一种单片晶圆清洗机的组装夹具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶片加工领域，尤其涉及一种单片晶圆清洗机的组装夹具。


背景技术：

2.随着科技的发展，单片晶圆清洗机应用于半导体的清洗工序中，单片晶圆清洗机在保养的过程中需要将单片晶圆清洗机的上盘和单片晶圆清洗机的下盘进行拆分，以便于实现单片晶圆清洗机的上盘和单片晶圆清洗机的下盘的清洗，在单片晶圆清洗机的上盘和单片晶圆清洗机的下盘清洗完成后，使用者需要手动对单片晶圆清洗机的下盘和单片晶圆清洗机的上盘进行组装，其中，现有的组装方式是人为手动将单片晶圆清洗机的下盘组装至单片晶圆清洗机的上盘，导致现有的组装方式的组装精度较低和组装成功率较低。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种单片晶圆清洗机的组装夹具，以便于被所述夹持臂夹持的单片晶圆清洗机的下盘在高度方向上实现升降，避免人为的手动控制，提高了单片晶圆清洗机的下盘在升降过程中的升降稳定性和移动精度，从而提高基于单片晶圆清洗机的组装夹具的组装方式的组装精度和组装成功率。
4.本实用新型一种实施方式中，提供了一种单片晶圆清洗机的组装夹具，包括：一个底座；一个升降组件，所述升降组件安装于所述底座的上方；所述升降组件设有相对布置的两个升降臂、一个动力件、一个传动组件和两个丝杆，所述传动组件的一端连接所述动力件，另一端连接两个所述丝杆，并带动两个所述丝杆同步转动；两个所述升降臂分别套接于对应的所述丝杆，并与对应的所述丝杆相互啮合，且随着所述丝杆的转动而升降；一个夹持臂，所述夹持臂具有一个夹持孔，所述夹持孔用于夹持一个单片晶圆清洗机的下盘；所述夹持臂的两端分别可拆卸地安装于两个所述升降臂，并随着两个所述升降臂的升降而升降。
5.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，所述夹持臂包括相对开合的一个第一夹持部和一个第二夹持部；所述第二夹持部铰接所述第一夹持部；
6.在所述第二夹持部和所述第一夹持部处于闭合状态时，所述第二夹持部和所述第一夹持部围合所述夹持孔，并共同夹持单片晶圆清洗机的下盘。
7.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，所述第一夹持部的一端凸设有一个第一支撑座；所述第二夹持部的一端凸设有一个第二支撑座；两个所述升降臂均设有一个安装槽；
8.在所述第二夹持部和所述第一夹持部处于闭合状态时，所述第一支撑座和所述第二支撑座相互对接，并安装于一所述安装槽；所述第二夹持部和所述第一夹持部的铰接连接处安装于另一所述安装槽。
9.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，两个所述安装槽在水平方向上相对布置，并同步升降。
10.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，两个所述安装槽分别具有相邻布置的一个第一开口和一个第二开口，所述第一开口朝向上方延伸，所述第二开口朝向两个所述安装槽之间相对的方向延伸。
11.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，所述传动组件包括：
12.两个第一齿轮，两个所述第一齿轮连接于所述动力件，并在所述动力件的带动下转动；
13.两个第二齿轮，两个所述第二齿轮分别啮合对应的所述第一齿轮；两个所述第二齿轮的中部连接对应的所述丝杆，带动所述丝杆的转动。
14.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，两个所述第一齿轮在水平方向间隔布置；
15.所述动力件连接有一个连接轴，所述连接轴的一端连接所述动力件，并在所述动力件的带动下转动；所述连接轴在其不同位置分别连接两个所述第一齿轮，并带动两个所述第一齿轮同步转动。
16.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，所述动力件为手动摇臂。
17.在本实用新型中单片晶圆清洗机的组装夹具的另一种实施方式中，所述升降组件还设有两个支撑轴和两个支撑臂，两个所述支撑轴的一端连接所述底座，另一端连接对应的所述支撑臂；两个所述支撑臂分别连接对应的所述丝杆，并维持对应的所述丝杆处于竖直状态。
附图说明
18.以下附图仅对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。
19.图1为单片晶圆清洗机的组装夹具的一种示意性实施方式的示意图。
20.图2为单片晶圆清洗机的组装夹具一种示意性实施方式的主视图。
21.图3为单片晶圆清洗机的组装夹具一种示意性实施方式的俯视图。
具体实施方式
22.为了对实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式，在各图中相同的标号表示结构相同或结构相似但功能相同的部件。
23.在本文中，“示意性”表示“充当实例、例子或说明”，不应将在本文中被描述为“示意性”的任何图示、实施方式解释为一种更优选的或更具优点的技术方案。
