镀覆装置以及冲洗处理方法与流程

1.本发明涉及镀覆装置以及冲洗处理方法。


背景技术：

2.以往，作为能够对基板实施镀覆的镀覆装置，公知有所谓的杯式的镀覆装置(例如，参照专利文献1)。这样的镀覆装置具备：镀覆槽，配置有阳极；基板保持件，配置于比阳极靠上方的位置，保持作为阴极的基板；旋转机构，使基板保持件旋转；以及升降机构，使基板保持件升降。
3.在这样的镀覆装置中，有时执行利用冲洗液来冲洗基板及基板保持件的至少一方亦即“被冲洗部件”的“冲洗处理”(例如，参照专利文献1)。在这方面，例如在专利文献1所涉及的镀覆装置中，通过从配置于比镀覆槽靠上方的冲洗喷嘴(在专利文献1中称为喷射喷嘴)朝向被冲洗部件喷出冲洗液，来冲洗被冲洗部件。
4.专利文献1：日本特开2007-332435号公报
5.在上述那样的专利文献1所例示的现有的镀覆装置的情况下，由于采用从被冲洗部件落下的全部冲洗液落下到镀覆槽的内部的构造，因此存在冲洗液大量进入镀覆槽的镀覆液中的担忧。在该情况下，存在因冲洗液而导致镀覆槽的镀覆液过于稀释的担忧。


技术实现要素：

6.本发明是鉴于上述状况而完成的，其目的之一在于提供一种能够抑制冲洗液大量进入镀覆槽的镀覆液中的技术。
7.(方式1)
8.为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的镀覆装置具备镀覆模块，该镀覆模块具有：镀覆槽，配置有阳极；基板保持件，配置于比上述阳极靠上方的位置，保持作为阴极的基板；旋转机构，使上述基板保持件旋转；升降机构，使上述基板保持件升降；以及冲洗模块，能够执行冲洗处理，在上述冲洗处理中，在上述基板保持件位于比上述镀覆槽靠上方的状态下，利用冲洗液对上述基板和上述基板保持件中的至少一个亦即被冲洗部件进行冲洗，上述冲洗模块具备：冲洗喷嘴，在执行上述冲洗处理时，朝向上述被冲洗部件喷出冲洗液；吹气喷嘴，配置于比上述冲洗喷嘴靠下方的位置，在执行上述冲洗处理时，以横穿上述镀覆槽与上述基板保持件之间的空间的方式吹出气体；以及回收部件，配置于从上述吹气喷嘴吹出的上述气体的下游侧，对从上述被冲洗部件落下而随着从上述吹气喷嘴吹出的上述气体的流动的上述冲洗液进行回收。
9.根据该方式，在执行冲洗处理时，通过从冲洗喷嘴朝向被冲洗部件喷出冲洗液，能够冲洗被冲洗部件。另外，能够使从该被冲洗部件落下的冲洗液随着从吹气喷嘴吹出的气体的流动而由回收部件回收。由此，能够抑制冲洗液大量进入镀覆槽的镀覆液中。其结果，能够抑制因冲洗液而导致镀覆槽的镀覆液过于稀释。
10.(方式2)
11.在上述方式1中，上述冲洗喷嘴及上述吹气喷嘴可以固定于上述基板保持件升降的区域亦即升降区域的外侧。
12.(方式3)
13.在上述方式1中，上述冲洗模块可以还具备移动机构，该移动机构使上述吹气喷嘴在上述基板保持件升降的区域亦即升降区域的外侧的第一位置与上述升降区域的内侧的第二位置之间移动。
14.(方式4)
15.在上述方式3中，上述移动机构还可以使上述冲洗喷嘴在上述第一位置与上述第二位置之间移动。
16.(方式5)
17.在上述方式1～4中的任一方式中，上述吹气喷嘴可以是将上述气体呈膜状吹出的狭缝喷嘴。
18.(方式6)
19.在上述方式1～4中的任一方式中，上述吹气喷嘴可以构成为以上述吹气喷嘴为起点而将上述气体呈放射状吹出。
20.(方式7)
21.在上述方式1～6中的任一方式中，在执行上述冲洗处理时，上述基板保持件可以成为水平的状态。
22.(方式8)
23.在上述方式1～6中的任一方式中，上述镀覆模块可以还具备倾斜机构，该倾斜机构使上述基板保持件相对于水平方向倾斜，在执行上述冲洗处理时，上述基板保持件成为倾斜的状态。
24.(方式9)
25.在上述方式1～8中的任一方式中，上述冲洗喷嘴开始喷出上述冲洗液的时期可以比上述吹气喷嘴开始吹出上述气体的时期早。
26.(方式10)
27.在上述方式1～9中的任一方式中，上述镀覆模块可以还具备：框体，至少将上述镀覆槽、上述基板保持件、上述旋转机构、上述升降机构以及上述冲洗模块收容在内部；和排气机构，将上述框体的内部的空气排出到上述框体的外部。
28.(方式11)
29.在上述方式10中，上述排气机构可以使上述吹气喷嘴吹出气体的期间的排气流量比上述吹气喷嘴开始吹出上述气体之前的时刻的排气流量高。
30.(方式12)
31.在上述方式10或11中，从上述吹气喷嘴吹出的上述气体所含的水蒸气的量可以为上述框体的内部的空气所含的水蒸气的量以上。
32.(方式13)
33.为了实现上述目的，本发明的一个方式所涉及的冲洗处理方法是使用了上述方式1～12中的任一方式所涉及的镀覆装置的冲洗处理方法，包括：第一工序，在上述基板保持件位于比上述镀覆槽靠上方的状态下，上述冲洗喷嘴朝向上述被冲洗部件喷出上述冲洗
