多功能组合式化学气相沉积装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体涉及多功能组合式化学气相沉积装置。


背景技术：

2.气相沉积分为物理气相沉积与化学气相沉积两种，其中化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的材料，而物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变。
3.例如公开号为cn211872084u的中国专利，其中提到了一种化学气相沉积装置，该专利通过感应线圈在电流的作用下产生变化的感应磁场通过置料板，使置料板产生感应电流发热，热量传递给衬底形成沉积所需要的温度，因为衬底处于感应磁场中，感应磁场吸引碳氢化合物裂解产生的自由基等粒子向衬底运动，增加了自由基等粒子与沉积表面的碰撞几率，从而使沉积速率得到了极大的提高，但是该专利在实际运用的过程中，由于长时间的高温与高压会导致成品的品质降低，为此我们提出了多功能组合式化学气相沉积装置。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了多功能组合式化学气相沉积装置，解决了由于长时间的高温与高压会导致成品的品质降低的问题。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
6.多功能组合式化学气相沉积装置，包括：工作台，所述工作台的顶面固定安装有反应箱，所述反应箱的一侧固定安装有蜂鸣警报器，所述工作台的顶面固定安装有plc控制器，所述蜂鸣警报器与plc控制器电性连接；保护组件，所述保护组件设置在所述反应箱的内部，用于保护沉积成品的品质。
7.通过采用上述技术方案，通过设置蜂鸣警报器，蜂鸣警报器可以在反应箱的内部温度较高时在plc控制器的控制下发出警报，提醒工作人员进行保护维修。
8.较佳的，所述保护组件包括：稳定槽，所述稳定槽开设在所述反应箱的一侧，所述稳定槽的内部底面开设有连接槽，所述连接槽的内部底面固定安装有两个连通柱，所述连接槽的内圆壁面开设有两个安装槽，所述安装槽的内部底面固定安装有电动推杆，所述连接槽的内圆壁面活动套设有活动柱，所述稳定槽的内圆壁面活动套设有催化筒。
9.通过采用上述技术方案，通过设置电动推杆，电动推杆可以延长伸缩杆带动固定活动柱的位置，避免活动柱随意移动，通过设置活动柱，活动柱可以在水平移动的同时带动催化筒左右移动，从而起到控制催化筒内部反应时长的效果。
10.较佳的，所述保护组件还包括：两个限位槽，两个所述限位槽均开设在所述连接槽的内圆壁面，所述活动柱的外圆壁面固定套设有移动环，所述移动环的外圆壁面固定安装有两个定位块，所述定位块卡设在所述限位槽的内部，所述移动环的一端固定安装有两个弹簧，所述连接槽的内圆壁面固定套设有固定环，所述固定环的一端开设有直通孔，所述直
通孔的内圆壁面与所述活动柱的外圆壁面活动套设。
11.通过采用上述技术方案，通过设置限位槽，限位槽可以限制定位块的移动方向，进而限制了活动柱的移动，使得活动柱无法随意旋转改变弹簧的位置，通过设置固定环，固定环可以在活动柱移动时为弹簧提供回复弹力的支点，通过设置移动环，移动环可以与连通柱的一端抵触，此时电动推杆的延伸杆延伸固定移动环的位置，电动推杆的延伸杆收缩后在弹簧的回复弹力的作用下朝着固定环的方向移动并推动催化筒移动出稳定槽的内部，停止反应，从而避免了持续的高温高压导致沉积成品的品质降低。
12.较佳的，所述催化筒的外圆壁面开设有下料口，所述催化筒的内圆壁面设置有两个合页，所述下料口的内部设置有密封块，所述下料口与所述密封块通过合页连接。
13.通过采用上述技术方案，通过设置密封块，密封块可以在工作人员添加原料时打开，简化操作，同时在关闭后可以降低催化筒内外空气的流动。
14.较佳的，所述催化筒的内圆壁面设置有温度传感器，所述温度传感器与plc控制器电性连接，所述电动推杆与plc控制器电性连接。
15.通过采用上述技术方案，通过设置温度传感器，温度传感器可以时时观察催化筒内部的温度，当催化筒内部的温度较高时，可以利用plc控制器控制电动推杆的伸缩杆收缩，释放活动柱，使得活动柱推动催化筒移动出稳定槽的内部。
16.较佳的，所述工作台的底面固定安装有若干个万向轮。
17.通过采用上述技术方案，通过设置万向轮，万向轮可以带动工作台与反应箱移动，便于工作人员推动改变位置。
18.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
