形以及通过交替供应涂布溶液来执行图案涂布的情形，然而即使没有另行说明也可以理解，通过提供三个或更多狭缝来同时涂布三个或更多的层的情形也是适用的。即使没有详细说明也可以理解，提供三个或更多狭缝需要四个或更多的模具块。
89.接下来将参考图5和6来描述本公开的另一个实施例。与上述实施例中相同的参考数字表示的是相同的构件，并且关于相同构件的重复描述将被省略，以及主要描述的是与上述实施例的差异。
90.在上述实施例中，中间模具块120包括一个块，由此不能可变地调整上排放口102a和下排放口101a的相对位置，然而，根据本公开的另一个实施例，上排放口102a和下排放口101a的相对位置是可以很容易地调整的。
91.为此目的，在根据本公开的另一个实施例的多狭缝模具涂布机100
′
中，中间模具块120包括第一中间模具块122和第二中间模具块124，并且第一中间模具块122和第二中间模具块124彼此以上下面对面的方式接触，而且沿着接触表面滑动，由此相对于彼此是可移动的。并且，第一中间模具块122通过螺栓连接等等固定耦合到下模具块110，并且第二中间
模具块124通过螺栓连接等等固定耦合到上模具块130。相应地，第一中间模具块122和下模具块110可以作为一个整体移动，第二中间模具块124和上模具块130可以作为一个整体移动。
92.也就是说，与多狭缝模具涂布机100一样，多狭缝模具涂布机100
′
进一步包括在其后表面110c、120c和130c上提供的两个或更多个第一固定单元140
′
。第一固定单元140
′
是为了紧固下模具块110和第一中间模具块122以及为了紧固第二中间模具块124和上模具块130提供的。第二固定单元140
″
紧固第一中间模具块122和第二中间模具块124，并且用于紧固下模具块110和上模具块130。第二固定单元140”是在考虑了第一中间模具块122和第二中间模具块124必须可以相对移动这一事实而以一定的组装公差水平(大约300μm到大约500μm的范围)安装的。也就是说，第二固定单元140”固定第一中间模具块122和第二中间模具块124，由此通过允许第一中间模具块122和第二中间模具块124前后移动而使它们是可滑动和固定的，从而阻止它们之间的移动超出一定水平，以及允许因组装公差而细微移动。
93.在多狭缝模具涂布机100
′
中，如有需要，两个排放口101a和102a可以在水平方向上相互间隔，由此被前后布置。也就是说，如图5和6所示，使用用于调整多狭缝模具涂布机100
′
的形状的单独装置，或者操作人员可以用手来使下模具块110和上模具块130相对移动(为了便于说明，在图6中省略了第二固定单元140”)。
94.举例来说，在下模具块110没有移动且保持原样的状态中，通过沿着滑动表面将上模具块130相对于涂布溶液50和60的排放方向反向或前向移动一定距离d，可以在下排放口101a与上排放口102a之间形成一个梯级。在这里，滑动表面是指第一中间模具块122与第二中间模具块124的相对表面。
95.以上述方式形成的梯级的宽度d可被确定处于大约数百微米到数毫米的范围以内，可以依照排放到基板300的第一涂布溶液50和第二涂布溶液60的物理属性和粘性来确定该范围。举例来说，随着在基板300上形成的涂布层厚度的增大，该梯级的宽度d的数值可以增大。
96.此外，由于下排放口101a和上排放口102a被布置在水平方向上相互分离的位置，因此无需担心从上排放口102a排放的第二涂布溶液60流入下排放口101a或者从下排放口101a排放的第一涂布溶液50流入上排放口102a。
97.也就是说，不需要担心通过下排放口101a或上排放口102a排放的涂布溶液被形成了在下排放口101a与上排放口102a之间形成的梯级的表面阻挡并流入另一个排放口，由此可以进行更平滑的多层活性物质涂布处理。
98.如果需要改变下排放口101a与上排放口102a之间的相对位置，那么只要通过下模具块110和/或上模具块130的滑动运动，即可调整如上所述的根据本公开的另一个实施例的多狭缝模具涂布机100’，并且不需要拆解和重组每一个模具块110、130和150，由此可以极大地提升处理能力。
99.在包含四个模具块的多狭缝模具涂布机100
′