液；和第二工序，在利用上述冲洗喷嘴执行上述冲洗液的喷出的过程中，上述吹气喷嘴吹出上述气体，并且上述回收部件对从上述被冲洗部件落下而随着从上述吹气喷嘴吹出的上述气体的流动的上述冲洗液进行回收。
34.根据该方式，能够抑制冲洗液大量进入镀覆槽的镀覆液中。其结果，能够抑制因冲洗液而导致镀覆槽的镀覆液过于稀释。
附图说明
35.图1是表示实施方式所涉及的镀覆装置的整体结构的立体图。
36.图2是表示实施方式所涉及的镀覆装置的整体结构的俯视图。
37.图3是用于说明实施方式所涉及的镀覆模块400的结构的示意图。
38.图4是用于说明实施方式所涉及的冲洗模块的示意图。
39.图5是实施方式所涉及的冲洗模块的示意性俯视图。
40.图6是用于说明实施方式所涉及的冲洗处理时的镀覆装置的动作的流程图的一个例子。
41.图7是实施方式的变形例1所涉及的冲洗模块的示意性俯视图。
42.图8是用于说明实施方式的变形例2所涉及的冲洗模块的示意图。
43.图9是实施方式的变形例2所涉及的冲洗模块的示意性俯视图。
44.图10是实施方式的变形例3所涉及的冲洗模块的示意性俯视图。
45.图11是示意性地表示实施方式所涉及的吹气喷嘴的吹出口的其他例子的立体图。
具体实施方式
46.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，附图是为了容易理解实施方式的特征而示意性地图示的，各构成要素的尺寸比率等不限于与实际的相同。另外，在几个附图中，作为参考用，图示了x-y-z的正交坐标。该正交坐标中的，z方向相当于上方，－z方向相当于下方(重力作用的方向)。
47.图1是表示本实施方式的镀覆装置1000的整体结构的立体图。图2是表示本实施方式的镀覆装置1000的整体结构的俯视图(顶视图)。如图1及图2所示，镀覆装置1000具备装载口100、输送机械臂110、对准器120、预湿模块200、预浸模块300、镀覆模块400、清洗模块500、旋转冲洗干燥模块600、输送装置700以及控制模块800。
48.装载口100是用于将收容于未图示的foup等盒的基板搬入于镀覆装置1000或者从镀覆装置1000向盒搬出基板的模块。在本实施方式中，4台装载口100沿水平方向排列配置，但装载口100的数量及配置是任意的。输送机械臂110是用于输送基板的机械臂，构成为在装载口100、对准器120以及输送装置700之间交接基板。输送机械臂110及输送装置700能够在输送机械臂110与输送装置700之间交接基板时，经由临时放置台(未图示)进行基板的交接。
49.对准器120是用于使基板的定向平面、凹口等的位置与规定的方向对准的模块。在本实施方式中，2台对准器120沿水平方向排列配置，但对准器120的数量及配置是任意的。预湿模块200通过利用纯水或脱气水等处理液润湿镀覆处理前的基板的被镀覆面，将在基板表面形成的图案内部的空气置换为处理液。预湿模块200构成为实施通过在镀覆时将图
案内部的处理液置换为镀覆液而容易向图案内部供给镀覆液的预湿处理。在本实施方式中，2台预湿模块200沿上下方向排列配置，但预湿模块200的数量及配置是任意的。
50.预浸模块300例如构成为实施利用硫酸、盐酸等处理液对在镀覆处理前的基板的被镀覆面形成的种子层表面等存在的电阻大的氧化膜进行蚀刻除去而对镀覆基底表面进行清洗或活化的预浸处理。在本实施方式中，2台预浸模块300沿上下方向排列配置，但预浸模块300的数量及配置是任意的。镀覆模块400对基板实施镀覆处理。在本实施方式中，沿上下方向排列3台且沿水平方向排列4台而配置的12台镀覆模块400的组件为两组，合计设置有24台镀覆模块400，但镀覆模块400的数量及配置是任意的。
51.清洗模块500构成为为了除去镀覆处理后的基板上残留的镀覆液等而对基板实施清洗处理。在本实施方式中，2台清洗模块500沿上下方向排列配置，但清洗模块500的数量及配置是任意的。旋转冲洗干燥模块600是用于使清洗处理后的基板高速旋转而使其干燥的模块。在本实施方式中，2台旋转冲洗干燥模块600沿上下方向排列配置，但旋转冲洗干燥模块的数量及配置是任意的。输送装置700是用于在镀覆装置1000内的多个模块之间输送基板的装置。控制模块800构成为控制镀覆装置1000的多个模块，例如能够由具备与操作人员之间的输入输出接口的一般的计算机或专用计算机构成。
52.对镀覆装置1000进行的一系列镀覆处理的一个例子进行说明。首先，将收容于盒的基板搬入于装载口100。接着，输送机械臂110从装载口100的盒取出基板，并将基板输送至对准器120。对准器120使基板的定向平面、凹口等的位置与规定的方向对准。输送机械臂110将由对准器120对准了方向的基板交接给输送装置700。
