一种具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极

技术特征：
1.一种具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，包括靶材(2)、靶材安装座(3)及磁轭冷却组件(4)，靶材(2)安装在靶材安装座(3)上，其特征在于：还包括烟囱弹顶装置(1)和阴极屏蔽罩(5)；靶材安装座(3)位于烟囱弹顶装置(1)和磁轭冷却组件(4)之间，烟囱弹顶装置(1)安装在阴极屏蔽罩(5)上，阴极屏蔽罩(5)固定在磁轭冷却组件(4)上；其中，所述烟囱弹顶装置(1)具有弹性压紧和定位靶材安装座(3)的作用；所述靶材安装座(3)具有支耳和限位槽口；阴极屏蔽罩(5)侧边设有开口。2.根据权利要求1所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述烟囱弹顶装置(1)包括烟囱(11)、弹顶销(12)、压力弹簧(13)及螺塞(14)；所述弹顶销(12)过孔具有导向作用；所述烟囱(11)包括导向限位孔，且底部带有螺纹，弹顶销(12)、压力弹簧(13)及螺塞(14)依次安装在烟囱(11)的导向限位孔中；所述螺塞(14)本身带有螺纹，且与烟囱(11)的导向限位孔底部螺纹相同，此时螺塞(14)挤压压力弹簧(13)，压力弹簧(13)挤压弹顶销(12)，烟囱(11)的导向限位孔起到固定导向的作用。3.根据权利要求2所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述弹顶销(12)、压力弹簧(13)及螺塞(14)配套使用。4.根据权利要求2所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述靶材安装座(3)包括底部传热座(31)、靶材压环(32)；所述靶材压环(32)用于固定靶材(2)于底部传热座(31)正上方，通过螺钉连接。5.根据权利要求4所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：弹顶销(12)端部设有弧度，靶材压环(32)上部设有倒角斜度面。6.根据权利要求4所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述靶材压环(32)包含支耳和限位槽口。7.根据权利要求1所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁轭冷却组件(4)包括磁体(41)、磁轭(42)、磁箍(43)；所述磁轭(42)位于磁箍(43)正下方，通过螺钉固定，磁体(41)安装在磁箍(43)上安装孔内，所述磁轭(42)为导磁材料。8.根据权利要求7所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：所述磁体(41)为永磁体或者电磁体。9.根据权利要求2所述的具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，其特征在于：弹顶销(12)采用陶瓷材质。

技术总结
本实用新型的一种具有可快速更换靶材的磁控溅射阴极，包括靶材安装座及靶材位于烟囱弹顶装置和磁轭冷却组件之间，烟囱弹顶装置安装在阴极屏蔽罩上，阴极屏蔽罩通过螺钉固定在磁轭冷却组件上。更换靶材时，利用磁控溅射设备自带的传样系统抓取靶材安装座边上的支耳，从阴极屏蔽罩侧边开口取出靶材安装座及其中的靶材后送至传样系统的腔室内；再利用传样系统将腔室内的新靶材安装座及其中的靶材送到原阴极屏蔽罩侧边开口，利用烟囱弹顶装置压紧靶材安装座的槽口，并且定位靶材安装座，使靶材安装座位于磁轭冷却组件正上方。该实用新型在不破坏主真空腔真空环境的情况下，实现快速换靶，大幅降低更换靶材的时间，也减少了主真空腔的污染。空腔的污染。空腔的污染。


技术研发人员：李成 汪建 杜寅昌 程厚义 赵巍胜 张悦
受保护的技术使用者：北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/6/17