一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备

技术特征：
1.一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括设备箱体(1)，其特征在于：所述设备箱体(1)内从左至右依次设有进样室(11)、镀膜室(12)和出样室(13)，所述进样室(11)与所述镀膜室(12)之间设有进样插板阀(2)，所述镀膜室(12)与所述出样室(13)之间设有出样插板阀(3)，所述设备箱体(1)内底面上平行设有若干滑轨(4)，所述滑轨(4)上滑动连接有用于承托基片(8)的基片支架(5)，每道所述滑轨(4)的前后两侧均并排设有两根热丝支架(6)，两根所述热丝支架(6)之间平行设有若干镀膜热丝(7)。2.根据权利要求1所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述进样插板阀(2)、所述出样插板阀(3)均为真空插板阀。3.根据权利要求2所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述进样插板阀(2)、所述出样插板阀(3)均集成在所述设备箱体(1)内。4.根据权利要求3所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述滑轨(4)横向跨越所述进样室(11)、所述镀膜室(12)和所述出样室(13)。5.根据权利要求4所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述滑轨(4)连接所述基片支架(5)用于将基片(8)从进样室(11)送至镀膜室(12)、从镀膜室(12)送至出样室(13)。6.根据权利要求5所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述基片支架(5)滑动连接在所述滑轨(4)上，所述基片支架(5)通过滑轨(4)带动所述基片(8)在镀膜时来回摆动。7.根据权利要求6所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：两根上下位置相对应的所述热丝支架(6)形成一组，所述滑轨(4)的数量比所述热丝支架(6)的组数少一个。8.根据权利要求7所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述镀膜热丝(7)与所述基片(8)之间采用多排平行竖直排列的方式。9.根据权利要求8所述的连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述进样室(11)和所述出样室(13)内均配备有温控系统，用于对所述基片(8)进行预热或冷却处理。

技术总结
本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。低生产成本。低生产成本。


技术研发人员：陈志刚 盖志刚 姜辛 王宜豹 柴旭 郭风祥 张妹 刘寿生 孙小玲 王韶琰 胡鼎 张丽丽 张学宇 周雪松 夏广森
受保护的技术使用者：山东省科学院海洋仪器仪表研究所
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/7/19