53.输送装置700将从输送机械臂110接收到的基板输送给预湿模块200。预湿模块200对基板实施预湿处理。输送装置700将实施了预湿处理的基板输送给预浸模块300。预浸模块300对基板实施预浸处理。输送装置700将实施了预浸处理的基板输送给镀覆模块400。镀覆模块400对基板实施镀覆处理。
54.输送装置700将实施了镀覆处理的基板输送给清洗模块500。清洗模块500对基板实施清洗处理。输送装置700将实施了清洗处理的基板输送给旋转冲洗干燥模块600。旋转冲洗干燥模块600对基板实施干燥处理。输送装置700将实施了干燥处理的基板交接给输送机械臂110。输送机械臂110将从输送装置700接收到的基板输送给装载口100的盒。最后，将收容基板的盒从装载口100搬出。
55.此外，在图1、图2中说明的镀覆装置1000的结构只不过是一个例子，镀覆装置1000的结构不限定于图1、图2的结构。
56.另外，本实施方式所涉及的镀覆模块400具备后述的冲洗模块40，该冲洗模块40执行的冲洗处理可以代替上述清洗模块500进行的清洗处理。因此，镀覆装置1000也能够采用不具备清洗模块500的结构。
57.接着，对镀覆模块400进行说明。此外，本实施方式所涉及的镀覆装置1000所具有的多个镀覆模块400具有相同的结构，因此对一个镀覆模块400进行说明。
58.图3是用于说明本实施方式所涉及的镀覆装置1000的镀覆模块400的结构的示意图。本实施方式所涉及的镀覆装置1000是杯式的镀覆装置。图3所例示的镀覆模块400主要具备镀覆槽10、基板保持件20、旋转机构30、升降机构32、倾斜机构34以及冲洗模块40，并且具备将这些构成要素收容于内部的框体70。另外，镀覆模块400还具备排气机构80。此外，在
图3中，示意性地图示了一部分构成要素的截面。
59.本实施方式所涉及的镀覆槽10由在上方具有开口的有底的容器构成。具体而言，镀覆槽10具有底壁10a、和从该底壁10a的外周缘向上方延伸的外周壁10b，该外周壁10b的上部开口。此外，镀覆槽10的外周壁10b的形状没有特别限定，本实施方式所涉及的外周壁10b作为一个例子，具有圆筒形状。
60.在镀覆槽10的内部存积有镀覆液ps。作为镀覆液ps，只要是含有构成镀膜的金属元素的离子的溶液即可，其具体例没有特别限定。在本实施方式中，作为镀覆处理的一个例子，使用镀铜处理，作为镀覆液ps的一个例子，使用硫酸铜溶液。此外，在镀覆液ps中可以含有规定的添加剂。
61.在镀覆槽10的内部配置有阳极11。阳极11的具体种类没有特别限定，能够使用溶解阳极、不溶解阳极。在本实施方式中，作为阳极11的一个例子，使用不溶解阳极。该不溶解阳极的具体种类没有特别限定，能够使用铂、氧化铱等。
62.在镀覆槽10的内部，在比阳极11靠上方配置有隔膜12。具体而言，隔膜12配置于阳极11与基板wf之间的部位。镀覆槽10的内部被隔膜12沿上下方向分割为两部分。将被划分于比隔膜12靠下方侧的区域称为阳极室13。将比隔膜12靠上方侧的区域称为阴极室14。上述阳极11配置于阳极室13。隔膜12由允许金属离子的通过，并且抑制镀覆液ps所含的添加剂的通过的膜构成。隔膜12的具体种类没有特别限定，例如能够使用离子交换膜等。
63.在阴极室14配置有离子电阻体15。具体而言，离子电阻体15由具有贯通离子电阻体15的上表面和下表面的多个孔(细孔)的多孔性的板部件构成。离子电阻体15是为了实现在阳极11与基板wf之间形成的电场的均匀化而设置的部件。离子电阻体15的具体材质没有特别限定，在本实施方式中，作为一个例子，使用聚醚醚酮等树脂。此外，镀覆模块400的结构不限定于此，例如，镀覆模块400也能够采用不具备离子电阻体15的结构。
64.基板保持件20是用于保持作为阴极的基板wf的部件。基板wf的下表面相当于被镀覆面。基板保持件20与旋转机构30连接。旋转机构30是用于使基板保持件20旋转的机构。作为旋转机构30，能够使用旋转马达等公知的机构。旋转机构30与升降机构32连接。升降机构32由沿上下方向延伸的支轴36支承。升降机构32是用于使基板保持件20、旋转机构30以及倾斜机构34沿上下方向升降的机构。作为升降机构32，能够使用直动式的致动器等公知的升降机构。倾斜机构34是用于使基板保持件20及旋转机构30倾斜的机构。作为倾斜机构34，能够使用活塞缸等公知的倾斜机构。
