一种均匀加热型退火炉的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种均匀加热型退火炉。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，例如专利号为：201920816072.1的实用新型，包括炉体和运料小车，炉体的顶部设置有进气口、测温热电偶、气压表和真空泵，进气口上设置有截止阀，真空泵的左侧进气端设置有抽气管，炉体的底部设置有电机，电机的顶部设置有转动轴，转动轴的顶部设置有转盘，虽然该装置通过旋转的方式将金属工件在炉体内均匀受热，提高了退火工件的合格率，但由于是采用人工的方式借助螺钉将运料小车的位置固定，在固定时，人体必须进入到炉体内才能操作，不仅操作费时费力，而且在退料时，由于螺钉与高温下的运料小车之间距离相近，工作人员在取下螺钉时十分的危险，安全性低，不便于使用，并且，在打开截止阀时，由于没有过滤装置，导致炉内气体中所携带的杂质会飘荡在外界，污染工作环境，给工作人员带来了许多的困扰，因此，基于以上缺点，现推出一种均匀加热型退火炉对此进行改善。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种均匀加热型退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种均匀加热型退火炉，包括基座，所述基座的底端左右两侧均设置有支撑杆，所述基座的顶端安装有退火炉主体，所述退火炉主体的前侧安装有门体，所述退火炉主体的内腔圆周从上至下均安装有电加热丝，所述退火炉主体的顶端左侧设置有壳体，所述壳体的内腔安装有截止阀，所述壳体的顶端螺纹连接有过滤网，所述退火炉主体的顶端右侧螺钉连接有真空泵，所述退火炉主体的内腔装配有旋转机构，所述旋转机构的内腔装配有固定机构。
5.优选的，所述旋转机构包括底座，所述底座设置在退火炉主体的内腔底端，所述底座的内腔圆周开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内腔内嵌有第一滑块，所述第一滑块的内侧安装有转盘，所述基座的底端中心位置螺钉连接有电机，所述电机的上表面输出端延伸进退火炉主体的内腔且通过联轴器锁紧在转盘的底端，所述转盘的顶端左右两侧均对称开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内腔内嵌有第二滑块，所述第二滑块的顶端延伸出转盘上表面开设的滑轨且安装有底板，所述底板的顶端安装有料炉。
6.优选的，所述固定机构包括插孔，所述插孔的数量为两个，且两个插孔分别开设在第二滑块的内侧，所述转盘的内腔中心位置通过轴承安装有转杆，所述转杆的外壁过盈配合有齿轮，所述齿轮的外壁前后两侧均对称啮合连接有齿板，所述齿板的外侧中心位置设置有插杆的一端，且插杆的另一端延伸进插孔的内腔，所述转盘的内腔右侧安装有电动推杆的一端，且电动推杆的另一端安装在齿板的后侧。
7.优选的，所述齿板的形状呈“l”字形设置。
8.优选的，所述电加热丝的安装呈螺旋状设置。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该均匀加热型退火炉，通过转杆、齿轮和齿板之间的配合，从而可以将插杆插入或移出插孔的内腔，进而可对料炉的位置进行固定或移动，通过底座、第一滑槽、第一滑块和电机之间的配合，从而可促使转盘带动料炉转动，通过退火炉主体、门体、电加热丝、壳体、截止阀和真空泵之间的配合，从而可以对料炉内的物料进行常规的加工处理，通过过滤网可以对退火炉主体内气体当中的杂质进行过滤处理，该装置采用自动锁紧的方式将料炉的位置进行固定，无需人工操作，省时省力，安全性高，大大提高了整体的工作效率，并且，设置的过滤装置可有效地过滤掉炉内气体当中所携带的杂质，避免飘荡在外界污染环境，使用灵活，实用性强，自动化程度高，满足现有市场上的使用需求。
附图说明
10.图1为本实用新型结构示意图；
11.图2为本实用新型的旋转机构结构示意图；
12.图3为本实用新型的齿轮俯视图。
13.图中：1、基座，2、支撑杆，3、退火炉主体，4、门体，5、电加热丝，6、壳体，7、截止阀，8、过滤网，9、真空泵，10、旋转机构，101、底座，102、第一滑槽，103、第一滑块，104、转盘，105、电机，106、第二滑槽，107、第二滑块，108、底板，109、料炉，11、固定机构，111、插孔，112、转杆，113、齿轮，114、齿板，115、插杆，116、电动推杆。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种均匀加热型退火炉，包括基座1，基座1的底端左右两侧均设置有支撑杆2，基座1的顶端安装有退火炉主体3，退火炉主体3的前侧安装有门体4，退火炉主体3的内腔圆周从上至下均安装有电加热丝5，通过退火炉主体3与电加热丝5之间的配合，从而可以对物料进行常规的加工处理，退火炉主体3的顶端左侧设置有壳体6，壳体6的内腔安装有截止阀7，壳体6的顶端螺纹连接有过滤网8，通过过滤网8可以对炉内气体当中的杂质进行过滤，避免飘荡在外界污染环境，并且过滤网8与壳体6之间相互螺纹连接，便于拆装，退火炉主体3的顶端右侧螺钉连接有真空泵9，退火炉主体3的内腔装配有旋转机构10，旋转机构10的内腔装配有固定机构11。
