一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：包括底座（1）和空气压缩机（4），所述底座（1）的上方安装有静电环（2），且静电环（2）的上方安装有连接块（3），所述空气压缩机（4）的右侧安装有连通管（5），且空气压缩机（4）位于连接块（3）的上方，所述连通管（5）的右侧安装有第一齿轮轴（6），且第一齿轮轴（6）的右侧安装有第二齿轮轴（7），所述第二齿轮轴（7）的右侧安装有转动机（8），且转动机（8）的右侧安装有螺纹栓盘（9），所述螺纹栓盘（9）的左侧安装有保护壳（10），且保护壳（10）的内部安装有连接轴（11），所述连接轴（11）的右侧安装有石墨板（12），且石墨板（12）的右侧安装有传输轴（13），所述传输轴（13）的内部安装有工作罩（14），且工作罩（14）的内部安装有第一转轴（15），所述第一转轴（15）的左侧安装有第二转轴（16），且第二转轴（16）的下方安装有电极轴（17），所述电极轴（17）的下方安装有轴承（18），且轴承（18）的右侧安装有压缩口（19），所述压缩口（19）的右侧安装有辐射板（20）。2.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述静电环（2）采用pvc材料结构，且保护壳（10）通过静电环（2）与底座（1）为固定结构。3.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述空气压缩机（4）通过连通管（5）与工作罩（14）构成流通结构。4.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述石墨板（12）通过连接轴（11）与螺纹栓盘（9）为固定结构，且石墨板（12）通过传输轴（13）与工作罩（14）为固定连接。5.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述第二齿轮轴（7）与转动机（8）为转动连接，且第一齿轮轴（6）通过第二齿轮轴（7）与转动机（8）构成转动结构。6.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述电极轴（17）沿轴承（18）的底部均匀分布，且电极轴（17）通过第一转轴（15）与第一齿轮轴（6）构成转动结构。7.根据权利要求1所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，其特征在于：所述电极轴（17）沿工作罩（14）的底部均匀分布，且工作罩（14）的内部设置有辐射板（20）。

技术总结
实用新型属于锂离子沉积加工领域，具体的说是一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，包括底座和空气压缩机，所述底座的上方安装有静电环，且静电环的上方安装有连接块，所述空气压缩机的右侧安装有连通管，且空气压缩机位于连接块的上方，所述连通管的右侧安装有第一齿轮轴，且第一齿轮轴的右侧安装有第二齿轮轴，所述第二齿轮轴的右侧安装有转动机；本实用新型通过设置有电机轴，可以配合第一转轴和轴承，能够保证设备在进行离子的加工时化学气相沉积工作时更加的均匀，电极轴沿轴承的底部均匀分布，可以在进行锂离子的旋转时可以更加的高效，在进行化学气相沉积时，防止离子在设备内部的堆积，有效设备的工作的效率。率。率。


技术研发人员：宋飞 陈万杰 彭友军
受保护的技术使用者：湖南航盛新能源材料有限公司
技术研发日：2022.05.12
技术公布日：2022/8/23