65.在执行镀覆处理时，旋转机构30使基板保持件20旋转，并且升降机构32使基板保持件20向下方移动，使基板wf浸渍于镀覆槽10的镀覆液ps。接着，通过通电装置(未图示)，使电流在阳极11与基板wf之间流动。由此，在基板wf的下表面形成镀膜(即，实施镀覆处理)。此外，在执行镀覆处理时，倾斜机构34也可以根据需要使基板保持件20倾斜。
66.排气机构80是用于将框体70的内部的空气排出到框体70的外部的机构。只要是这样的机构，则排气机构80的具体结构没有特别限定，本实施方式所涉及的排气机构80作为一个例子，具备一端与框体70连接的排气管81、和与排气管81连接的排气泵82。
67.具体而言，本实施方式所涉及的排气管81的排气流动方向上游侧的端部与框体70的内部连通，排气管81的下游侧的端部与框体70的外部连通。更具体而言，本实施方式所涉及的排气管81的下游侧的端部配置于镀覆装置1000的外部(镀覆装置1000的框体的外部)。
排气泵82接受控制模块800的指令而进行动作。通过排气泵82开始运转，从而框体70的内部的空气经过排气管81并排出到框体70的外部(在本实施方式中为镀覆装置1000的外部)。由此，能够使框体70的内部的压力成为比框体70的外部的压力低的“负压”。在本实施方式中，该负压具体而言为比大气压低的压力。
68.此外，框体70中的与排气机构80连接的部位以外的部位可以被密闭。或者，框体70也可以在与排气机构80连接的部位以外的部位设置间隙、开口部(即，也可以不密闭框体70)。这样，即使在框体70未被密闭的情况下，也能够通过排气机构80使框体70的内部成为负压。
69.控制模块800具备微型计算机，该微型计算机具备作为处理器的cpu(central processing unit：中央处理器)801、作为非暂时性存储介质的存储部802等。在控制模块800中，cpu801基于存储于存储部802的程序的指令，控制镀覆模块400的动作。
70.接着，对冲洗模块40进行说明。图4是用于说明冲洗模块40的示意图。具体而言，图4示意性地表示冲洗模块40执行冲洗处理的状态。图5是冲洗模块40的示意性俯视图。此外，在图5中，省略了后述的冲洗喷嘴41的图示。另外，在图5的一部分(a2)还图示了后述的吹气喷嘴42的吹出口44的附近部分的立体图。
71.冲洗模块40是能够对基板wf及基板保持件20的至少一方亦即“被冲洗部件25”实施冲洗处理的模块。本实施方式所涉及的被冲洗部件25作为一个例子，包括基板wf及基板保持件20两者。另外，本实施方式所涉及的冲洗处理具体而言是利用冲洗液rl对包括实施了镀覆处理后的基板wf的被冲洗部件25进行冲洗的处理。
72.冲洗液rl的具体种类没有特别限定，在本实施方式中作为一个例子，使用纯水。
73.参照图4，在执行冲洗处理时，基板保持件20位于比镀覆槽10靠上方的位置。另外，在执行冲洗处理时，基板保持件20旋转。另外，在执行冲洗处理时，基板保持件20相对于水平方向倾斜。具体而言，在执行冲洗处理时，基板保持件20倾斜为使被冲洗部件25的被冲洗面(冲洗液rl附着的面)朝向后述的冲洗喷嘴41。
74.冲洗模块40具备冲洗喷嘴41、吹气喷嘴42、支承部件43以及回收部件50。支承部件43是用于支承冲洗喷嘴41及吹气喷嘴42的部件。支承部件43配置于基板保持件20升降的区域亦即“升降区域ea”的外侧的区域。
75.冲洗喷嘴41在执行冲洗处理时朝向被冲洗部件25喷出冲洗液rl。在本实施方式中，作为冲洗喷嘴41的一个例子，使用以广角喷出冲洗液rl的方式构成的喷雾式的液体喷出喷嘴。
76.用于向冲洗喷嘴41供给冲洗液rl的冲洗液供给装置(未图示)连接于冲洗喷嘴41。该冲洗液供给装置具备存积冲洗液rl的存积槽、将存积槽的冲洗液rl向冲洗喷嘴41压送的泵等。冲洗喷嘴41喷出冲洗液rl的动作由控制模块800控制。
77.另外，本实施方式所涉及的冲洗喷嘴41在执行冲洗处理时，其喷出角度被调整为使冲洗液rl附着于正在旋转的基板wf的整个下表面。具体而言，冲洗喷嘴41以使冲洗液rl附着于从基板wf的下表面的中央到基板wf的下表面的外缘的方式喷出冲洗液rl。由此，能够使冲洗液rl附着于正在旋转的基板wf的整个下表面。另外，冲洗喷嘴41也使冲洗液rl附着于基板保持件20中的配置于基板wf的外缘的外侧的部分。由此，不仅基板wf的下表面，而且基板保持件20的一部分也能够通过冲洗液rl进行冲洗。
78.吹气喷嘴42配置于比冲洗喷嘴41靠下方的位置。吹气喷嘴42构成为在执行冲洗处理时，以横穿镀覆槽10与基板保持件20之间的空间(即，比镀覆槽10靠上方且比基板保持件20靠下方的空间)的方式吹出气体ga。另外，本实施方式所涉及的吹气喷嘴42作为一个例子，向水平方向(－x方向)吹出气体ga。