中，同样提出了第一中间模具块122与第二中间模具块124之间的最小角度。
100.特别地，第二中间模具块124的面朝上模具块130的表面124a与第二中间模具块124的面朝第一中间模具块122的表面124b之间的角度θ
′
被设定成等于或大于14度。
101.在本实施例的多狭缝型涂布机100
′
中，由于与上述实施例的多狭缝型涂布机100
相比，模具块的数量增加了1个，因此模具块的厚度会在保持总的体积的同时变薄。第二中间模具块124的角度θ
′
至少是14度。该角度θ
′
可以等于或大于14度。当角度θ
′
小于14度时，第二中间模具块124将会过薄，由此很容易变形和扭曲。在本公开的一个实施例中，建议将14度作为只会造成可接受的变形水平的最小角度。由于第二中间模具块124会随着角度θ
′
的增大而变厚，因此这在变形和扭曲方面将是非常有利的。然而如上所述，由于角度θ
′
还会影响下排放口101a和上排放口102a之间的角度，因此角度θ
′
不能很大。因此，即便是在这里，下排放口101a与上排放口102a之间的角度可被确定处于这样的范围内，即从上排放口102a排放的电极活性物质浆料和从下排放口101a排放的电极活性物质浆料在同时被排放之后不会立即形成涡流，相应地就可以确定角度θ
′
的上限。
102.此外，如上所述，角度θ
′
被确定成使得在多狭缝模具涂布机100
′
的宽度方向的每一个位置通过测量下狭缝101的狭缝间隙和上狭缝102的狭缝间隙所获取的每一个狭缝间隙的偏差处于10μm以内。如果每一个狭缝间隙的偏差大于10μm，则确定宽度方向上的加载量是不均匀的。考虑到如上所述的包含四个模具块的多狭缝模具涂布机100
′
中的狭缝间隙的偏差，就可以确定最小角度是14度。
103.角度θ
′
是在第二中间模具块124面朝其他相邻模具块130和122的表面之间形成的角度，并且本公开提出管理角度θ
′
的最小角度。然而，上模具块130的角度、即上模具块130的面朝第二中间模具块124的表面124a的表面130b和与表面130b相邻的另一个表面130a之间的角度也可以是至少14度。同样，第一中间模具块122的角度、即第一中间模具块122的面朝第二中间模具块124的表面122a与面朝下模具块110的表面122b之间的角度也可以是至少14度。并且，下模具块110的角度、即下模具块110的面朝第一中间模具块122的表面110b和与表面110b相邻的另一个表面110a之间的角度也可以是至少14度。由此，在下模具块110与中间模具块120之间形成的下狭缝101以及在中间模具块120与上模具块130之间形成的上狭缝102的狭缝间隙可以控制在可接受的变形水平以内。
104.角度θ
′
的下限是14度。如上所述，有鉴于两个排放口101a和102a的角度，即使考虑到上模具块130、第一中间模具块122和下模具块110的角度，也可以确定角度θ
′
的上限是在等于或小于180度的范围以内。
105.特别地，当上排放口102a的角度如图中显示的示例那样是大约90度时，可以以如下方式来确定下限。举例来说，假设上狭缝102相对于多狭缝模具涂布机100
′
中的基板300的表面具有90度角，那么第二中间模具块124的表面124a与下模具块110的表面110a之间的角度(第二中间模具块124的角度 第一中间模具块122的角度 下模具块110的角度)最大为90度(通过从180度减去90度所获得的值)。如果第一中间模具块122的最小角度是14度，甚至下模具块110的最小角度是14度，那么第二中间模具块124的最大角度是62度。相应地，在使用多狭缝模具涂布机100
′
而使上狭缝102的排放方向相对于基板300的表面具有90度角时，第二中间模具块124的角度θ
′
可被控制在等于或大于14度且等于或小于62度的范围以内。相应地，假设在多狭缝模具涂布机100
′
中，上狭缝102相对于基板300的表面具有90度角，那么角度θ
′
优选在14度到62度的范围以内。
106.作为另一个示例，仅仅考虑上狭缝102和下狭缝101具有大约20度到70度角的情形，第二中间模具块124的角度与第一中间模具块122的角度之和的最大角度可以是70度。在这种情况下，如果第二中间模具块124的角度和第一中间模具块122的角度中的每一个的
