一种柱状靶材水冷旋转单元的制作方法

技术特征：
1.一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，包括：壳体(10)；水冷单元(20)，可转动地设置在所述壳体(10)中，靶材(1)设置在所述水冷单元(20)端部；旋转驱动单元(30)，设置在所述水冷单元(20)上，所述旋转驱动单元(30)用于驱动所述水冷单元(20)转动进而带动靶材(1)转动；以及通电单元(40)，设置在所述壳体(10)上并与所述水冷单元(20)电连接。2.根据权利要求1所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述水冷单元(20)包括：冷水输入管(21)，设置在所述壳体(10)上；水冷轴(22)，可转动地设置在所述壳体(10)中，所述水冷轴(22)内部设有水冷腔(221)，所述水冷腔(221)的一端与所述冷水输入管(21)连通；冷却套管(23)，可转动地设置在所述壳体(10)中，所述冷却套管(23)套设在所述水冷轴(22)上，所述冷却套管(23)内壁与所述水冷轴(22)外壁之前具有一回水腔(231)，所述回水腔(231)与所述水冷腔(221)连通；靶材夹持盖(24)，设置在所述冷却套管(23)的一端，所述靶材夹持盖(24)上设有固定孔(241)，靶材(1)的阴极插设在所述固定孔(241)的一端，所述水冷轴(22)靠近所述靶材夹持盖(24)一端开设有流通槽(222)，所述流通槽(222)连通所述回水腔(231)与所述水冷腔(221)，所述固定孔(241)的另一端与所述流通槽(222)连通；热水回水管(25)，设置在所述壳体(10)上并与所述冷却套管(23)连通；以及密封组件(26)，用于防止冷却液流出。3.根据权利要求2所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述水冷轴(22)上设有若干进水孔(223)，若干所述进水孔(223)沿所述水冷轴(22)周向环形排布且位于所述冷水输入管(21)的出水口，所述水冷轴(22)上还套设有支撑环(27)，所述支撑环(27)抵顶在所述冷却套管(23)内壁上，所述支撑环(27)上开设有若干导流孔(271)。4.根据权利要求2所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述旋转驱动单元(30)包括：支撑组件(31)，连接所述壳体(10)与所述水冷单元(20)；以及驱动组件(32)，设置在所述水冷单元(20)上，所述驱动组件(32)用于驱动所述水冷单元(20)转动。5.根据权利要求4所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述密封组件(26)包括若干第一密封环(261)、若干第二密封环(262)以及若干第三密封环(263)，若干所述第一密封环(261)套设在所述水冷轴(22)上且位于所述冷水输入管(21)的一侧，所述第一密封环(261)用于防止所述冷水输入管(21)中的冷却液向所述壳体(10)外泄露，若干所述第二密封环(262)套设在所述冷却套管(23)上且位于所述热水回水管(25)的一侧，所述第二密封环(262)用于防止所述热水回水管(25)和所述回水腔(231)中的水想所述壳体(10)内泄露，若干所述第三密封环(263)套设在所述水冷轴(22)上且位于所述冷水输入管(21)和所述热水回水管(25)之间，所述第三密封环(263)用于冷水输入管(21)和所述热水回水管(25)中的冷却液接触混合。
6.根据权利要求4所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述支撑组件(31)包括若干第一支撑轴承(311)以及若干第二支撑轴承(312)，若干所述第一支撑轴承(311)的内圈套设在所述水冷轴(22)上，若干所述第一支撑轴承(311)的外圈抵顶在所述壳体(10)内壁上，若干所述第二支撑轴承(312)的内圈套设在所述冷却套管(23)上，若干所述第二支撑轴承(312)的外圈抵顶在所述壳体(10)内壁上。7.根据权利要求6所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述第二支撑轴承(312)的轴承外圈和所述壳体(10)内壁之间设有一层绝缘垫(313)，所述绝缘垫(313)用于防止所述壳体(10)带电。8.根据权利要求4所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述驱动组件(32)为第一驱动环(321)，所述第一驱动环(321)套设在所述冷却套管(23)上，所述第一驱动环(321)用于啮合动力输出设备，带动所述冷却套管(23)转动。9.根据权利要求8所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述驱动组件(32)还包括第二驱动环(322)，所述第二驱动环(322)套设在所述水冷轴(22)上，所述第二驱动环(322)用于啮合动力输出设备，带动所述水冷轴(22))转动。10.根据权利要求1所述的一种柱状靶材水冷旋转单元，其特征在于，所述通电单元(40)包括：碳刷安装架(41)，设置在所述壳体(10)上；刷架(42)，可调节地设置在所述碳刷安装架(41)；碳刷(43)，活动设置在所述刷架(42)中，所述碳刷(43)的一端抵顶在所述水冷单元(20)上；以及弹性件(44)，抵顶在所述碳刷(43)远离所述水冷单元(20)的一端，所述弹性件(44)用于抵顶所述碳刷(43)向所述水冷单元(20)运动。

技术总结
本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元，涉及靶材冷却设备技术领域，能够在为柱状靶材提供旋转驱动以及供电的同时，还能够保证冷却效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水冷单元在旋转驱动单元的驱动下，可以带动靶材旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷单元，为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的充分接触，使得靶材的散热面积增加，加强散热效果。效果。效果。


技术研发人员：周磊 窦沛静 丁媛
受保护的技术使用者：四川艾庞机械科技有限公司
技术研发日：2022.03.03
技术公布日：2022/7/9