79.参照图4及图5，在本实施方式中，作为吹气喷嘴42的一个例子，使用构成为将气体ga呈膜状吹出的狭缝喷嘴。具体而言，如图5的a2部分的立体图所示，本实施方式所涉及的吹气喷嘴42具有沿水平方向(在图5中为y方向)延伸的狭缝状的吹出口44。通过从该吹出口44向－x方向吹出气体ga，所吹出的气体ga成为以y方向为宽度方向的膜状。此外，作为该吹气喷嘴42的狭缝喷嘴通常是别称为“气刀”的喷嘴。
80.但是，吹气喷嘴42的结构不限定于上述那样的狭缝喷嘴。列举吹气喷嘴42的其他例子，如图11所例示的那样，吹气喷嘴42也可以构成为具备在水平方向(y方向)上呈列状配置的多个吹出口44，从各个吹出口44吹出气体ga。
81.另外，本实施方式所涉及的吹气喷嘴42以使气体ga通过位于倾斜的基板保持件20的最下方的“最下点p3”之下的方式吹出气体ga。该最下点p3是附着于基板保持件20的冲洗液rl从基板保持件20最容易落下的部位。根据该结构，能够使从基板保持件20落下的冲洗液rl有效地随着气体ga的流动。
82.用于向吹气喷嘴42供给气体ga的气体供给装置(未图示)连接于吹气喷嘴42。该气体供给装置具备用于将气体向吹气喷嘴42压送的泵等。吹气喷嘴42吹出气体ga的动作由控制模块800控制。
83.此外，本实施方式所涉及的气体ga作为一个例子是空气。但是，气体ga的种类不限定于此，列举其他例子，也能够使用氮或氩等惰性气体。在该情况下，气体供给装置例如只要具备存积惰性气体的储气瓶等即可。
84.如图4所示，冲洗喷嘴41及吹气喷嘴42由配置于升降区域ea的外侧的支承部件43支承。即，冲洗喷嘴41及吹气喷嘴42固定于升降区域ea的外侧。
85.参照图4及图5，在俯视时，冲洗喷嘴41及吹气喷嘴42隔着基板保持件20的中央c1(这也是升降区域ea的中央c1)配置于基板保持件20的最下点p3的相反侧的部位。
86.回收部件50配置于从吹气喷嘴42吹出的气体ga的下游侧。回收部件50构成为对从冲洗喷嘴41喷出并附着于被冲洗部件25之后从被冲洗部件25落下而随着气体ga的流动的冲洗液rl进行回收。
87.具体而言，回收部件50配置为隔着升降区域ea与吹气喷嘴42对置。另外，参照图4的a1部分的放大图或图5，回收部件50具备导管部件51、收容部件52以及排出管57。
88.导管部件51由配置为与随着气体ga的流动的冲洗液rl碰撞，并且将碰撞的冲洗液rl导向收容部件52的板部件构成。本实施方式所涉及的导管部件51配置为从收容部件52的后述的侧壁54(具体而言，后述的外侧侧壁56)的上端向上方延伸。
89.收容部件52是构成为暂时收容与导管部件51碰撞后沿着导管部件51落下的冲洗液rl的部件。具体而言，本实施方式所涉及的收容部件52具备底壁53、和从底壁53的外周缘向上方延伸的侧壁54。在由该底壁53和侧壁54划分出的内部区域中，暂时存积与导管部件51碰撞后的冲洗液rl。
90.此外，在侧壁54中，将在基板保持件20的径向上靠近基板保持件20的中央的一侧
的侧壁称为“内侧侧壁55”，将与该内侧侧壁55对置并且配置于比内侧侧壁55在基板保持件20的径向上远离基板保持件20的中央的一侧的侧壁称为“外侧侧壁56”。
91.排出管57连接于收容部件52。排出管57是用于将暂时收容于收容部件52的冲洗液rl向外部排出的管。具体而言，本实施方式所涉及的排出管57的上游侧端部与收容部件52连接，下游侧端部与排液回收槽(未图示)连接。暂时收容于收容部件52的冲洗液rl通过该排出管57而收容于排液回收槽。此外，本实施方式所涉及的排液回收槽配置于框体70的外部(具体而言，镀覆装置1000的外部)，但排液回收槽的配置部位不限定于此。
92.图6是用于说明冲洗处理时的镀覆装置1000的动作的流程图的一例。图6的流程图由控制模块800的具体而言为cpu801基于存储部802的程序的指令来执行。
93.控制模块800在接收到开始执行冲洗处理的意思的控制指令亦即“冲洗处理执行开始指令”的情况下开始进行图6的流程图。在接收到该冲洗处理执行开始指令的情况下，控制模块800控制升降机构32以使基板保持件20位于比镀覆槽10靠上方，控制倾斜机构34以使基板保持件20相对于水平方向倾斜，并控制旋转机构30以使基板保持件20旋转。由此，在基板保持件20位于比镀覆槽10靠上方，相对于水平方向倾斜且旋转的状态下，执行后述的步骤s10、步骤s20。
94.另外，控制模块800在接收到冲洗处理执行开始指令的情况下，使排气机构80的排气泵82开始运转。由此，在执行冲洗处理时(具体而言，在执行后述的步骤s10、步骤s20时)，能够使框体70的内部成为负压。其结果，能够抑制含有化学物质的雾、颗粒等从框体70的内部向外部漏出而附着于镀覆装置1000的其他构成要素(例如输送装置700等)。
