一种基于氨气的化学气相沉积设备

1.本实用新型涉及氨气化学气相沉积技术领域，具体为一种基于氨气的化学气相沉积设备。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶和多晶玻璃态无机薄膜材料；氨气在化学气相沉积的过程中，氨气易燃易爆，破坏性极大，具有强烈的刺激气味，能灼伤皮肤、眼睛和呼吸器官的粘膜，作业人员吸入过多，能引起肺肿胀以至死亡，为此我们提出了一种基于氨气的化学气相沉积设备。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种基于氨气的化学气相沉积设备，具备远程操作打破空间限制，不直接接触保障安全，简单操作数值可控等优点，解决了氨气在化学气相沉积的过程中，氨气易燃易爆，破坏性极大，具有强烈的刺激气味，能灼伤皮肤、眼睛和呼吸器官的粘膜，作业人员吸入过多，能引起肺肿胀以至死亡的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于氨气的化学气相沉积设备，包括反应箱，所述反应箱侧边固定连接有控制器，所述控制器顶部固定连接有智能阀，所述智能阀侧边固定连接有输气管，所述智能阀侧边固定连接有输气计量仪，所述输气计量仪与反应箱和控制器相连接，所述控制器侧边固定连接有信号接收器，所述控制器底部固定连接有加热器，所述加热器与反应箱相连接，所述反应箱表面固定连接有气体检测仪，所述反应箱侧边安装有废气收集箱。
7.优选的，所述气体检测仪表面设置有气体感应口，所述气体检测仪表面设置有数值显示屏，所述气体检测仪顶部固定连接有警示灯，所述气体检测仪侧边固定连接有警报扬声器，气体感应口获取气体浓度信息传递到气体检测仪，气体检测仪通过数值显示屏、警示灯和警报扬声器进一步反馈。
8.优选的，所述废气收集箱顶部固定连接有抽气泵，所述抽气泵侧边固定连接有废气计量仪，所述废气计量仪与废气收集箱相连接，废气收集箱利用抽气泵进行收集废气，废气计量仪与废气收集箱和抽气泵相连接，得到废气收集箱内部容量数据和抽气泵作业效率数据。
9.优选的，所述抽气泵侧边固定连接有废气接口，所述废气接口侧边插接有排气管，所述废气接口与反应箱相连接，通过废气接口和排气管使反应箱与抽气泵相互连接，废气接口和排气管插接作用易于操作使用。
10.优选的，所述抽气泵和气体检测仪与信号接收器相连接，所述通过信号接收器使抽气泵、气体检测仪和控制器相互网络连接，控制器、气体检测仪和抽气泵同时与外部操作中心相连接，控制器也能单独控制气体检测仪和抽气泵进行操作和信息交换。
11.优选的，所述排气管和输气管分布在反应箱两侧，所述气体检测仪在反应箱中心位置，排气管和输气管相对分开互不影响，气体检测仪在反应箱中心位置两侧兼顾，快速准确获取气体泄漏。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种基于氨气的化学气相沉积设备，具备以下有益效果：
13.1、该基于氨气的化学气相沉积设备，通过反应箱、控制器、智能阀、输气管、输气计量仪、信号接收器和加热器等部分的连接和作用，反应箱与控制器、输气计量仪和加热器相连接，控制器与智能阀、输气计量仪、信号接收器和加热器相连接，智能阀与输气管和输气计量仪相连接，达到远程操作打破空间限制，不直接接触保障安全，简单操作数值可控的效果。
14.2、该基于氨气的化学气相沉积设备，通过反应箱、信号接收器、气体检测仪、气体感应口、数值显示屏、警示灯和警报扬声器等部分的连接和作用，反应箱与气体检测仪相连接，气体检测仪设置气体感应口和数值显示屏，气体检测仪与信号接收器、警示灯和警报扬声器相连接，达到气体泄漏有效检测，及时反馈发出警报，保障安全减少损失的效果。
15.3、该基于氨气的化学气相沉积设备，通过反应箱、信号接收器、废气收集箱、抽气泵、废气计量仪、废气接口和排气管等部分的连接和作用，废气收集箱与抽气泵和废气计量仪相连接，抽气泵与信号接收器、废气计量仪和废气接口相连接，废气接口与反应箱相连接，废气接口与排气管插接作用，达到废气有效回收重新利用，精确计量方便参考，快速更换转移节约时间的效果。
附图说明
16.图1为本实用新型结构前视图；
17.图2为本实用新型图1中a处放大图；
18.图3为本实用新型图1中b处放大图。
19.其中：1、反应箱；2、控制器；3、智能阀；4、输气管；5、输气计量仪；6、信号接收器；7、加热器；8、气体检测仪；9、废气收集箱；10、气体感应口；11、数值显示屏；12、警示灯；13、警报扬声器；14、抽气泵；15、废气计量仪；16、废气接口；17、排气管。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-3，一种基于氨气的化学气相沉积设备，包括反应箱1，反应箱1侧边固定连接有控制器2，控制器2顶部固定连接有智能阀3，智能阀3侧边固定连接有输气管4，智能阀3侧边固定连接有输气计量仪5，输气计量仪5与反应箱1和控制器2相连接，氨气先经过
