一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源的制作方法

1.本发明涉及加热装置技术领域，特别涉及一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源。


背景技术：

2.近年来，随着显示技术的发展，有机电致发光显示器(oled)的应用日益广泛。而制作有机电致发光显示器时，一般利用线性蒸发源蒸镀工艺将有机电致发光材料或者金属材料蒸镀到目标基板(例如：玻璃板)上，以制作其中的发光层等。
3.线性蒸发源的工作原理为：在坩埚外部设置加热器，通过加热器对坩埚内部填充的待蒸镀材料进行加热，使待蒸镀材料升华或气化,然后通过坩埚上部的喷嘴向外部喷射，最终蒸镀到玻璃板上。然而，实际应用中，坩埚内部的待蒸镀材料很难维持在相同的温度。通常，随着时间的积累、热量的积聚，处于坩埚中间部分的待蒸镀材料温度较高，容易变性。而变性后的待蒸镀材料被蒸镀到玻璃板上，会造成蒸镀均匀度变化，会对oled面板的良品率产生不利影响。


技术实现要素：

4.本发明提供了一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源，用于改善随着时间的积累，处于坩埚中间部分的待蒸镀材料温度较高，容易变性的问题。
5.为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
6.一种用于线性蒸发源中的坩埚，包括：
7.设有容纳腔的坩埚本体；
8.至少设置于所述坩埚本体底部沿长度方向上的中部区域的散热部，所述散热部位于所述坩埚本体背离所述容纳腔的一侧。
9.线性蒸发源中，坩埚的下方通常设置有冷却组件，而本发明提供的用于线性蒸发源中的坩埚至少在坩埚本体底部沿长度方向上的中部区域设置了散热部，散热部位于坩埚本体背离容纳腔的一侧，更靠近线性蒸发源中的冷却组件，能够使坩埚本体容纳腔中对应于散热部的部位的热量更快速的散发至冷却组件，使坩埚本体内部对应于散热部的部位更快速的降温，提高冷却效率；从而至少能够降低坩埚中间部分待蒸镀材料变性的可能性，甚至避免上述部位的待蒸镀材料变性，有利于提高oled面板的良品率。
10.可选地，沿所述坩埚本体的长度方向，所述坩埚本体底部中部区域的两侧也均设置有所述散热部。
11.可选地，所述散热部位于所述坩埚本体宽度方向上的中部区域，或者，所述散热部横跨所述坩埚本体的宽度方向。
12.可选地，所述散热部包括沿所述坩埚本体的长度方向分布的多个散热组，每个所述散热组包括至少一个散热凸起；
13.当所述散热组中散热凸起的数量大于等于两个时，各所述散热凸起沿所述坩埚本
体的宽度方向分布。
14.可选地，所述散热凸起的横截面形状为多边形、圆形或者椭圆形。
15.可选地，所述散热部包括锥状凸起部，且沿背离所述坩埚本体的方向，所述锥状凸起部的横截面面积逐渐减小。
16.可选地，所述锥状凸起部为四棱锥状。
17.可选地，所述散热部与所述坩埚本体为一体成型结构，或者，所述散热部与所述坩埚本体固定连接。
18.可选地，所述散热部包括冷却板。
19.本发明还提供一种线性蒸发源，包括：
20.上述技术方案中提供的任意一种用于线性蒸发源中的坩埚；
21.用于为所述坩埚加热的加热组件；
22.设置于所述坩埚本体的下方的冷却组件。
23.本发明提供的线性蒸发源包括上述内容所述的用于线性蒸发源中的坩埚，因而，至少能够达到上述坩埚所能够达到的技术效果，即，能够使坩埚本体容纳腔中对应于散热部的部位的热量更快速的散发至冷却组件，使坩埚本体内部对应于散热部的部位更快速的降温，提高冷却效率；从而至少能够降低坩埚中间部分待蒸镀材料变性的可能性，甚至避免上述部位的待蒸镀材料变性，有利于提高oled面板的良品率。
附图说明
24.图1为alq3的有机物温度—相位变化评价图；
25.图2为本发明实施例提供的一种线性蒸发源的结构示意图；
26.图3为本发明实施例提供的一种用于线性蒸发源中的坩埚的结构示意图；
