一种纳米压印工作模具工作站的制作方法

1.本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种纳米压印工作模具工作站。


背景技术：

2.自从华裔科学家stephen chou于1995年提出纳米压印概念至今，纳米压印技术已经发展为科技革命中的核心纳米技术之一。纳米压印技术克服了光刻技术中由于衍射导致的分辨率限制，目前分辨率已经达到了5nm以下，从而为制造小尺寸、高密度集成电路提供了有力的支持。
3.纳米压印主要分为工作模具的复制和压印两大步骤。其中工作模具的复制又包括工作模具材料的旋涂，工作模具的压印，曝光和脱模等过程。
4.工作模具由柔性基底(例如pet/pmma/pc等)或硬性基底(例如石英，玻璃等)和中部的高分子聚合物材料组成，其中纳米结构存在于高分子聚合物内。
5.在实际生产中，一个工作模具可重复压印几十次或上百次。工作模具复制完毕后，重复压印多次后，需在事宜的环境中保存。柔性基底长时间放置或在高温环境中放置会收缩。高分子材料表面有静电会吸附空气中的颗粒造成静电污染。长时间处于潮湿的环境中高分子材料表面能会升高，在后续的压印步骤中易发生粘胶现象。
6.为了使工作模具更好的保存，防止变形，提高工作模具寿命，降低生产成本，提出一种纳米压印工作模具工作站。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种纳米压印工作模具工作站，以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种纳米压印工作模具工作站，工作模具工作站和工作模具工装，所述的工作模具工作站可安装在现有的纳米压印设备一侧，与已有的纳米压印设备集成在一起；
9.所述的工作模具工作站包括设至在工作站顶部的去离子装置，去离子装置吸入已过滤的空气与去静电离子一起吹向工作模具，用于去除工作模具产生的静电；
10.工作模具工作站靠近纳米压印设备的一侧设置多个取料窗口，通过取料窗口，纳米压印设备内的机械臂可将工作模具工装从工作模具工作站转移到纳米压印设备内部，或从纳米压印设备内部转移至工作模具工作站内；
11.工作模具工作站内部设置有承载装置，承载装置将工作模具工装固定于工作模具工作站内部。
12.优选的，工作模具工装用于固定工作模具，工作模具工装包括工作模具拉板，工作模具拉板内设有多组均匀安装的弹簧，弹簧一端固定在工作模具压板上；
13.工作模具压板设置两组，工作模具压板上设置多个螺钉孔，工作模具压板通过与螺钉孔数量相同的螺钉旋拧固定在工作模具工装上；
14.优选的，工作模具工装上设置多个电磁铁，在转移工作模具时，纳米压印设备内的机械臂通过电磁铁固定，然后带动工作模具工装和工作模具转移。
15.优选的，所述的工作模具包括中部的纳米结构和四角处开设的穿孔。
16.优选的，工作模具工作站一侧设置透明的观测窗口，用于工作人员观测工作模具内部的状态。
17.优选的，所述观测窗口的数量不少于五个，且观测窗口的数量与取料窗口的数量相同。
18.优选的，位于最下面的一个观测窗口的正下方设置检修窗口，检修窗口门体设置把手。
19.优选的，工作模具工作站的底部设置有万向轮。
20.优选的，所述万向轮的数量至少为四个，且四个万向轮分布在工作模具工作站底面的四角处。
21.优选的，工作模具工作站的底部设置温度湿度控制器。
22.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将工作模具安装在弹力适中的工装上可减少工作模具的变形。工作模具内部恒温恒湿，避免工作模具受潮，从而避免纳米结构遭到破坏和工作模具表面能的升高。工作站顶部设置去离子装置，消除工作模具的静电，避免静电污染。
附图说明
23.图1：工作模具工作站与纳米压印设备结构示意图；
24.图2：工作模具工作站结构示意图；
25.图3：工作模具工作站侧视图；
26.图4：工作模具工作站侧视剖面图；
27.图5：工作模具工装俯视图；
28.图6：工作模具工装正视图；
29.图7：工作模具的结构示意图。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种纳米压印工作模具工作站，工作模具工作站1和工作模具工装3，所述的工作模具工作站1可安装在现有的纳米压印设备2一侧，与已有的纳米压印设备2集成在一起；
32.所述的工作模具工作站1包括设至在工作站顶部的去离子装置11，去离子装置11吸入已过滤的空气与去静电离子一起吹向工作模具4，用于去除工作模具4产生的静电；
33.工作模具工作站1靠近纳米压印设备2的一侧设置多个取料窗口15，通过取料窗口15，纳米压印设备2内的机械臂可将工作模具工装从工作模具工作站1转移到纳米压印设备
2内部，或从纳米压印设备2内部转移至工作模具工作站1内；
34.工作模具工作站1内部设置有承载装置17，承载装置将工作模具工装3 固定于工作模具工作站1内部。
35.工作模具工装3用于固定工作模具4，工作模具工装3包括工作模具拉板 31，工作模具拉板31内设有多组均匀安装的弹簧，弹簧一端固定在工作模具压板32上；
36.工作模具压板32设置两组，工作模具压板32上设置多个螺钉孔，工作模具压板32通过与螺钉孔数量相同的螺钉33旋拧固定在工作模具工装3上；
37.螺钉孔和螺钉33的数量不少于三个。
38.工作模具工装3上设置多个电磁铁34，在转移工作模具时，纳米压印设备2内的机械臂通过电磁铁34固定，然后带动工作模具工装3和工作模具4 转移。
39.所述的工作模具4包括中部的纳米结构41和四角处开设的穿孔42。
40.工作模具工作站1一侧设置透明的观测窗口12，便于工作人员观测工作模具内部的状态。
41.所述观测窗口12的数量不少于五个，且观测窗口12的数量与取料窗口 15的数量相同。
42.位于最下面的一个观测窗口12的正下方设置检修窗口13，检修窗口13 门体设置把手131。
43.工作模具工作站1的底部设置有万向轮14。可以便于工作模具工作站1 的移动和运输。
44.所述万向轮14的数量至少为四个，且四个万向轮14分布在工作模具工作站1底面的四角处，使工作模具工作站1移动运输的更加快捷平稳。
45.工作模具工作站1的底部设置温度湿度控制器16，使工作站内部恒温恒湿，避免工作模具4受潮变形。
46.存放过程：
47.s1：在工作模具4的两端按照工作模具压板32的开孔位置打孔形成穿孔 42。
48.s2：将工作模具4放在工作模具工装3上，将工作模具压板32放在工作模具4上方，通过螺钉33将工作模具4压紧固定在工作模具工装3上。工作模具工装3的一端设有工作模具拉板31，将工作模具拉平，防止工作模具收缩。
49.s4：将固定有工作模具4的工作模具工装3放在工作模具工作站1内，承载装置17将工作模具工装固定于工作站内部。
50.将工作模具安装在弹力适中的工装上可减少工作模具的变形。作模具内部恒温恒湿，避免工作模具受潮，从而避免纳米结构遭到破坏和工作模具表面能的升高。工作站顶部设置去离子装置，消除工作模具的静电，避免静电污染。
51.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。