下限是14度，则从70度中减去14度得到的56度即为角度θ
′
的下限。相应地，在这种情况下，角度θ
′
优选处于14度到56度的范围以内。
107.如此一来，虽然角度θ
′
的下限被固定成14度，但是角度θ
′
的上限可以在满足例如上狭缝102的角度或是上狭缝102与下狭缝101之间的角度这样的其他条件的同时发生变化。
108.关于上狭缝角和下狭缝角的考虑因素
109.在下文中会将根据常规技术的双狭缝模具涂布机作为对比示例来进行描述，并且还会描述根据本公开的一个实施例的双狭缝模具涂布机的效果。
110.如上所述，原来的双狭缝模具涂布机因为每一个模具块的厚度很薄而在结构上容易发生变形和扭曲。当模具块尺寸略微增加(角度改变)时，排放方向发生变化，由此会导致产生涂布处理能力劣化的问题。
111.在常规的双狭缝型涂布机中，为了确认模具块角度变化所导致的狭缝倾斜对电极活性物质浆料涂布稳定性的影响，在远离中间模具块的方向上将上狭缝和下狭缝中的每一个倾斜了30度，由此对上狭缝和下狭缝进行了分析。
112.图7显示了对比示例中与模具块的角度的变化有关的涂布状况。
113.情形1是将上狭缝在远离中间模具块的方向上倾斜30度，由此上狭缝相对于基板的表面成120度角，并且下狭缝相对于基板表面成90度角，情形2是所有狭缝相对于基板表面全都是直角的，以使上狭缝和下狭缝中的每一个相对于基板的表面成90度角，以及情况3是将下狭缝在远离中间模具块的方向上倾斜30度，由此上狭缝相对于基板的表面成90度角，并且下狭缝相对于基板的表面成60度角。每一种电极活性物质浆料涂布层的状态如图7所示。在图7中显示了涂布液珠(coating bead)和分离点(separation point)的位置。图7显示了对比示例中与模具块的角度的变化有关的涂布状况。在图7中，(a)、(b)和(c)分别代表情形1、情形2和情形3。
114.在表1中总结了每一种情形的涂布液珠和分离点的位置。
115.[表1]
[0116][0117]
涂布稳定性可以通过涂布液珠和分离点的位置来确定。
[0118]
作为以上述方式改变上狭缝的角度和下狭缝的角度的结果，就涂布稳定性而言，情形2与情形3相同或更好，而情形1是最差的(情况2≥情况3》情形1)。与所有狭缝全都为直角的情形2相比，情形1和情形3涉及一种借助于倾斜任一狭缝的v形溶液供应方法。这种溶液供应方法的问题在于：由于在上下浆料交汇(inter mixing)的区域中会形成涡流，因此很难形成双层。当如上所述增大模具块的尺寸并改变角度时，排放方向会发生变化，由此导
致涂布处理能力劣化。
[0119]
就易变形性而言，情形1与情形3相似，并且与情形2相比更易变形(情形1＝情形3》》情形2)。也就是说，在如情形1和情形3中那样改变角度时，中间模具块将会太薄而易变形。也就是说，即使通过增大三个模具块中位于外侧的上/下模具块的厚度来改善变形和扭曲，仍然很难补偿结构最为脆弱的中间模具块的变形。因此，可以看出，通过简单的角度变化是很难阻止变形和扭曲的。在本公开中，变形和扭曲的最小可接受范围是通过控制模具块的角度来限制的。依照惯例，既没有提出对于模具块角度的理解，也没有提出明确的标准。
[0120]
确认常规的双狭缝模具涂布机的狭缝间隙的偏差的问题
[0121]
图8是在对比示例的情形3中沿宽度方向的侧面和中间部分的剖视图。
[0122]
图8的(a)和8的(b)分别显示了侧面和中间部分的双狭缝模具涂布机的横截面。在附图中指示了模具块中的的每一个位置的变形程度。该变形程度是
①
《
②
《
③
。
[0123]
参考图8的(a)，可以看出，与侧面部分中的第二中间模具块相对应的部分的变形程度轻微地变形为
②
。参考图8的(b)，可以看出，随着变形在中间部分的进一步加深，变形程度在第二中间模具块的模唇附近达到
③
。并且，可以看出在中间部分，在与第一中间模具块的模唇附近相对应的部分发生了变形程度
②
的变形。如此一来，由于模具块的变形在中间部分更为严重，因此可以确认上狭缝在中间部分的狭缝间隙明显不同于上狭缝在侧面部分的狭缝间隙。此外还可以看出，由于第一中间模具块在侧面部分的变形较小，因此，与上狭缝的狭缝间隙变化相比，下狭缝的狭缝间隙变化是小的，然而由于第一中间模具块同样会在中间部分变形，因此，下狭缝的狭缝间隙变化同样达到了不可忽视的程度。
