光敏玻璃材料的制作方法

技术特征：
1.光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，含有：sio2：74.6～82.5％；li2o：7.1～10.4％；r2o：1.4～8.7％；al2o3：2.1～6％；tio2 ag2o：0.1～0.5％，其中sio2/li2o为7.6～10.6，所述r2o为na2o、k2o中的一种或两种。2.根据权利要求1所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，还含有：ceo2：0.02～0.06％；和/或sb2o3：0～1％；和/或mo：0～4％；和/或zno：0～3％；和/或zro2：0～1％，所述mo为mgo、cao中的一种或两种。3.光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示由sio2：74.6～82.5％；li2o：7.1～10.4％；r2o：1.4～8.7％；al2o3：2.1～6％；tio2 ag2o：0.1～0.5％；ceo2：0.02～0.06％；sb2o3：0～1％；mo：0～4％；zno：0～3％；zro2：0～1％组成，其中sio2/li2o为7.6～10.6，所述r2o为na2o、k2o中的一种或两种，mo为mgo、cao中的一种或两种。4.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：sio2/li2o为7.9～10.3。5.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：al2o3/(tio2 zro2)为2.4～34.6，优选al2o3/(tio2 zro2)为5.9～21.6。6.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：al2o3/mo为0.6～19，优选al2o3/mo为1.2～6.5，所述mo为mgo、cao中的一种或两种。7.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：sio2：74.6～79.5％；和/或li2o：7.1～9.3％；和/或r2o：2～5％；和/或al2o3：2.1～4.2％；和/或tio2 ag2o：0.13～0.26％；和/或ceo2：0.032～0.042％；和/或sb2o3：0.3～0.7％；和/或mo：0.6～2.2％；和/或zno：1.1～1.9％；和/或zro2：0.1～0.6％，所述r2o为na2o、k2o中的一种或两种，mo为mgo、cao中的一种或两种。8.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：na2o：0.1～4％，优选na2o：1.1～4％；和/或k2o：0.9～4.7％，优选k2o：1.5～4.3％；和/或mgo：0～3％，优选mgo：0.6～2.2％；和/或cao：0～3％，优选cao：0.2～1.2％；和/或tio2：0～0.2％，优选tio2：0～0.1％；和/或ag2o：0.02～0.3％，优选ag2o：0.11～0.17％。9.根据权利要求1～3任一所述的光敏玻璃材料，其特征在于，所述光敏玻璃材料的介电常数为3.2～7.2，优选为5.9～7.0；和/或介电损耗为4.7
×
10-3
～9.2
×
10-3
，优选为7.8
×
10-3
～9.0
×
10-3
；和/或刻蚀损失率为1.45％～2.60％，优选为1.5％～2.0％；和/或晶化收缩率为2.0
×
10-4
～13.2
×
10-4
，优选为3.0
×
10-4
～8.0
×
10-4
。

技术总结
本发明提供一种具有较低晶化收缩率和较低刻蚀损失率的光敏玻璃材料。光敏玻璃材料，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：74.6～82.5％；Li2O：7.1～10.4％；R2O：1.4～8.7％；Al2O3：2.1～6％；TiO2 Ag2O：0.1～0.5％，其中SiO2/Li2O为7.6～10.6，所述R2O为Na2O、K2O中的一种或两种。通过合理的组分设计，本发明获得的光敏玻璃材料具有较低晶化收缩率和较低刻蚀损失率，适用于制备玻璃转接板、MEMS真空器件等。件等。


技术研发人员：胡斌 原保平 于天来 苏学剑 张静
受保护的技术使用者：成都光明光电有限责任公司
技术研发日：2022.06.24
技术公布日：2022/8/9