95.控制模块800在步骤s10所涉及的第一工序中，开始从冲洗喷嘴41朝向被冲洗部件25喷出冲洗液rl。具体而言，控制模块800通过使上述的泵(用于将冲洗液rl向冲洗喷嘴41压送的泵)进行工作，而开始从冲洗喷嘴41喷出冲洗液rl。
96.控制模块800在执行该步骤s10所涉及的冲洗液rl的喷出的过程中，执行步骤s20所涉及的第二工序。在该第二工序中，控制模块800开始从吹气喷嘴42吹出气体ga。具体而言，控制模块800通过使上述的泵(用于将气体ga向吹气喷嘴42压送的泵)进行工作，而开始从吹气喷嘴42吹出气体ga。
97.在该第二工序中，从被冲洗部件25落下而随着气体ga的流动的冲洗液rl被回收部件50回收。通过以上的工序，执行冲洗处理。
98.根据以上说明的本实施方式，在执行冲洗处理时，通过从冲洗喷嘴41朝向被冲洗部件25喷出冲洗液rl，能够对被冲洗部件25进行冲洗。另外，能够使从该被冲洗部件25落下的冲洗液rl随着从吹气喷嘴42吹出的气体ga的流动，并由回收部件50回收。由此，能够抑制冲洗液rl大量进入镀覆槽10的镀覆液ps中。其结果，能够抑制因冲洗液rl而导致镀覆槽10的镀覆液ps过于稀释。
99.此外，在本实施方式中，在执行冲洗处理时基板保持件20倾斜，但不限定于该结构。在执行冲洗处理时，基板保持件20也可以不倾斜而成为水平的状态。即，在该情况下，在由基板保持件20保持的基板wf的下表面为水平的状态下，执行冲洗处理。
100.另外，在步骤s10中冲洗喷嘴41开始喷出冲洗液rl的时期也可以比在步骤s20中吹气喷嘴42开始吹出气体ga的时期早。
101.根据该结构，能够使在从吹气喷嘴42吹出气体ga之前从冲洗喷嘴41喷出并附着于
被冲洗部件25后从被冲洗部件25落下的冲洗液rl(即，喷出开始初期的冲洗液rl)返回到镀覆槽10。由此，能够使附着于被冲洗部件25的镀覆液ps与冲洗液rl一起返回到镀覆槽10。其结果，能够实现“不返回镀覆槽10而废弃的镀覆液ps的量”的减少。另一方面，在从吹气喷嘴42吹出气体ga之后，能够利用回收部件50回收从被冲洗部件25落下的冲洗液rl，因此能够抑制冲洗液rl大量进入镀覆槽10的镀覆液ps中。
102.此外，在这种情况下，将冲洗液rl的喷出开始时期与气体ga的吹出开始时期相比，提前到何种程度优选基于从镀覆槽10蒸发的水的量来决定。举出该具体例如下。
103.例如，在从镀覆槽10蒸发的水的量为每小时n(l)的情况(即，n(l/hr)的情况)下，当从冲洗喷嘴41喷出后进入镀覆槽10的冲洗液rl的量为n(l/hr)以下时，能够抑制冲洗液rl大量进入镀覆槽10的镀覆液ps中(此外，n是比零大的值)。因此，在从冲洗喷嘴41喷出后进入镀覆槽10的冲洗液rl的量为n(l/hr)以下的范围内，只要以冲洗液rl的喷出开始时期比气体ga的吹出开始时期早的方式设定冲洗液rl的喷出开始时期即可。这样的优选的冲洗液rl的喷出开始时期例如只要通过进行实验、模拟等来适当决定即可。
104.另外，如上所述，在设定冲洗液rl的喷出开始时期时，除了从镀覆槽10蒸发的水的量之外，优选还考虑镀覆处理的每小时的执行次数(次数/hr)。列举该具体例，例如假设使用一个镀覆槽10，每小时执行两次镀覆处理(即，在该情况下，使用一个镀覆槽10，每小时对两张基板wf执行镀覆处理)。在该情况下，在通过执行两次镀覆处理而进入镀覆槽10的冲洗液rl的合计量为n(l/hr)以下的范围内，只要以冲洗液rl的喷出开始时期比气体ga的吹出开始时期早的方式设定冲洗液rl的喷出开始时期即可。
105.另外，排气机构80也可以使吹气喷嘴42吹出气体ga的期间的排气流量(即，排出的空气的流量(mm3/sec))比吹气喷嘴42开始吹出气体ga之前的时刻的排气流量(mm3/sec)高。具体而言，在该情况下，控制模块800只要使吹气喷嘴42吹出气体ga的期间的排气机构80的排气泵82的转速(rpm)比吹气喷嘴42开始吹出气体ga之前的时刻的排气泵82的转速(rpm)增大即可。
106.根据该结构，在吹气喷嘴42吹出气体ga的期间，能够有效地使框体70的内部成为负压，因此能够有效地抑制含有化学物质的雾、颗粒等从框体70的内部向外部漏出。
107.另外，从吹气喷嘴42吹出的气体ga所含的水蒸气的量(g/m3)也可以为框体70的内部的空气所含的水蒸气的量(g/m3)以上。具体而言，在该情况下，例如在用于向吹气喷嘴42供给气体ga的气体供给装置附加加湿器，将经由该加湿器的气体ga从吹气喷嘴42吹出，由此能够使从吹气喷嘴42吹出的气体ga所含的水蒸气的量比框体70的内部的空气所含的水蒸气的量多。