[0124]
如上所述，在常规的双狭缝模具涂布机中，在侧面部分和中间部分中，狭缝间隙在宽度方向上是存在差异的，由此导致了狭缝间隙的偏差，并且该狭缝间隙的偏差是很难减小的。然而，在本公开中，通过限制第二中间模具块的最小角度，可以将狭缝间隙的偏差控制在可接受的水平以内。
[0125]
在常规的双狭缝模具涂布机中，取决于组装上模具块和中间模具块时的相应螺栓紧固强度的狭缝间隙(上模具块与中间模具块之间的排放口的尺寸，即上狭缝间隙)是在td(与行进方向垂直的模具块的宽度方向)上测量的，并且在图9和表2中对其进行了总结。图9是关于对比示例中取决于紧固强度的td上的狭缝间隙的变化的图表。在该图表中，x轴代表从模具块的一端测量的td位移(td direction displacement)，并且y轴代表狭缝间隙的大小。
[0126]
[表2]
[0127][0128]
一旦如在样本1中那样组装上模具块和中间模具块，那么当使用350n的螺栓扭矩时，狭缝间隙的最大最小差是39μm。当按照样本2和3的顺序将紧固强度变成150n和200n时，最大-最小差减小到13μm和12μm。如上所述，在相关技术中，狭缝间隙很容易依照紧固强度改变。通常，即使将紧固强度设定成200n并被严密管理以组装上模具块和中间模具块，也还是要承受12μm的最大-最小差。然而，在本公开的一个实施例中，模具块的角度(θ或θ
′
)被确定成使得多狭缝模具涂布机的狭缝间隙的偏差处于10μm的范围以内。当每一个狭缝间隙的偏差大于10μm时，则确定宽度方向上的加载量是不均匀的。由于宽度方向上的不均匀的加载量会导致在以后将电极制造成二次电池时的容量不均匀，因此依照二次电池的特性，这种情况并不是优选的。相应地，在本公开的实施例中管理了一个可接受水平，以便狭缝间隙的偏差处于10μm的范围以内。考虑到狭缝间隙的偏差，在有三个模具块时，确定20度是中间模具块的最小角度，以及在有四个模具块时，确定14度是第二中间模具块的最小角度。
[0129]
确认包含四个模具块的多狭缝模具涂布机中的第二中间模具块的角度下限的效果
[0130]
在与参考图5所述的多狭缝模具涂布机100
′
相同的结构中，针对第二中间模具块的角度为10度(对比示例)和14度(实施例)的情形，对上狭缝的狭缝间隙的偏差和下狭缝的狭缝间隙的偏差进行了测量并将其显示在下表3中。在这里，狭缝间隙的目标值被设定成1mm，并且测量和总结了取决于浆料的不同排放压力且与侧面相对比的狭缝间隙在中间的增大程度。
[0131]
[表3]
[0132][0133]
在本公开的一个实施例中，可接受水平是以10μm的狭缝间隙的偏差为基础的。在表3中，在压力为34或54kpa之前，即使第二中间模具块的角度是10度，但由于偏差在10μm以内，因此是不存在问题的。浆料的排放压力会依照涂布条件(加载量，涂布速度)而改变，并且在二次电池中通常会使用等于或小于100kpa的压力。从接近100kpa的74kpa起，当第二个中间模具块的角度为10度时，上狭缝的狭缝间隙的偏差超出了可接受水平。特别地，在非常接近100kpa的94kpa，上狭缝的狭缝间的隙偏差和下狭缝的狭缝间隙的偏差全都大幅超出了10μm。相比之下，当第二中间模具块的角度是14度时，上狭缝的狭缝间隙的偏差和下狭缝的狭缝间隙的偏差全都在10μm以内。因此，第二中间模具块的角度的最小值必须是14度，以便可以将狭缝间隙控制在可接受的变形水平以内。
[0134]
确认包含三个模具块的多狭缝模具涂布机中的中间模具块的角度范围的效果
[0135]
