一种可调混合设备和可调混合方法与流程

技术特征：
1.一种可调混合设备，其特征在于，包括：第一支路、第二支路以及分别连通所述第一支路和所述第二支路的混液主路；所述第一支路用于向所述混液主路提供混合溶液，所述混合溶液的浓度为初始浓度；所述第二支路用于向所述混液主路提供稀释剂；所述混液主路用于利用所述稀释剂将所述混合溶液的浓度稀释至目标浓度。2.根据权利要求1所述的可调混合设备，其特征在于，所述可调混合设备还包括加热器，用于根据所述混合溶液的目标温度，加热所述第一支路、所述第二支路、所述混液主路中至少一种，使得所述混液主路内的混合溶液达到所述目标温度。3.根据权利要求1所述的可调混合设备，其特征在于，所述可调混合设备还包括设在所述第一支路的加热器，用于根据所述混合溶液的目标温度，加热所述第一支路内的混合溶液；或，所述可调混合设备还包括设在所述第二支路的加热器，用于根据所述混合溶液的目标温度，加热所述第二支路内的混合溶液；或，所述可调混合设备还包括设在所述混液主路的加热器，用于根据所述混合溶液的目标温度，加热所述混液主路内的混合溶液。4.根据权利要求1～3任一项所述的可调混合设备，其特征在于，所述第一支路包括第一液体混合装置。5.根据权利要求4所述的可调混合设备，其特征在于，所述第一液体混合装置包括第一混合容器以及设在所述第一混合容器上的供应管道；所述第一混合容器用于容纳第一液体；所述供应管道用于向所述第一混合容器内供应第二液体。6.根据权利要求5所述的可调混合设备，其特征在于，所述第一液体为稀氢氟酸，所述第二液体为氢氟酸；或，所述第一液体为缓冲氧化物刻蚀液，所述第二液体为氟化铵和氟化氢的水溶液；或，所述第一液体为lal溶液，所述第二液体为氟化铵和氟化氢形成的水溶液。7.根据权利要求1～3任一项所述的可调混合设备，其特征在于，所述第二支路包括溶剂供给装置和流量调节装置，所述流量调节装置设在所述溶剂供给装置的出口，所述溶剂供给装置用于容纳所述稀释剂。8.根据权利要求7所述的可调混合设备，其特征在于，所述稀释剂含有水、界面活性剂中一种或两种。9.一种可调混合方法，其特征在于，应用权利要求1～8任一项所述的可调混合设备，所述可调混合方法包括：获取第一支路向混液主路提供的混合溶液的浓度；所述混合溶液的浓度为初始浓度；根据所述初始浓度和目标浓度控制第二支路向所述混液主路提供的稀释剂，使得所述混液主路利用所述稀释剂将所述混合溶液的浓度稀释至所述目标浓度。10.根据权利要求9所述的可调混合方法，其特征在于，当所述可调混合设备为权利要求2所述的可调混合设备；根据所述初始浓度和目标浓度控制第二支路向所述混液主路提供的稀释剂后，所述可调混合方法还包括：当所述混液主路内的混合溶液的温度小于目标温度时，根据混合溶液的目标温度控制
加热器加热所述混液主路内的混合溶液。11.根据权利要求9所述的可调混合方法，其特征在于，当所述可调混合设备为权利要求7所述的可调混合设备，根据所述初始浓度和目标浓度控制第二支路向所述混液主路提供的稀释剂包括：当所述初始浓度大于所述目标浓度时，根据所述初始浓度和所述目标浓度确定稀释剂的添加量；根据所述稀释剂的添加量控制溶剂供给装置的打开时长以及流量调节装置调节稀释剂流量；当所述初始浓度小于或等于所述目标浓度时，关闭溶剂供给装置。

技术总结
本发明公开一种可调混合设备和可调混合方法，涉及半导体技术领域，以通过在一个可调混合设备中获得不同浓度的化学药品。所述可调混合设备包括：第一支路、第二支路以及分别连通第一支路和第二支路的混液主路；第一支路用于向混液主路提供混合溶液，混合溶液的浓度为初始浓度；第二支路用于向混液主路提供稀释剂；混液主路用于利用稀释剂将混合溶液的浓度稀释至目标浓度。所述可调混合方法应用上述可调混合设备。本发明提供的可调混合方法用于获得不同浓度的化学药品。得不同浓度的化学药品。得不同浓度的化学药品。


技术研发人员：李春雨 南昌铉 胡艳鹏 李琳 卢一泓
受保护的技术使用者：真芯（北京）半导体有限责任公司
技术研发日：2021.01.07
技术公布日：2022/7/12