金属沉积的制作方法

技术特征：
1.一种喷头，其包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定，且具有多个面板通孔，所述多个面板通孔从所述前表面延伸穿过所述面板到达所述背表面；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且部分地由顶表面和底表面限定，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔从所述顶表面延伸穿过所述挡板到达所述底表面，其中：所述第二圆锥台表面相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，所述第二圆锥台表面沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口，所述第一圆锥台表面相对于所述中心轴而成第一角度，并且所述第二圆锥台表面相对于所述中心轴而成第二角度。2.根据权利要求1所述的喷头，其中所述第二圆锥台表面的内圆周相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面的外圆周径向地往外定位。3.根据权利要求1所述的喷头，其中所述第一角度大于所述第二角度。4.根据权利要求3所述的喷头，其中所述第一角度介于约50
°
至约90
°
之间，且所述第二角度介于约45
°
至约85
°
之间。5.根据权利要求1所述的喷头，其中所述背板还包含第三表面，其横跨于所述第一圆锥台表面与所述第二圆锥台表面之间。6.根据权利要求5所述的喷头，其中所述第三表面包含垂直于所述中心轴的平面部分。7.根据权利要求1所述的喷头，其中：所述背板还包含第三圆锥台表面，其相对于所述中心轴而从所述第二圆锥台表面径向地往外定位，使得所述第二圆锥台表面径向地插入所述第一圆锥台表面与所述第三圆锥台表面之间，并且将所述第三圆锥台表面定位成相对于所述中心轴而成第三角度。8.根据权利要求7所述的喷头，其中所述第三角度大于所述第一角度和所述第二角度。9.根据权利要求1所述的喷头，其中所述挡板的外缘相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位。10.根据权利要求9所述的喷头，其中所述挡板的所述外缘相对于所述中心轴而定位成径向地插入所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。11.根据权利要求1所述的喷头，其中所述挡板沿着所述中心轴而定位成使得所述第一圆锥台表面比所述挡板更靠近所述气体入口。12.根据权利要求11所述的喷头，其中：所述挡板的所述顶表面面对所述气体入口，且所述挡板的所述底表面面对所述面板，并且所述挡板还沿着所述中心轴而定位，使得所述挡板的所述顶表面沿着所述中心轴而插入在所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。
13.根据权利要求12所述的喷头，其中所述挡板还沿着所述中心轴定位，使得所述挡板的所述底表面比所述第二圆锥台表面的外圆周更远离所述气体入口。14.根据权利要求1所述的喷头，其中所述挡板还包含挡板圆锥台表面，其面对所述背板。15.根据权利要求14所述的喷头，其中所述挡板圆锥台表面从所述中心轴偏移第四角度，其中所述第四角度与所述第二角度互补。16.根据权利要求1所述的喷头，其中所述多个挡板通孔具有随着所述径向位置相对于所述中心轴距离增大而增大的外径。17.根据权利要求16所述的喷头，其中：第一数量的挡板通孔定位于所述挡板的第一区段中，且具有第一外径，第二数量的挡板通孔定位于所述挡板的第二区段中，且具有第二外径，所述第二外径大于所述第一外径，并且所述第二区段相对于所述中心轴而从所述第一区段径向地往外偏移。18.根据权利要求17所述的喷头，其中所述第一外径介于0.3mm至0.65mm之间，且所述第二外径介于0.5mm至0.75mm之间。19.根据权利要求17所述的喷头，其中：第三数量的挡板通孔定位于所述挡板的第三区段中，且具有第三外径，所述第三外径大于所述第二外径，并且所述第三区段相对于所述中心轴而从所述第二区段径向地往外偏移。20.根据权利要求19所述的喷头，其中所述第三外径介于0.7mm至1.1mm之间。21.根据权利要求1所述的喷头，其中所述第一圆锥台表面的内圆周部分地限定所述气体入口。22.根据权利要求1所述的喷头，其中所述面板还包含面板圆锥台表面，所述面板圆锥台表面相对于所述中心轴而从所述面板的所述前表面径向地往外定位，且从所述中心轴偏移第五角度，所述第五角度大于90
°
。23.根据权利要求1所述的喷头，其还包含：端口，其包含第一端和位于第二端的开口，并且延伸通过所述面板，其中所述开口位于所述面板中且位于从所述前表面径向往外处，以及窗部，其定位成邻近所述端口的所述第一端。24.根据权利要求23所述的喷头，其还包含传感器，其定位成邻近所述窗部，使得所述窗部介于所述第一端与所述传感器之间。25.根据权利要求24所述的喷头，其中所述传感器被配置成判定以下一者或多者：所述开口外部的物体的距离、所述开口外部的温度、以及所述开口外部的气体种类。26.根据权利要求23所述的喷头，其中所述窗部由包含蓝宝石的材料所制成。27.根据权利要求23所述的喷头，其还包含三个端口和三个窗部，其中：每个窗部被定位成邻近一个相应端口的所述第一端，并且所述三个端口围绕所述中心轴基本上等距间隔开。28.根据权利要求1所述的喷头，其中所述面板通孔的外径都相同。29.根据权利要求28所述的喷头，其中所述面板通孔中的每一者的外径介于0.03英寸
至0.05英寸之间。

技术总结
提供各种喷头及方法。一种喷头可以包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔延伸穿过所述挡板。所述第二圆锥台表面可以相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，并且所述第二圆锥台表面可以沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口。表面更远离所述气体入口。表面更远离所述气体入口。


技术研发人员：拉维
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2020.08.19
技术公布日：2022/6/17