从以上的“关于上狭缝角度和下狭缝角度的考虑因素”中可以看出，如在情形1中那样，当上狭缝朝着远离中间模具块的方向倾斜时，也就是只要上狭缝与基板表面之间的角度大于90度，则从上狭缝排放的电极活性物质浆料(上层浆料)与从下狭缝排放的电极活性物质浆料(下层浆料)彼此汇合的时候是不会形成涡流的。因此，在与参考图3所述的多狭缝模具涂布机100相同的结构中，针对上狭缝102与基板300的表面之间的角度(即上排放口102a的角度)被固定成90度且中间模具块120的角度被设定成15度(对比示例1-1)、20度(实施例1-1)、70度(实施例1-2)以及75度(对比示例1-2)的情形，对下狭缝的狭缝间隙的偏差进行了测量并将其显示在下表4中。在相应的情形中，下排放口101a的角度是75度、70度、20度和15度。在这里，狭缝间隙的目标值被设定成1mm，浆料的排放压力是100kpa，并且测量和总结了与侧面相对比的狭缝间隙在中间沿着宽度方向的增大程度。假设在模拟过程中使用的多狭缝模具涂布机在td上的总的宽度是1500cm，从上模具块的上表面到下模具块的下表面的总的高度是190cm，以及在md上的前后长度是190cm。假设包含浆料的歧管在td上的宽度是1390cm，并且卸料部分长度(即从歧管的端部到排放口的距离)是50cm。假设下模具块和中间模具块是用14个m14螺栓紧固的，并且中间模具块和上模具块也是用14个m14螺栓紧固的。
[0136]
[表4]
[0137][0138]
在本公开的一个实施例中，可接受水平是以狭缝间隙的偏差是10μm为基础的。在表4的对比示例1-1和对比示例1-2中，狭缝间隙的偏差分别是12.1μm和11.7μm，超出了10μm。然而，正如本公开提出的那样，在将中间模具块的角度设定成20度(实施例1-1)或70度(实施例1-2)时，狭缝间隙的偏差分别是8.8μm和8μm，处于10μm以内。因此，当上狭缝102与基板300的表面之间的角度(即上排放口102a的角度)被固定成90度时，中间模具块120的角度必须在至少20度与70度之间，以便可以将狭缝间隙控制在可接受的变形水平以内。
[0139]
确认包含四个模具块的多狭缝模具涂布机的中间模具块的角度范围的效果
[0140]
在与参考图5所述的多狭缝模具涂布机100
′
相同的结构中，针对以下情形，对下狭缝的狭缝间隙的偏差进行了测量并在下表5中对其进行了显示：上狭缝102与基板300的表面之间的角度(即上排放口102a的角度)被固定成90度，中间模具块122的角度和第二中间模具块124的角度被设定成10度(对比示例2-1)和14度(实施例2-1)，第二中间模具块124的角度被设定成62度以及第一中间模具块122的角度被设定成62度(实施例2-2)，第二中间模具块124的角度被设定成70度以及第一中间模具块的角度被设定成10度(对比示例2-2)。在这里，狭缝间隙的目标值被设定成1mm，浆料排放压力是94kpa，并且测量和总结了与侧面相对比的狭缝间隙在中间沿着宽度方向的增大程度。假设模拟过程中使用的多狭缝模具涂布机在md上的总的宽度是1500cm，从上模具块的上表面到下模具块的下表面的总的高度是190cm，以及在md上的前后长度是190cm。假设包含浆料的歧管在md上的宽度是1390cn，以及卸料部分的长度(即从歧管的端部到排放口的距离)是50cm。假设下模具块和第一中间模具块是用14个m14螺栓紧固的，并且第二中间模具块和上模具块也是用14个m14螺栓紧固的。
[0141]
[表5]
[0142][0143]
在本公开的一个实施例中，可接受的水平是以狭缝间隙偏差是10μm为基础的。在表5的对比示例2-1和对比示例2-2中，狭缝间隙偏差分别是11.6μm和13.5μm，超过了10μm。然而，正如本公开所提出的那样，当中间模具块122的角度和第二中间模具块124的角度中的每一个都被设定成14度(实施例2-1)，以及第二中间模具块的角度被设定成62度(实施例2-2)时，狭缝间隙的偏差分别是8.8μm和9.3μm，都在10μm以内。因此，当上狭缝102与基板300的表面之间的角度被固定成90度时，第二中间模具块124的角度必须介于至少14度与62度之间，以便能将狭缝间隙控制在可接受的变形水平范围以内。
[0144]
本公开已经被详细地进行了描述。然而应该理解，虽然该详细描述和具体示例指示了本公开的优选实施例，但其仅仅是作为例证给出的，因为对本领域技术人员来说，从该详细描述中会清楚了解处于本公开的范围以内的各种变化和修改。
[0145]
同时，虽然在本说明书中使用了指示方向的术语，例如上、下、左和右，但是这些术语仅是为了方便描述，并且对于本领域技术人员，这些术语显然是可以依照目标对象的位置或观察者的位置改变的。