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一种用于水平沉铜的离子钯活化液及其制备方法与流程

2022-08-14 01:25:40 来源:中国专利 TAG:

80 mg,络合剂0.1-2 g,表面活性剂2-20 mg,ph值调节剂2-25 g,稳定剂2-20 mg,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物1-5 mg,其余为去离子水。
7.进一步地,本发明所述络合剂为三乙胺、硫代吗啉。
8.进一步地,本发明所述表面活性剂为非离子型全氟表面活性剂,例如zonyl fsj。
9.进一步地,本发明所述ph值调节剂为氨水、氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或至少两种组合。
10.进一步地,本发明所述稳定剂为糠醛、乙醛酸、苹果酸、维生素c、肉桂醛中的任意一种或至少两种的组合。
11.进一步地,本发明所述聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物由以下步骤制成:将一定量聚乙烯亚胺加入水中搅拌均匀得到聚乙烯亚胺溶液,将一定量苯六甲酸加入水中搅拌溶解得到苯六甲酸溶液,将聚乙烯亚胺水溶液和苯六甲酸水溶液按体积比1:1搅拌混合,升温至80℃搅拌反应4小时得到反应液,将反应液冷冻干燥2小时得到聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物。
12.进一步地,本发明所述聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物中,聚乙烯亚胺水溶液中质量浓度为5-30%,苯六甲酸水溶液的质量浓度为2-15%,冷冻干燥时的温度为-4℃。
13.进一步地,本发明所述聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物中,聚乙烯亚胺分子量为200-5000。
14.本发明要解决的另一技术问题提供上述用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法。为解决上述技术问题,技术方案是:一种用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法,包括以下步骤:将硫酸钯、络合剂、去离子水混合,搅拌1-2小时后加入稳定剂、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物和表面活性剂,继续搅拌1-2小时后加入ph值调节剂,继续搅拌2-3小时后静置 12-24小时得到离子钯活化液。
15.进一步地,所述步骤中的搅拌速度为100-200转/分。
16.进一步地,所述步骤中的ph调节剂将ph调至8.0-12.5。
17.与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:1)本发明使用三乙胺、硫代吗啉,能络合铜离子、钯离子形成络合物,将络合物紧密附着在基体材料表面,从而产生较好的活化效果,进而提高水平沉铜背光效果和沉铜层附着力。
18.2)本发明将聚乙烯亚胺和苯六甲酸加热混合,制得了聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物,其能增强络合物与基体材料的附着,进一步提高沉铜层附着力,此外该聚乙烯亚胺和苯六甲酸的稳定性较好,能提高离子钯活化液的稳定性。
具体实施方式
19.下面将结合具体实施例来详细说明本发明,在此本发明的示意性实施例及其说明用来解释本发明,但并不作为对本发明的限定。
20.实施例1用于水平沉铜的离子钯活化液,每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯50mg,三乙胺0.1g,zonyl fsj 2mg,氨水13g,肉桂醛8mg,聚乙醯亚胺-苯六甲酸复合物2.5mg,其余为去离子水。
21.其中,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物由以下步骤制成:将分子量1000的聚乙烯亚胺加入水中搅拌均匀得到质量浓度为20%的聚乙烯亚胺溶液,将苯六甲酸加入水中搅拌均匀得到质量浓度为10%的苯六甲酸溶液, 将体积比为1:1的聚乙烯亚胺和苯六甲酸溶液混合,升温至80℃搅拌反应4小时得到反应液,将反应液-4℃下冷冻干燥2小时得到聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物。
22.该用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法包括以下步骤:将硫酸钯、三乙胺、硫代吗啉和去离子水混合,搅拌1 .5小时后加入肉桂醛、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物、zonyl fsj,继续搅拌1.5小时后加入氨水,继续搅拌2.5小时后静置18小时得到离子钯活化液,其中,搅拌速度为150转/分。
23.实施例2用于水平沉铜的离子钯活化液,每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯60mg,三乙胺 0.5g,硫代吗啉0.5g,zonyl fsj 20mg,氨水25g,乙醛酸 8mg,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物 3mg,其余为去离子水。
24.其中,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物由以下步骤制成:将分子量3000的聚乙烯亚胺加入水中搅拌均匀得到质量浓度为25%的聚乙烯亚胺溶液,将苯六甲酸加入水中搅拌均匀得到质量浓度为15%的苯六甲酸溶液, 将体积比为1:1的聚乙烯亚胺和苯六甲酸溶液混合,升温至80℃搅拌反应4小时得到反应液,将反应液-4℃下冷冻干燥2小时得到聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物。
25.该用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法包括以下步骤:将硫酸钯、三乙胺、硫代吗啉和去离子水混合,搅拌1.5小时后加入维生素c、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物、zonyl fsj,继续搅拌1.5小时后加入氨水,继续搅拌2.5小时后静置18小时得到离子钯活化液,其中,搅拌速度为200转/分。