27.图4为图3所示的用于线性蒸发源中的坩埚的仰视图；
28.图5为本发明实施例提供的另一种用于线性蒸发源中的坩埚的结构示意图；
29.图6为图5所示的用于线性蒸发源中的坩埚的仰视图；
30.图7为本发明实施例提供的另一种用于线性蒸发源中的坩埚的结构示意图；
31.图8为图7所示的用于线性蒸发源中的坩埚的仰视图；
32.图9为本发明实施例提供的另一种用于线性蒸发源中的坩埚的结构示意图；
33.图10为图9所示的用于线性蒸发源中的坩埚的仰视图；
34.图11为本发明实施例提供的另一种用于线性蒸发源中的坩埚的结构示意图；
35.图12为图11所示的用于线性蒸发源中的坩埚的仰视图；
36.图13为对开始加热的时间点a时，坩埚本体的容纳腔中热源分布的预测图；
37.图14为对时间点b时，坩埚本体的容纳腔中热源分布的预测图。
38.图标：1-坩埚本体；11-容纳腔；2-散热凸起；31-加热丝；32-喷嘴加热部；4-反射板；5-锥状凸起部。
具体实施方式
39.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
40.图1为oled面板中的常用代表性物质alq3的有机物温度—相位变化评价图，由图可知,alq3在300℃以前时，没有相位变化，在418℃时出现了急剧的相位变化，这表明在418℃时alq3的性质发生了变化。因而，为了防止这种材料变性的情况出现，亦即为了防止待蒸镀材料暴露在上面提到的温度中，需要对线性蒸发源坩埚内部的温度进行控制。
41.如图2和图3所示，本实施例提供的一种用于线性蒸发源中的坩埚包括：
42.设有容纳腔11的坩埚本体1；
43.至少设置于坩埚本体1底部沿长度方向上的中部区域的散热部，散热部位于坩埚本体1背离容纳腔11的一侧。
44.线性蒸发源中，坩埚的下方通常设置有冷却组件，而本实施例提供的用于线性蒸发源中的坩埚至少在坩埚本体1底部沿长度方向上的中部区域设置了散热部，散热部位于坩埚本体1背离容纳腔11的一侧，更靠近线性蒸发源中的冷却组件，能够使坩埚本体1容纳腔11中对应于散热部的部位的热量更快速的散发至冷却组件、使坩埚本体1内部对应于散热部的部位更快速的降温，提高冷却效率；从而至少能够降低坩埚中间部分待蒸镀材料变性的可能性，甚至避免上述部位的待蒸镀材料变性，有利于提高oled面板的良品率。
45.显然，坩埚本体1具有敞口端。
46.需要说明的是：线性蒸发源中的坩埚通常为长方体状或者类似长方体的形状，其长度方向和宽度方向如图2中所示。
47.如图3-图6所示，一种可选的实现方式中，沿坩埚本体1的长度方向，坩埚本体1底部中部区域的两侧也均设置有散热部。
48.沿坩埚本体1的长度方向，坩埚本体1底部中部区域的两侧也均设置有散热部，有利于提高坩埚本体1的整体冷却效率，能够降低坩埚本体1的容纳腔11中待蒸镀材料变性的可能性，甚至避免待蒸镀材料变性。
49.如图7-图12所示，在上述实施例的基础上，具体设置上述散热部时，散热部可以位于坩埚本体1宽度方向上的中部区域，以抑制因中部区域局部热量积累导致的待蒸镀材料变性。
50.图13为对开始加热的时间点a时，坩埚本体1的容纳腔11中热源分布的预测图，图14是随着时间的变化，对时间点b时，坩埚本体1的容纳腔11中热源分布的预测图，图中深色区域表示热量相对高的部分,浅色区域表示热量相对低的部分，周围的黑色圆点表示加热丝31的横截面。从图中可以看出,开始加热时，与加热组件相邻的区域热量较高，如图13所示，a区域对应的加热丝31的数量为4个，b区域对应的加热丝31的数量为7个，因此，可以预测，开始加热时，热量是以对应的加热丝31数量多的部位(也就是坩埚本体1长度方向上的两端)向坩埚本体1容纳腔11的中心汇聚的。如图14所示，一定时间后，热量的不均匀导致热量从热量高的部位转移至热量低的部位，坩埚本体1中间部分热量积聚。此外，从冷却层面来看，坩埚本体1长度方向上的两端均有四个面散热，但坩埚本体1中间部分只有三个面散热，所以，可以预想，因为冷却效率低导致坩埚本体1中心部热量积聚，以致出现中间高的热性分布。
