衬底传送装置、物品传送装置和衬底传送方法与流程

技术特征：
1.一种衬底传送装置，包括：行进单元，其包括在轨道上行进以在第一方向上传送衬底的行进轮；轨道单元，其包括所述轨道和在与所述第一方向不同的第二方向上从所述轨道突出的轨道突起；以及传感器单元，其包括第一传感器和第二传感器，其中，所述第一传感器感测所述行进单元，并且所述第二传感器感测所述轨道突起，其中，所述第一传感器和所述第二传感器基于所述第一方向沿着所述轨道放置在彼此相同的位置处。2.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中，在所述行进轮位于所述轨道上的对应于所述轨道突起的位置处时，所述第一传感器测量到所述行进轮的上表面的距离，并且在所述行进轮在所述轨道上在所述第一方向上行进时，所述第二传感器测量到所述轨道突起的上表面的最下面的点的距离。3.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中，所述第一传感器通过到所述行进轮的上表面的距离与到所述轨道的上表面的距离之间的差来测量所述行进轮的直径，并且其中，当所述行进轮在所述轨道上行进时，所述第二传感器通过到所述轨道突起的上表面的所述最下面的点的距离与在所述行进轮位于所述轨道上的对应于所述轨道突起的位置处之前到所述轨道突起的上表面的距离之间的差来测量所述轨道的下陷高度。4.根据权利要求3所述的衬底传送装置，还包括：数据控制器，其基于由所述第二传感器测量的所述轨道的下陷高度和由所述第一传感器测量的所述行进轮的直径计算所述行进轮的直径。5.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中，所述行进轮包括在所述轨道上行进的第一行进轮和在所述第一方向上与所述第一行进轮间隔开的第二行进轮，并且其中，所述第一传感器测量所述第一行进轮的直径和所述第二行进轮的直径。6.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中，所述行进轮被配置为在所述轨道上行进至所述轨道突起，使得所述行进轮对应于所述轨道突起。7.根据权利要求1所述的衬底传送装置，还包括：基础面板，其设置在所述轨道单元上方，其中，所述传感器单元与所述基础面板相邻设置。8.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中，所述传感器单元还包括支承所述第一传感器和所述第二传感器的传感器支承件。9.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中，所述行进单元还包括连接至所述行进轮的行进部件，并且其中，所述轨道突起的最上面的表面设置在所述行进部件的最上面的表面下方。10.根据权利要求1所述的衬底传送装置，还包括：提升单元，其设置在所述轨道下方并且由所述行进单元传送；以及识别部件，其识别所述提升单元，其中，所述识别部件和所述第一传感器检测所述提升单元何时进入所述轨道，并且其中，所述识别部件识别所述提升单元的识别信息。11.一种物品传送装置，包括：
行进单元，其包括在第一方向上在轨道上行进的行进轮；轨道单元，其包括所述轨道和在与所述第一方向不同的第二方向上从所述轨道突出的轨道突起；以及传感器单元，其包括第一传感器和第二传感器，其中，所述第一传感器感测所述行进单元，所述第二传感器感测所述轨道突起，其中，所述行进轮被配置为在所述轨道上行进至所述轨道突起，使得所述行进轮对应于所述轨道突起。12.根据权利要求11所述的物品传送装置，其中，所述第一传感器和第二传感器基于所述第一方向沿着所述轨道放置在彼此相同的位置处。13.根据权利要求11所述的物品传送装置，其中，所述第一传感器通过到所述行进轮的上表面的距离与到所述轨道的上表面的距离之间的差测量所述行进轮的直径，并且其中，当所述行进轮在所述轨道上行进时，所述第二传感器通过到所述轨道突起的上表面的最下面的点的距离与在所述行进轮位于所述轨道上的对应于所述轨道突起的位置处之前到所述轨道突起的上表面的距离之间的差测量所述轨道的下降高度。14.根据权利要求13所述的物品传送装置，还包括：数据控制器，其基于由所述第二传感器测量的所述轨道的下降高度和由所述第一传感器测量的所述行进轮的直径来计算所述行进轮的直径。15.根据权利要求11所述的物品传送装置，还包括：基础面板，其与所述轨道单元重叠，其中，所述传感器单元与所述基础面板相邻设置。16.一种衬底传送方法，包括：通过识别部件检测提升单元的进入，其中，所述提升单元连接至行进单元，所述行进单元在轨道上行进，并且包括行进轮，其中，所述轨道在第一方向上延伸；在所述行进轮在连接了轨道突起的所述轨道上行进时，通过利用第一传感器测量所述行进轮的直径；以及在所述行进轮在所述轨道上行进时，通过利用第二传感器测量所述轨道突起的下降高度，其中，所述行进轮的直径的测量与所述轨道突起的下降高度的测量同时执行，其中，所述第一传感器和所述第二传感器基于所述第一方向沿着所述轨道放置在彼此相同的位置处。17.根据权利要求16所述的衬底传送方法，其中，在所述行进轮位于所述轨道上的对应于所述轨道突起的位置处时，所述第一传感器测量到所述行进轮的上表面的距离，并且同时，在所述行进轮在所述轨道上行进时，所述第二传感器测量到所述轨道突起的上表面的最下面的点的距离。18.根据权利要求16所述的衬底传送方法，其中，所述行进轮包括在所述轨道上行进的第一行进轮和在所述第一方向上与所述第一行进轮间隔开的第二行进轮，并且其中，所述第一传感器测量所述第一行进轮的直径，并且随后测量所述第二行进轮的直径。19.根据权利要求16所述的衬底传送方法，还包括：通过基于由所述第二传感器测量的所述轨道的下降高度调整由所述第一传感器测量
的所述行进轮的直径，利用数据控制器计算所述行进轮的直径。20.根据权利要求19所述的衬底传送方法，还包括：向服务器发送由所述数据控制器计算的信息。

技术总结
提供了一种衬底传送装置、物品传送装置和衬底传送方法。所述衬底传送装置包括：行进单元，其包括在轨道上行进以在第一方向上传送衬底的行进轮；轨道单元，其包括轨道和在与第一方向不同的第二方向上从轨道突出的轨道突起；以及传感器单元，其包括第一传感器和第二传感器，其中，第一传感器感测行进单元，第二传感器感测轨道突起，其中，第一传感器和第二传感器基于第一方向沿着轨道放置在彼此相同的位置处。处。处。


技术研发人员：崔东喆 孙诚孝 安勇俊 元裕东 李垂烨 李逸揆 李炫雨 林敬洛
受保护的技术使用者：特雷泽工程有限公司
技术研发日：2022.02.14
技术公布日：2022/8/25