26.实施例3用于水平沉铜的离子钯活化液,每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯30mg,三乙胺1g,硫代吗啉1g,zonyl fsj 11mg,naoh 2g,维生素c 8mg,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物3mg,其余为去离子水。
27.其中,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物由以下步骤制成:将分子量1000的聚乙烯亚胺加入水中搅拌均匀得到质量浓度为15%的聚乙烯亚胺溶液,将苯六甲酸加入水中搅拌均匀得到质量浓度为10%的苯六甲酸溶液,将体积比为1:1的聚乙烯亚胺和苯六甲酸溶液混合,升温至80℃搅拌反应4小时得到反应液,将反应液-4℃下冷冻干燥2小时得到聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物。
28.该用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法包括以下步骤:将硫酸钯、三乙胺、硫代吗啉和去离子水混合,搅拌1.5小时后加入维生素c、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物、zonyl fsj,继续搅拌1.5小时后加入naoh,继续搅拌2.5小时后静置18小时得到离子钯活化液,其中,搅拌速度为150转/分。
29.实施例4用于水平沉铜的离子钯活化液,每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯80mg,三乙胺 0.7g,硫代吗啉 0.7g,zonyl fsj 5mg,koh 5 g,糠醛 4mg,维生素c 4mg,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物 3mg,其余为去离子水。
30.其中,聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物由以下步骤制成:将分子量1200的聚乙烯亚胺加入水中搅拌均匀得到质量浓度为18%的聚乙烯亚胺溶液,将苯六甲酸加入水中搅拌均匀得到质量浓度为8%的苯六甲酸溶液, 将体积比为1:1的聚乙烯亚胺和苯六甲酸溶液混合,升温至80℃搅拌反应4小时得到反应液,将反应液-4℃下冷冻干燥2小时得到聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物。
31.该用于水平沉铜的离子钯活化液的制备方法包括以下步骤:将硫酸钯、三乙胺、硫代吗啉和去离子水混合,搅拌1.5小时后加入维生素c、糠醛、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物、zonyl fsj,继续搅拌1.5小时后加入koh,继续搅拌2.5小时后静置18小时得到离子钯活化液,其中,搅拌速度为150转/分。
32.参比实施例1:与实施例4的不同之处在于:组分中缺少聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物,省去其制备步骤。
33.参比实施例2:与实施例4的不同之处在于:组分中缺少络合剂三乙胺和硫代吗啉。
34.参比实施例3:与实施例4的不同之处在于:组分中缺少糠醛。
35.试验例1:稳定性测试分别取50ml实施例1-4、参比实施例1-3,加入50ml比色管中,用玻璃导管将空气通入溶液底部,空气流量为20l/小时,记录从开始通入空气到离子钯活化液变为无色为止所经过的时间即为稳定时间。稳定时间越长表明稳定性越好,测试结果如表1所示:表1活化性能实验实验方法:将pcb钻孔面板裁成5cm
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5cm试样进行水平沉铜,流程为:除油、调整 (50℃,5分钟);微蚀刻(室温,2分钟);预浸(室温,1分钟);活化(30℃,10分钟,使用实施例 1-4、参比实施例1-3、对比例得到的离子钯活化液);加速(室温,5分钟);化学沉铜(40℃,10 分钟)。
36.试验例2:活性测试记录从试样浸渍于化学镀铜液开始到试样表面产生第一个气泡时所经过的时间 即为起发时间。起发时间越短表明活性越好,测试结果如表2所示:
表2由表2可看出,本发明实施例1-4的启镀时间均为5s左右,表明本发明的活性较好。参比实施例1-3的部分组分与实施例1不同,参比实施例2的起发时间明显增长,表明硫代吗啉和三乙胺是提高离子钯活化液的活性的主因。
37.试验例3:沉铜层附着力测试将沉铜后的试样烘干后平放于台面上,用划格器在试样表面划出100个1cm
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1cm 的方格,用3m公司生产的600型号的透明胶带平整地粘贴于方格上,压平透明胶带使其与方 格完全贴合没有空隙,30秒后以60℃方向瞬间用力揭起透明胶带,观察方格上沉铜层的脱 落情况,按以下标准记录附着力等级:没有任何脱落记为5b,脱落面积为方格总面积的0-5%记为4b,脱落面积为方格总 面积的5-15%记为3b,脱落面积为方格总面积的15-35%记为2b,脱落面积为方格总面积的 35-65%记为1b,脱落面积为方格总面积的65%以上记为0b。测试结果如表3所示:表3由表3可看出,本发明实施例1-4的附着力等级均为4b,表明本发明的沉铜层附着力较好。其中参比实施例1附着力等级为3b较其他实施例低,说明聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物能有效提高离子钯活化液的沉铜层附着力。
38.试验例4:水平沉铜背光效果测试将沉铜后的试样放入切片机中裁切后研磨,将切片孔研磨至孔径一半处,将切片的另一边研磨至离孔边缘2mm处,研磨后将孔内的铜屑等杂质擦拭干净,用显微镜放大50倍检测孔内,利用背光原理检测孔内沉积铜层的均匀性,背光等级总共分为10级,背光等级越
高表明背光效果越好。
39.测试结果如表4所示:表4由表4可看出,水平沉铜背光效果较好。参比实施例1-3的部分组分与实施例1不同,参比实施例1和2的背光等级均降低了两级,表明三乙胺、硫代吗啉、聚乙烯亚胺-苯六甲酸复合物均能有效提高离子钯活化液的水平沉铜背光效果。
40.上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效,而非用于限制本发明。任何熟 悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因 此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完 成的一切等效修饰或改变,仍应由本发明的权利要求所涵盖。
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