一种紫外显微镜的制作方法

1.本实用新型涉及光学镜头技术领域，具体为一种紫外显微镜。


背景技术：

2.紫外线曝光机是指通过开启灯光发出uva波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。
3.目前市面上曝光机大多使用led光源，在曝光过程中，曝光机紫外光源强度的稳定性和均匀性极为重要，既然曝光机紫外光源强度的稳定性和均匀性极为重要，那么测试其紫外光源的稳定性和均匀性的仪器，也需要具备高度的稳定性和仪器之间的一致性，因此，针对上述问题提出一种紫外显微镜。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种紫外显微镜，通过使用双凸透镜、双凸透镜、正弯月透镜、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜b和双凸透镜c作为紫外显微镜的结构，畸变小，且相对照度高,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种紫外显微镜，包括前组镜片、光阑和后组镜片，具体的：
7.前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜a、双凸透镜b、正弯月透镜a、双凹透镜和平凹透镜；
8.后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜、正弯月透镜b和双凸透镜c；
9.光阑设置在前组镜片和后组镜片之间；
10.双凸透镜a、双凸透镜b、正弯月透镜a、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜b和双凸透镜c分别在光轴上的中心厚度之和为∑ct，双凸透镜a物侧面到双凸透镜c像侧面的最大距离为ttl，且满足下列关系式：0.6《∑ct/ttl《0.8。
11.作为一种优选方案，双凸透镜a的焦距范围f1在正68.3mm-正68.6mm之间。
12.作为一种优选方案，双凸透镜b的焦距范围f2在正68.3mm-正68.6mm之间。
13.作为一种优选方案，正弯月透镜a的焦距范围f3在正93.8mm-正94.1mm之间。
14.作为一种优选方案，双凹透镜的焦距范围f4在负20.8mm-负21.1mm。
15.作为一种优选方案，平凹透镜的焦距范围f5在负20.8mm-负21.1mm之间。
16.作为一种优选方案，平凸透镜的焦距范围f6在正38.1mm-正38.3mm之间。
17.作为一种优选方案，正弯月透镜b的焦距范围f7在正91.3mm-正91.5mm之间。
18.作为一种优选方案，双凸透镜c的焦距范围f8在正54.4mm-正54.6mm之间。
19.由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型提供的一种紫外显微镜，有益效果是：通过使用双凸透镜、双凸透镜、正弯月透镜、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜b和双凸透镜c作为紫外显微镜的结构，畸变小，且相对照度高，适用于曝光机产业。
附图说明
20.图1为本实用新型一种紫外显微镜整体结构示意图；
21.图2为本实用新型一种紫外显微镜的调制传递函数mtf曲线示意图；
22.图3为本实用新型一种紫外显微镜的场曲/畸变图；
23.图4为本实用新型一种紫外显微镜的相对照度图。
24.图中：1、双凸透镜a；2、双凸透镜b；3、正弯月透镜a；4、双凹透镜；5、平凹透镜；6、平凸透镜；7、正弯月透镜b；8、双凸透镜c；9、光阑。
具体实施方式
25.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
27.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
28.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
29.为了更好地理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
30.如图1-4所示，本实用新型实施例提供一种紫外显微镜，包括前组镜片、光阑9和后组镜片，具体的：
31.前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜a1、双凸透镜b2、正弯月透镜a3、双凹透镜4和平凹透镜5；
32.后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜6、正弯月透镜b7和双凸透镜c8；
33.光阑9设置在前组镜片和后组镜片之间；
34.双凸透镜a1、双凸透镜b2、正弯月透镜a3、双凹透镜4、平凹透镜5、平凸透镜6、正弯月透镜b7和双凸透镜c8分别在光轴上的中心厚度之和为∑ct，双凸透镜a1物侧面到双凸透镜c8像侧面的最大距离为ttl，且满足下列关系式：0.6《∑ct/ttl《0.8。
35.上述结构中，双凸透镜a1的焦距范围f1在正68.3mm-正68.6mm之间
36.上述结构中，双凸透镜b2的焦距范围f2在正68.3mm-正68.6mm之间。
37.上述结构中，正弯月透镜a3的焦距范围f3在正93.8mm-正94.1mm之间。
38.上述结构中，双凹透镜4的焦距范围f4在负20.8mm-负21.1mm。
39.上述结构中，平凹透镜5的焦距范围f5在负20.8mm-负21.1mm之间。
40.上述结构中，平凸透镜6的焦距范围f6在正38.1mm-正38.3mm之间。
41.上述结构中，正弯月透镜b7的焦距范围f7在正91.3mm-正91.5mm之间。
42.上述结构中，双凸透镜c8的焦距范围f8在正54.4mm-正54.6mm之间。
43.下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述：
44.请参阅图1-4，包括前组镜片、光阑9和后组镜片，前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜a1、双凸透镜b2、正弯月透镜a3、双凹透镜4和平凹透镜5，后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜6、正弯月透镜b7和双凸透镜c8，光阑9设置在前组镜片和后组镜片之间，双凸透镜a1、双凸透镜b2、正弯月透镜a3、双凹透镜4、平凹透镜5、平凸透镜6、正弯月透镜b7和双凸透镜c8分别在光轴上的中心厚度之和为∑ct，双凸透镜a1物侧面到双凸透镜c8像侧面的最大距离为ttl，且满足下列关系式：0.6《∑ct/ttl《0.8。
45.进一步，双凸透镜a1的焦距范围f1在正68.3mm-正68.6mm之间
46.进一步，双凸透镜b2的焦距范围f2在正68.3mm-正68.6mm之间。
47.进一步，正弯月透镜a3的焦距范围f3在正93.8mm-正94.1mm之间。
48.进一步，双凹透镜4的焦距范围f4在负20.8mm-负21.1mm。
49.进一步，平凹透镜5的焦距范围f5在负20.8mm-负21.1mm之间。
50.进一步，平凸透镜6的焦距范围f6在正38.1mm-正38.3mm之间。
51.进一步，正弯月透镜b7的焦距范围f7在正91.3mm-正91.5mm之间。
52.进一步，双凸透镜c8的焦距范围f8在正54.4mm-正54.6mm之间。
53.在本实施例中，该紫外显微镜达到了以下技术指标：畸变＜0.2％；相对照度＞99％；光路总长＜300mm；适用谱线范围为260-270mm。
54.进一步，入图2所示，在物距50mm时聚焦的镜头mtf曲线示意图，中心视场和边缘视场在100线对处均大于0.2，说明镜头满足高清晰度成像的要求。
55.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。