51.使积聚于坩埚本体1中间的热量通过散热部局部性的发散，能够对位于坩埚本体1
容纳腔11中间的待蒸镀材料进行有效的降温。
52.当然，作为一种替换方式，散热部也可以横跨坩埚本体1的宽度方向，如图5和图6所示。
53.具体设置上述散热部时，散热部可以包括沿坩埚本体1的长度方向分布的多个散热组，每个散热组可以包括至少一个散热凸起2；
54.当散热组中散热凸起2的数量大于等于两个时，散热凸起2沿坩埚本体1的宽度方向分布，如图10所示。
55.一种可选的实现方式中，上述散热凸起2的横截面形状可以为多边形(例如：三角形或者矩形)、圆形或者椭圆形。
56.当散热凸起2的横截面形状较大时，其散热效果更佳。
57.另一种实现方式中，如图11和图12所示，散热部可以包括锥状凸起部5，且沿背离坩埚本体1的方向，锥状凸起部5的横截面面积逐渐减小。具体地，锥状凸起部5可以为四棱锥状。
58.另一种实现方式中，散热部可以包括冷却板。
59.为了达到更好的散热效果，一种可选的实现方式中，散热部与坩埚本体1为一体成型结构。
60.作为一种替换方式，散热部也可以与坩埚本体1固定连接，例如：散热部可以与坩埚本体1焊接、卡接或者螺纹连接等。
61.显然，散热部和坩埚本体1均是由导热性能良好的材料制成的。
62.本实施例中提到的用于线性蒸发源中的坩埚包括但不限于制作oled面板所用的线性蒸发源中的坩埚,对坩埚本体1的底部进行一体型设计，将其底部加工成具有上述凹凸结构的形态以利于散热。上述用于线性蒸发源中的坩埚的材质可以为ti,c,mo或者sus系列。
63.请继续参照图2，本实施例提供的一种线性蒸发源包括：
64.上述实施例中所述的用于线性蒸发源中的坩埚(为了便于描述，以下简称坩埚)；
65.用于为所述坩埚加热的加热组件；
66.设置于所述坩埚本体1的下方的冷却组件。
67.本实施例中提供的线性蒸发源包括上述坩埚，因而，至少能够达到上述坩埚所能够达到的技术效果，即，能够使坩埚本体1容纳腔11中对应于散热部的部位的热量更快速的散发至冷却组件，使坩埚本体1内部对应于散热部的部位更快速的降温，提高冷却效率；从而至少能够降低坩埚中间部分待蒸镀材料变性的可能性，甚至避免上述部位的待蒸镀材料变性，有利于提高oled面板的良品率。
68.请继续参照图2，上述加热组件可以包括位于坩埚本体1周向的加热丝31和位于坩埚本体1敞口端、用于为喷嘴加热的喷嘴加热部32，可以预想到加热组件产生的热量会从坩埚的上部以及下部散发出去。
69.具体设置上述冷却组件时，冷却组件可以直接与坩埚本体1底部的散热部接触，也可以与坩埚本体1底部的散热部间隔一定距离，当散热部包括冷却板时，可以是冷却板用作散热组件，也可以是同时设置有冷却板和散热组件。
70.为了减少加热丝31产生的热量从坩埚周向向外部泄露，使尽可能多的热量传递至
坩埚中的待蒸镀材料处，以提高能源的利用率，可以在加热丝31的外部安装反射板4，反射板4环绕坩埚，以起到保温作用。
71.此外，还可以通过对加热组件进行实时微调，来防止待蒸镀材料过度过热的情况出现。
72.可选地，坩埚的外形为长方体状，为了能够对蒸镀过程中可能发生的左右两部分蒸发率不均匀的现象进行有效控制，加热丝31可以包括用于为坩埚左侧加热的第一部分和用于为坩埚右侧加热的第二部分，第一部分和第二部分相互独立，能够单独控制。
73.需要说明的是，上文中提到的“左”、“右”是相对图3而言的。
74.使用本实施例提供的线性蒸发源的过程中，可以通过调整坩埚与冷却组件之间的距离，来改善坩埚底部的散热效率。
75.本实施例中提到的线性蒸发源，可以是用于有机物(升华型或是气化型有机物均可)的线型蒸发源，也可以是用于金属的线型蒸发源；其应用的领域包括但不限于oled,cigs太阳能电池以及工业用蒸镀设备。
76.显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。