研磨装置及研磨方法与流程

技术特征：
1.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨部，所述研磨部具备研磨轮部、旋转部，所述旋转部相对于所述研磨轮部的旋转中心轴向所述研磨轮部传递旋转动力；以及驱动单元，所述驱动单元控制所述研磨部的线性运动，其中，所述驱动单元包括：驱动本体部，所述驱动本体部产生线性动力；移动部，所述移动部引导所述研磨部的移动路径；以及连杆部，所述连杆部连接所述驱动本体部与所述移动部，向所述研磨部传递线性动力。2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述驱动本体部包括：驱动轴，所述驱动轴沿一个方向延伸形成，两端部的位置被固定；致动器，所述致动器能够与所述驱动轴相对移动；以及驱动传递部，所述驱动传递部配置于所述驱动轴或所述致动器中任一个与所述连杆部之间。3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述驱动单元还包括：底座部，所述底座部供所述驱动本体部和所述移动部安装。4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述移动部包括：引导杆，所述引导杆沿一个方向延伸形成，两端部的位置被固定；衬套部，所述衬套部能够在所述引导杆上线性移动；以及移动板，所述移动板与所述衬套部、所述连杆部和所述研磨部连接，使所述研磨部移动。5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述移动部还包括：气体供应部，所述气体供应部与所述衬套部连通，从外部向所述衬套部的内侧供应气体。6.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述连杆部包括：第一连杆，所述第一连杆与所述驱动本体部连接；第二连杆，所述第二连杆与所述移动部连接；以及接触力传感器部，所述接触力传感器部配置于所述第一连杆与所述第二连杆之间，测量研磨部对研磨对象体的力。7.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨部还包括：倾斜部，所述倾斜部调节所述研磨轮部的旋转中心轴的倾斜度。8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨轮部包括：缓冲部，所述缓冲部在内部以所述研磨轮部的旋转中心轴为基准沿着外周形成，以弹性材质形成。9.一种研磨方法，其特征在于，包括：输入为了研磨研磨对象体而施加于研磨部的力的设定值的步骤；驱动单元产生线性动力并传递给所述研磨部的步骤；测量研磨过程中所述研磨部与所述研磨对象体之间的接触力的步骤；
比较接触力的测量值与所述设定值的步骤；以及控制所述驱动单元的驱动以使所述测量值与所述设定值之间的差异满足既定范围以内的步骤，其中，所述驱动单元包括产生线性动力的驱动本体部、引导所述研磨部的移动路径的移动部、连接所述驱动本体部与所述移动部并向所述研磨部传递线性动力的连杆部。10.根据权利要求9所述的研磨方法，其特征在于，还包括：向所述移动部供应气体的步骤。

技术总结
本发明的一实施例提供一种研磨装置及研磨方法，所述研磨装置的特征在于，包括：研磨部，所述研磨部具备研磨轮部、旋转部，所述旋转部相对于研磨轮部的旋转中心轴向研磨轮部传递旋转动力；以及驱动单元，所述驱动单元控制研磨部的线性运动；其中，驱动单元包括：驱动本体部，驱动本体部产生线性动力；移动部，所述移动部引导研磨部的移动路径；连杆部，所述连杆部连接驱动本体部与移动部，向研磨部传递线性动力。动力。动力。


技术研发人员：韩政烈 康智勇 朴池勳 柳成坤
受保护的技术使用者：韩商未来股份有限公司
技术研发日：2022.01.04
技术公布日：2022/7/8