108.根据该结构，与例如从吹气喷嘴42吹出的气体ga所含的水蒸气的量比框体70的内部的空气所含的水蒸气的量少的情况相比，能够使被冲洗部件25不易干燥。
109.接着，对上述实施方式的变形例进行说明。此外，在以下的变形例的说明中，有时对与上述实施方式相同或对应的结构标注相同的附图标记并适当省略说明。
110.(变形例1)
111.图7是实施方式的变形例1所涉及的冲洗模块40a的示意性俯视图。此外，在图7中，省略了冲洗喷嘴41的图示。本变形例所涉及的冲洗模块40a在俯视时，吹气喷嘴42配置于比基板保持件20的中央c1(升降区域ea的中央c1)靠近倾斜的状态的基板保持件20的最下点
p3的一侧。即，本变形例所涉及的吹气喷嘴42配置于倾斜的状态的基板保持件20的最下点p3的附近部位。在这一点上，本变形例所涉及的冲洗模块40a与上述的图5所示的冲洗模块40不同。
112.在本变形例中，也能够起到与上述实施方式相同的作用效果。
113.(变形例2)
114.图8是用于说明实施方式的变形例2所涉及的冲洗模块40b的示意图。具体而言，图8示意性地表示本变形例所涉及的冲洗模块40b执行冲洗处理的状态。本变形例所涉及的冲洗模块40b在还具备移动机构60这一点、具备冲洗喷嘴41b来代替冲洗喷嘴41这一点、具备吹气喷嘴42b来代替吹气喷嘴42这一点、以及具备回收部件50b来代替回收部件50这一点上，与上述的图4所示的冲洗模块40不同。
115.图9是本变形例所涉及的冲洗模块40b的示意性俯视图。参照图8及图9，移动机构60构成为使冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b在升降区域ea的外侧的“第一位置p1”与升降区域ea的内侧的“第二位置p2”之间移动。
116.具体而言，移动机构60具备臂61、臂62以及旋转轴63。臂61的一端与冲洗喷嘴41b连接，另一端与旋转轴63连接。臂62的一端与吹气喷嘴42b连接，另一端与旋转轴63中的比连接有臂61的部位靠下方的部位连接。
117.旋转轴63是臂61及臂62的旋转轴，配置于升降区域ea的外侧。另外，旋转轴63沿上下方向(铅垂方向)延伸。旋转轴63与旋转马达等致动器(未图示)连接，并由该致动器旋转驱动。该致动器的动作由控制模块800控制。
118.本变形例所涉及的冲洗模块40b通过由控制模块800控制，在冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b位于第二位置p2的状态下执行冲洗处理。具体而言，本变形例所涉及的控制模块800在接收到上述的冲洗处理执行开始指令的情况下，使旋转轴63旋转，使冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b位于第二位置p2。这样，在冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b位于第二位置p2的状态下，开始从冲洗喷嘴41b喷出冲洗液rl、以及从吹气喷嘴42b吹出气体ga。
119.另一方面，冲洗模块40b在冲洗处理的执行前或者冲洗处理的执行后，使冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b移动至第一位置p1。具体而言，控制模块800在接收冲洗处理执行开始指令之前(冲洗处理的执行前)或者接收到冲洗处理的执行结束指令的情况下(冲洗处理的执行后)，使旋转轴63旋转，使冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b返回到第一位置p1。即，该第一位置p1也能够称为退避位置。
120.这样，在冲洗处理的执行前或者冲洗处理的执行后，冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b移动至第一位置p1，由此在不执行冲洗处理的情况下，能够抑制冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b进入基板保持件20的升降区域ea。
121.如图8所示，冲洗喷嘴41b在位于第二位置p2的情况下，位于被冲洗部件25的下方。作为该一个例子，本变形例所涉及的冲洗喷嘴41b在第二位置p2位于基板保持件20的中央c1的下方。而且，冲洗喷嘴41b在第二位置p2朝向位于冲洗喷嘴41b的上方的被冲洗部件25喷出冲洗液rl。
122.本变形例所涉及的吹气喷嘴42b在位于第二位置p2的情况下，也位于被冲洗部件25的下方。作为该一个例子，本变形例所涉及的吹气喷嘴42b在第二位置p2位于基板保持件20的中央c1的下方。