24.本实用新型的一种实施方式中，如图1至图3所示，提供了一种单片晶圆清洗机的组装夹具，单片晶圆清洗机的组装夹具包括一个底座10、一个升降组件20和一个夹持臂30，升降组件20安装于底座10，并带动夹持臂30在高度方向上进行升降，以便于被夹持臂30所夹持的单片晶圆清洗机的下盘在高度方向上组装至单片晶圆清洗机的上盘。
25.底座10作为单片晶圆清洗机的组装夹具的支撑部件，支撑着升降组件20和夹持臂30，底座10可选的为底板。
26.升降组件20安装于底座10的上方；升降组件20包括两个升降臂21、、一个动力件22、一个传动组件23和两个丝杆24。
27.一个动力件22作为升降组件20的动力源，动力件22为手动摇臂或者电机，此处不做限制。当动力件22为手动摇臂时，手动摇臂在人为作用下进行转动，从而经过一个传动组件23的传动带动两个丝杆24的旋转，进而实现两个升降臂21的升降。
28.传动组件23的一端连接动力件22，另一端连接两个丝杆24，并带动两个丝杆24同步转动；传动组件23包括两个第一齿轮231和两个第二齿轮232，第一齿轮231和第二齿轮232相互啮合。
29.两个第一齿轮231连接于动力件22，并在动力件22的带动下转动，其中，两个第一齿轮231在水平方向间隔布置；动力件22连接有一个连接轴，连接轴的一端连接动力件22，并在动力件22的带动下转动；连接轴在其不同位置分别连接两个第一齿轮231，并带动两个第一齿轮231同步转动，从而实现一个动力件22带动两个第一齿轮231的同步转动。
30.两个第二齿轮232分别啮合对应的第一齿轮231；两个第二齿轮232的中部连接对应的丝杆24，带动丝杆24的转动，此时，第二齿轮232和第一齿轮231之间的啮合方式为斜齿轮啮合，第二齿轮232和第一齿轮231相互垂直。丝杆24连接于第二齿轮232的中部，并随着第二齿轮232的旋转而旋转。
31.两个升降臂21相对布置，两个升降臂21分别套接于对应的丝杆24，并与对应的丝杆24相互啮合，且随着丝杆24的转动而升降，以便于两个升降臂21相对于底座10在高度方向升降，其中，在丝杆24的正转时，对应的升降臂21随着丝杆24的转动向上移动，在丝杆24的反转时，对应的升降臂21随着丝杆24的转动向下移动。
32.其中，两个升降臂21均设有一个安装槽211，两个安装槽211在水平方向上相对布置，并同步升降。两个安装槽211分别具有相邻布置的一个第一开口和一个第二开口，第一开口朝向上方延伸，第二开口朝向两个安装槽211之间相对的方向延伸，通过第一开口和第二开口实现夹持臂30由上至下安装于安装槽211。
33.升降组件20还设有两个支撑轴25和两个支撑臂26，两个支撑轴25的一端连接底座10，另一端连接对应的支撑臂26；两个支撑臂26分别连接对应的丝杆24，并维持对应的丝杆24处于竖直状态，以保持保持丝杆24的竖直状态，提高升降组件20的升降稳定性。
34.夹持臂30具有一个夹持孔30a，夹持孔30a用于夹持一个单片晶圆清洗机的下盘；夹持臂30的两端分别可拆卸地安装于两个升降臂21，使得夹持臂30随着两个升降臂21的升降而升降。其中，夹持臂30包括相对开合的一个第一夹持部31和一个第二夹持部32；第二夹持部32铰接第一夹持部31；
35.第一夹持部31包括第一圆弧部311和第一支撑座312，第一支撑座312由第一圆弧部311的一端向外凸设，并处于第一夹持部31的端部；第二夹持部32包括第二圆弧部321和第二支撑座322，第二支撑座322由第二圆弧部321的一端向外凸设，并处于第二夹持部32的端部。
36.在第二夹持部32和第一夹持部31处于闭合状态时，第一圆弧部311和第二圆弧部321相对布置，并围合形成夹持臂30的夹持孔30a，此时，第二夹持部32和第一夹持部31围合夹持孔30a，并共同夹持单片晶圆清洗机的下盘，从而实现单片晶圆清洗机的下盘的支撑，以便于单片晶圆清洗机的下盘随着夹持臂30的升降而升降，从而实现单片晶圆清洗机的下
盘稳定组装于单片晶圆清洗机的上盘。
37.在第二夹持部32和第一夹持部31处于闭合状态时，第一支撑座312和第二支撑座322相互对接，并安装于一安装槽211；第二夹持部32和第一夹持部31的铰接连接处安装于另一安装槽211。
38.因此，升降组件20安装于底座10；升降组件20设有相对布置的两个升降臂21，两个升降臂21相对于底座10在高度方向升降；夹持臂30具有一个夹持孔30a，夹持孔30a用于夹持一个单片晶圆清洗机的下盘；夹持臂30的两端分别可拆卸地安装于两个升降臂21，使得夹持臂30随着两个升降臂21的升降而升降，以便于被夹持臂30夹持的单片晶圆清洗机的下盘在高度方向上实现升降，避免人为的手动控制，提高了单片晶圆清洗机的下盘在升降过程中的升降稳定性和移动精度，从而提高基于单片晶圆清洗机的组装夹具的组装方式的组装精度和组装成功率。
39.应当理解，虽然本说明书是按照各个方式描述的，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
40.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方案或变更，如特征的组合、分割或重复，均应包含在本实用新型的保护范围之内。