16.作为优选方案，更进一步的，旋转机构10包括底座101，底座101设置在退火炉主体3的内腔底端，底座101的内腔圆周开设有第一滑槽102，第一滑槽102的内腔内嵌有第一滑块103，第一滑块103的内侧安装有转盘104，基座1的底端中心位置螺钉连接有电机105，电机105的上表面输出端延伸进退火炉主体3的内腔且通过联轴器锁紧在转盘104的底端，转盘104的顶端左右两侧均对称开设有第二滑槽106，第二滑槽106的内腔内嵌有第二滑块107，第二滑块107的顶端延伸出转盘104上表面开设的滑轨且安装有底板108，底板108的顶
端安装有料炉109，开启电机105，电机105会带动转盘104转动，由于料炉109被固定在转盘104的顶端，因此当转盘104转动可带动料炉109一起转动，转动的料炉109可促使其内部放置的物料均匀受热。
17.作为优选方案，更进一步的，固定机构11包括插孔111，插孔111的数量为两个，且两个插孔111分别开设在第二滑块107的内侧，转盘104的内腔中心位置通过轴承安装有转杆112，转杆112的外壁过盈配合有齿轮113，齿轮113的外壁前后两侧均对称啮合连接有齿板114，齿板114的外侧中心位置设置有插杆115的一端，且插杆115的另一端延伸进插孔111的内腔，转盘104的内腔右侧安装有电动推杆116的一端，且电动推杆116的另一端安装在齿板114的后侧，开启电动推杆116，电动推杆116会推动一个齿板114向右侧移动，由于两个齿板114均与齿轮113相互咬合，因此当一个齿板114向右或向左侧移动可促使另一个齿板114向左或向右侧移动，即两个齿板114会带动插杆115一起同时向外侧或内侧移动。
18.作为优选方案，更进一步的，齿板114的形状呈“l”字形设置。
19.作为优选方案，更进一步的，电加热丝5的安装呈螺旋状设置，从而保证电加热丝5可均匀对物料加热。
20.本方案中所提到的电器元件均为现有技术，其型号仅为其中的一种，只要能达到本方案中所要达到的目的的电器元件均可以使用。
21.通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明，具体工作如下。
22.使用时，打开门体4且将料炉109从退火炉主体3的内腔移出，料炉109会带动底板108和第二滑块107一起向前侧移动，将需要加工的物料倒入进料炉109内且推动其复位，开启电动推杆116，电动推杆116会推动一个齿板114向右侧移动，由于两个齿板114均与齿轮113相互咬合，因此当一个齿板114向右侧移动可促使另一个齿板114向左侧移动，即两个齿板114会带动插杆115一起同时向外侧移动，当插杆115插入进相对应插孔111的内腔时，第二滑块107的位置随即被卡紧固定，此时料炉109的位置固定，完成安装操作；关闭门体4且开启电加热丝5、真空泵9和电机105，经过电加热丝5和真空泵9之间的配合，从而可以对料炉109内的物料进行常规的加工处理，而开启的电机105会带动转盘104转动，由于料炉109被固定在转盘104的顶端，因此当转盘104转动可带动料炉109一起转动，转动的料炉109可促使其内部放置的物料均匀受热；当物料加工完毕后，开启截止阀7，促使炉内外的气压平衡，此时炉内的气体会顺势经过过滤网8飘出，借由过滤网8的过滤可将气体当中的杂质进行阻挡，避免跑出污染环境；该装置采用自动锁紧的方式将料炉109的位置进行固定，无需人工操作，省时省力，安全性高，大大提高了整体的工作效率，并且，设置的过滤装置可有效地过滤掉炉内气体当中所携带的杂质，避免飘荡在外界污染环境，使用灵活，实用性强，自动化程度高，适合推广。
23.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中心位置”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶端”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时
除非另有明确的规定和限定，术语“卡接”、“插接”、“焊接”、“安装”、“设置”、“过盈配合”、“螺钉连接”、“销轴连接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。