123.另外，如图8及图9所示，吹气喷嘴42b在俯视时，以吹气喷嘴42b为起点而将气体ga呈放射状吹出。具体而言，如图8的a3部分的放大图所示，本变形例所涉及的吹气喷嘴42b具有圆柱状的外观形状。而且，吹气喷嘴42b的多个吹出口44在该圆柱状的吹气喷嘴42b的外周面42a上沿周向排列。通过该结构，吹气喷嘴42b的多个吹出口44将气体ga呈放射状吹出。
124.如图9所示，本变形例所涉及的回收部件50b设置为在俯视时整体覆盖升降区域ea的外周。具体而言，回收部件50b的收容部件52b的内侧侧壁55b在俯视时整体覆盖升降区域ea的外周。另外，回收部件50b的导管部件51b在俯视时，配置于比内侧侧壁55b靠基板保持件20的径向上外侧，且整体覆盖内侧侧壁55b的外周。
125.此外，在本变形例所涉及的导管部件51b的一部分设置有供臂61贯通的槽孔(槽状的孔)以及供臂62贯通的槽孔。由此，能够抑制当冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b在第一位置p1与第二位置p2之间移动时，臂61及臂62碰到导管部件51b。
126.但是，不限定于上述结构。例如，臂62也可以配置为通过比回收部件50b靠下方(具体而言，比回收部件50b的底壁53靠下方)。在该情况下，导管部件51b也可以不具备上述的臂62用的槽孔。
127.与此相同，臂61也可以配置为通过比回收部件50b靠下方(具体而言，比底壁53靠下方)。在该情况下，导管部件51b也可以不具备上述的臂61用的槽孔。
128.另外，参照图9，本变形例所涉及的回收部件50b的收容部件52b不仅配置为能够收容与导管部件51b碰撞后落下的冲洗液rl，还配置为收容部件52b的底壁53位于处于第一位置p1的冲洗喷嘴41b的下方。由此，即使在冲洗喷嘴41b位于第一位置p1的状态下冲洗液rl从冲洗喷嘴41b滴下的情况下，也能够由收容部件52b收容该滴下的冲洗液rl。
129.在本变形例中，也能够起到与上述实施方式相同的作用效果。具体而言，在执行冲洗处理时，通过在冲洗模块40b的冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b位于第二位置p2的状态下从冲洗喷嘴41b朝向被冲洗部件25喷出冲洗液rl，由此能够对被冲洗部件25进行冲洗。另外，能够使从该被冲洗部件25落下的冲洗液rl随着从吹气喷嘴42b吹出的气体ga的流动，并由回收部件50b回收。由此，能够抑制冲洗液rl大量进入镀覆槽10的镀覆液ps中。
130.此外，在图8所例示的执行冲洗处理时，基板保持件20不倾斜，但不限定于该结构。在本变形例中，在执行冲洗处理时，基板保持件20也可以相对于水平方向倾斜。
131.另外，在本变形例中，冲洗喷嘴41b及吹气喷嘴42b两者都在第一位置p1与第二位置p2之间移动，但不限定于该结构。列举其他例子，也可以是吹气喷嘴42b在第一位置p1与第二位置p2之间移动，而冲洗喷嘴41b不移动，如上述实施方式所涉及的冲洗喷嘴41(图4)那样，固定于升降区域ea的外侧。
132.或者，也可以是冲洗喷嘴41b在第一位置p1与第二位置p2之间移动，而吹气喷嘴42b不移动，如上述实施方式所涉及的吹气喷嘴42(图4)那样，固定于升降区域ea的外侧。
133.(变形例3)
134.图10是实施方式的变形例3所涉及的冲洗模块40c的示意性俯视图。本变形例所涉及的冲洗模块40c在吹气喷嘴42通过移动机构60而在第一位置p1与第二位置p2之间移动这一点上，与上述的图5所例示的冲洗模块40不同。
135.即，在本变形例中，冲洗喷嘴41如上述图4所例示的那样，通过支承部件43固定于升降区域ea的外侧，而吹气喷嘴42如图10所例示的那样，在第一位置p1与第二位置p2之间
移动。
136.在本变形例中，也能够起到与上述实施方式、变形例2相同的作用效果。
137.以上，对本发明的实施方式、变形例进行了详细叙述，但本发明不限定于上述特定的实施方式、变形例，在权利要求书所记载的本发明的主旨的范围内，能够进行各种变形
·
变更。
138.附图标记说明
139.10
…
镀覆槽；11
…
阳极；20
…
基板保持件；30
…
旋转机构；32
…
升降机构；34
…
倾斜机构；40
…
冲洗模块；41
…
冲洗喷嘴；42
…
吹气喷嘴；50
…
回收部件；70
…
框体；80
…
排气机构；400
…
镀覆模块；1000
…
镀覆装置；wf
…
基板；ps
…
镀覆液；rl
…
冲洗液；ga
…
气体；ea
…
升降区域；p1
…
第一位置；p2
…
第二位置。