输气管4到达智能阀3，再到达输气计量仪5，最后到达反应箱1内部，控制器2侧边固定连接有信号接收器6，通过反应箱1、控制器2、智能阀3、输气管4、输气计量仪5、信号接收器6和加热器7等部分的连接和作用，反应箱1与控制器2、输气计量仪5和加热器7相连接，控制器2与智能阀3、输气计量仪5、信号接收器6和加热器7相连接，智能阀3与输气管4和输气计量仪5相连接，达到远程操作打破空间限制，不直接接触保障安全，简单操作数值可控的效果，控制器2底部固定连接有加热器7，加热器7与反应箱1相连接，反应箱1表面固定连接有气体检测仪8，气体检测仪8表面设置有气体感应口10，气体检测仪8表面设置有数值显示屏11，输气计量仪5和废气计量仪15也设置数值显示屏11，气体检测仪8顶部固定连接有警示灯12，气体检测仪8侧边固定连接有警报扬声器13，气体感应口10获取气体浓度信息传递到气体检测仪8，气体检测仪8通过数值显示屏11、警示灯12和警报扬声器13进一步反馈，通过反应箱1、信号接收器6、气体检测仪8、气体感应口10、数值显示屏11、警示灯12和警报扬声器13等部分的连接和作用，反应箱1与气体检测仪8相连接，气体检测仪8设置气体感应口10和数值显示屏11，气体检测仪8与信号接收器6、警示灯12和警报扬声器13相连接，达到气体泄漏有效检测，及时反馈发出警报，保障安全减少损失的效果，反应箱1侧边安装有废气收集箱9，废气收集箱9顶部固定连接有抽气泵14，抽气泵14侧边固定连接有废气计量仪15，废气计量仪15与废气收集箱9相连接，废气收集箱9利用抽气泵14进行收集废气，废气计量仪15与废气收集箱9和抽气泵14相连接，得到废气收集箱9内部容量数据和抽气泵14作业效率数据，抽气泵14和气体检测仪8与信号接收器6相连接，通过信号接收器6使抽气泵14、气体检测仪8和控制器2相互网络连接，控制器2、气体检测仪8和抽气泵14同时与外部操作中心相连接，控制器2也能单独控制气体检测仪8和抽气泵14进行操作和信息交换，抽气泵14侧边固定连接有废气接口16，废气接口16侧边插接有排气管17，废气接口16与反应箱1相连接，通过废气接口16和排气管17使反应箱1与抽气泵14相互连接，废气接口16和排气管17插接作用易于操作使用，排气管17和输气管4分布在反应箱1两侧，气体检测仪8在反应箱1中心位置，排气管17和输气管4相对分开互不影响，气体检测仪8在反应箱1中心位置两侧兼顾，快速准确获取气体泄漏，通过反应箱1、信号接收器6、废气收集箱9、抽气泵14、废气计量仪15、废气接口16和排气管17等部分的连接和作用，废气收集箱9与抽气泵14和废气计量仪15相连接，抽气泵14与信号接收器6、废气计量仪15和废气接口16相连接，废气接口16与反应箱1相连接，废气接口16与排气管17插接作用，达到废气有效回收重新利用，精确计量方便参考，快速更换转移节约时间的效果。
22.在使用时，外部控制中心通过信号接收器6与控制器2相连接，实现操控控制器2，控制器2提前设置通过氨气的量，再开启智能阀3，氨气先经过输气管4到达智能阀3，再到达输气计量仪5，最后到达反应箱1内部，输气计量仪5反馈检测到通过氨气量的数值，当数值有误差直接反馈到控制器2，控制器2借助信号接收器6直接反馈到外部控制中心，外部控制中心进一步确认处理，当输气计量仪5反馈检测到通过氨气量的数值无有误差，控制器2控制加热器7，反应箱1内部正常进行氨气的化学气相沉积作业；作业过程中，防止有氨气泄漏，借助气体检测仪8进行安全检测，当气体感应口10获取反应箱1外部氨气浓度信息，直接传递到气体检测仪8，气体检测仪8通过数值显示屏11、警示灯12和警报扬声器13进一步反馈，数值显示屏11显示浓度数值，警示灯12开启闪烁模式，警报扬声器13发出警报，引起周边注意，气体检测仪8借助信号接收器6直接反馈到外部控制中心，外部控制中心进一步确
认处理；作业完成后，反应箱1内部的氨气将得到释放排出，利用排气管17提前接通反应箱1和废气收集箱9，排气管17一端插接到反应箱1侧边的的废气接口16内部，排气管17另一端插接到抽气泵14侧边的的废气接口16内部，操作开启抽气泵14，抽气泵14产出的吸力使反应箱1内部的氨气经过排气管17和抽气泵14，最后到达废气收集箱9内部进行存储，废气计量仪15保持运行，检测获取废气收集箱9内部容量数据和抽气泵14作业效率数据，现场作业人员可以直接通过废气计量仪15设置的数值显示屏11进行查看，外部操作中心借助信号接收器6和抽气泵14远程获取数据信息。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。