19.通过设置限位槽，限位槽可以限制定位块的移动方向，进而限制了活动柱的移动，使得活动柱无法随意旋转改变弹簧的位置，通过设置固定环，固定环可以在活动柱移动时为弹簧提供回复弹力的支点，通过设置移动环，移动环可以与连通柱的一端抵触，此时电动推杆的延伸杆延伸固定移动环的位置，电动推杆的延伸杆收缩后在弹簧的回复弹力的作用下朝着固定环的方向移动并推动催化筒移动出稳定槽的内部，停止反应，从而避免了持续的高温高压导致沉积成品的品质降低。
20.通过设置蜂鸣警报器，蜂鸣警报器可以在反应箱的内部温度较高时在plc控制器的控制下发出警报，提醒工作人员进行保护维修，通过设置电动推杆，电动推杆可以延长伸缩杆带动固定活动柱的位置，避免活动柱随意移动，通过设置活动柱，活动柱可以在水平移动的同时带动催化筒左右移动，从而起到控制催化筒内部反应时长的效果，通过设置温度传感器，温度传感器可以时时观察催化筒内部的温度，当催化筒内部的温度较高时，可以利用plc控制器控制电动推杆的伸缩杆收缩，释放活动柱，使得活动柱推动催化筒移动出稳定槽的内部。
附图说明
21.图1是本实用新型的立体结构示意图；
22.图2是本实用新型的稳定槽结构示意图；
23.图3是图2中a的局部结构示意图。
24.附图标记：1、工作台；2、反应箱；3、万向轮；4、蜂鸣警报器；5、稳定槽；6、催化筒；7、
下料口；8、密封块；9、温度传感器；10、连接槽；11、连通柱；12、安装槽；13、电动推杆；14、活动柱；15、移动环；16、定位块；17、弹簧；18、固定环；19、直通孔；20、限位槽。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.参考图1和图2，多功能组合式化学气相沉积装置，包括工作台1，所述工作台1的顶面固定安装有反应箱2，反应箱2的一侧固定安装有蜂鸣警报器4，工作台1的顶面固定安装有plc控制器，蜂鸣警报器4与plc控制器电性连接，反应箱2的内部设置有保护组件，用于保护沉积成品的品质，工作台1的底面固定安装有若干个万向轮3，反应箱2的一侧开设有稳定槽5，稳定槽5的内圆壁面活动套设有催化筒6，万向轮3可以带动工作台1与反应箱2移动，辅助工作人员推动改变位置前往其他地点继续工作。
27.参考图1、图2和图3，催化筒6的外圆壁面开设有下料口7，催化筒6的内圆壁面设置有两个合页，下料口7的内部设置有密封块8，下料口7与密封块8通过合页连接，催化筒6的内圆壁面设置有温度传感器9，温度传感器9与plc控制器电性连接，电动推杆13与plc控制器电性连接，当催化筒6内部的温度较高时，温度传感器9会将信号发送给plc控制器，plc控制器在向电动推杆13与蜂鸣警报器4发送指令，使得电动推杆13的伸缩杆收缩，使得弹簧17的回复弹力带动活动柱14移动。
28.参考图1、图2和图3，保护组件包括连接槽10，连接槽10开设在稳定槽5的内部底面，连接槽10的内部底面固定安装有两个连通柱11，连接槽10的内圆壁面开设有两个安装槽12，安装槽12的内部底面固定安装有电动推杆13，连接槽10的内圆壁面活动套设有活动柱14，稳定槽5的内圆壁面活动套设有催化筒6，连接槽10的内圆壁面开设有两个限位槽20，活动柱14的外圆壁面固定套设有移动环15，移动环15的外圆壁面固定安装有两个定位块16，定位块16卡设在限位槽20的内部，移动环15的一端固定安装有两个弹簧17，连接槽10的内圆壁面固定套设有固定环18，固定环18的一端开设有直通孔19，直通孔19的内圆壁面与活动柱14的外圆壁面活动套设，活动柱14在催化筒6的推动下朝着连接槽10的底部移动并最终抵触在连通柱11的一端，随后电动推杆13的伸缩杆延伸将移动环15卡住，防止移动环15在弹簧17的拉动下移动回原来的位置，此时催化筒6内部的原料开始发生反应。
29.工作原理：请参考图1-图3所示，在使用时，首先工作人员打开密封块8，通过下料口7像催化筒6的内部添加原材料，随后闭合密封块8，并将催化筒6推进稳定槽5的内部，此时活动柱14在催化筒6的推动下朝着连接槽10的底部移动并最终抵触在连通柱11的一端，随后电动推杆13的伸缩杆延伸将移动环15卡住，防止移动环15在弹簧17的拉动下移动回原来的位置，此时催化筒6内部的原料开始发生反应，在反应的过程中温度传感器9会实时观察催化筒6内部的温度，当催化筒6内部的温度较高时，温度传感器9会将信号发送给plc控制器，plc控制器在向电动推杆13与蜂鸣警报器4发送指令，使得电动推杆13的伸缩杆收缩，使得弹簧17的回复弹力带动活动柱14移动，并推动催化筒6移动出稳定槽5的内部，停止反应，防止因为持续的高温与高压导致成品的品质降低。
30.通过设置密封块8，密封块8可以在工作人员添加原料时打开，简化操作，同时在关闭后可以降低催化筒6内外空气的流动，当需要推动工作台1前往其他位置工作时，万向轮3可以辅助工作人员移动工作台1的位置，便于运输。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。