密封性强的磁控溅射镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜技术领域，具体是密封性强的磁控溅射镀膜机。


背景技术：

2.镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器。
3.随着镀膜机技术的不断成熟，其使用量也不断增加。为提高镀膜机使用效果，在镀膜机进行工作过程中，需保证镀膜机的密封性。在现有的技术中，多数镀膜机在使用时，需要频繁的上下料，在上下料过程中，会破坏镀膜机内部密封的工作环境，导致镀膜机使用效果降低。因此，本领域技术人员提供了密封性强的磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供密封性强的磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：密封性强的磁控溅射镀膜机，包括机体，其特征在于：所述机体的一侧固定侧壁固定连接有控制台，所述机体的内壁开设有镀膜槽，所述机体的一端侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动连接有滑门，所述机体靠近滑门一端的侧壁固定连接有控制按钮，所述镀膜槽的底部固定连接有正极，所述镀膜槽的顶部固定连接有发射端，所述镀膜槽相互远离两侧的顶端侧壁共同固定连接有承载板，所述承载板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的顶部均匀贯穿开设有多个贯穿孔，所述放置槽与发射端的位置相匹配。
6.作为本实用新型进一步的方案：所述机体的顶部设有鼓风机，所述鼓风机的外壁固定连接有防护罩，所述防护罩相互远离两端的底部分别与位置相匹配的机体固定连接，所述鼓风机的输出端固定连接有导气管，所述导气管远离鼓风机的一端与位置相匹配的机体顶部贯穿固定连接，通过鼓风机配合导气管方便对内部进行散热作业。
7.作为本实用新型再进一步的方案：所述机体远离滑门一端的侧壁固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部设有电机，所述电机的外壁固定连接有固定套，所述固定套相互远离两侧的底部均与支撑板固定连接，通过电机提供动能。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述电机的输出端固定连接有主动轴，所述主动轴通过轴承与镀膜槽活动连接，所述镀膜槽内壁远离主动轴的一侧内壁活动连接有从动轴，当电机启动时带动主动轴转动，配合从动轴实现镀膜物品的自动运行和收纳。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述控制台的内壁开设有配电槽，所述配电槽的内壁均匀固定连接有多个继电器，所述控制台的底部均匀贯穿开设有多个接线孔，为镀膜机提供电能。
10.作为本实用新型再进一步的方案：所述控制台远离机体的一端活动连接有柜门，所述控制台的顶部固定连接有控制器，方便工作人员对镀膜过程进行查看或操作。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型中，通过机体和控制台提供主要安装和工作空间，通过控制按钮启动机器，将镀膜物件缠绕在从动轴上，并将另一端缠绕至主动轴，将镀膜材料置于放置槽内，启动发射端配合电极对镀膜物品进行镀膜作业，同时通过电机的启动，带动主动轴转动，实现磁控溅射镀膜的自动化。本装置在进行磁控溅射镀膜作业时，可很好的对镀膜物品进行磁控溅射镀膜作业，同时在镀膜过程中无需频繁的上下料，避免破坏镀膜环境。
附图说明
12.图1为本实用新型的主视结构示意图；
13.图2为本实用新型中机体的后视结构示意图；
14.图3为本实用新型中控制台的剖视结构示意图；
15.图4为本实用新型中机体的顶部剖视结构示意图；
16.图5为本实用新型中机体的侧面剖视结构示意图。
17.图中：1、机体；2、控制台；3、滑门；4、控制按钮；5、鼓风机；6、防护罩；7、导气管；8、柜门；9、控制器；10、支撑板；11、固定套；12、电机；13、配电槽；14、继电器；15、接线孔；16、滑槽；17、镀膜槽；18、主动轴；19、从动轴；20、正极；21、发射端；22、承载板；23、放置槽；24、贯穿孔。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1～5，本实用新型实施例中，密封性强的磁控溅射镀膜机，包括机体1，其特征在于：机体1的一侧固定侧壁固定连接有控制台2，机体1的内壁开设有镀膜槽17，机体1的一端侧壁开设有滑槽16，滑槽16的内壁滑动连接有滑门3，机体1靠近滑门3一端的侧壁固定连接有控制按钮4，镀膜槽17的底部固定连接有正极20，镀膜槽17的顶部固定连接有发射端21，镀膜槽17相互远离两侧的顶端侧壁共同固定连接有承载板22，承载板22的顶部开设有放置槽23，放置槽23的顶部均匀贯穿开设有多个贯穿孔24，放置槽23与发射端21的位置相匹配。
20.其中，机体1的顶部设有鼓风机5，鼓风机5的外壁固定连接有防护罩6，防护罩6相互远离两端的底部分别与位置相匹配的机体1固定连接，鼓风机5的输出端固定连接有导气管7，导气管7远离鼓风机5的一端与位置相匹配的机体1顶部贯穿固定连接，通过鼓风机5配合导气管7方便对内部进行散热作业；机体1远离滑门3一端的侧壁固定连接有支撑板10，支撑板10的顶部设有电机12，电机12的外壁固定连接有固定套11，固定套11相互远离两侧的底部均与支撑板10固定连接，通过电机12提供动能；电机12的输出端固定连接有主动轴18，主动轴18通过轴承与镀膜槽17活动连接，镀膜槽17内壁远离主动轴18的一侧内壁活动连接有从动轴19，当电机12启动时带动主动轴19转动，配合从动轴18实现镀膜物品的自动运行和收纳。
21.控制台2的内壁开设有配电槽13，配电槽13的内壁均匀固定连接有多个继电器14，控制台2的底部均匀贯穿开设有多个接线孔15，为镀膜机提供电能；控制台2远离机体1的一端活动连接有柜门8，控制台2的顶部固定连接有控制器9，方便工作人员对镀膜过程进行查看或操作。
22.本实用新型的工作原理是：使用本装置进行磁控溅射镀膜作业时，只需拉动滑门3，将待镀膜物品缠绕在从动轴19上，然后将物品另一端缠绕在主动轴18上，将镀膜材料置于放置槽23内，闭合滑门3，通过控制器9检查电路，然后通过控制按钮4启动发射端21，配合正极20和镀膜材料对物品进行镀膜作业，同时可开启电机12，随着电机12的启动，带动主动轴19转动，进而带动镀膜物品继续做缠绕主动轴19的动作，实现镀膜作业过程中，镀膜物品的自动进给，避免在镀膜过程中频繁上下料，破坏密封环境。当镀膜作业结束后，可开启鼓风机5配合导气管7对机体1内部进行降温作业。
23.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.密封性强的磁控溅射镀膜机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的一侧固定侧壁固定连接有控制台(2)，所述机体(1)的内壁开设有镀膜槽(17)，所述机体(1)的一端侧壁开设有滑槽(16)，所述滑槽(16)的内壁滑动连接有滑门(3)，所述机体(1)靠近滑门(3)一端的侧壁固定连接有控制按钮(4)，所述镀膜槽(17)的底部固定连接有正极(20)，所述镀膜槽(17)的顶部固定连接有发射端(21)，所述镀膜槽(17)相互远离两侧的顶端侧壁共同固定连接有承载板(22)，所述承载板(22)的顶部开设有放置槽(23)，所述放置槽(23)的顶部均匀贯穿开设有多个贯穿孔(24)，所述放置槽(23)与发射端(21)的位置相匹配。2.根据权利要求1所述的密封性强的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的顶部设有鼓风机(5)，所述鼓风机(5)的外壁固定连接有防护罩(6)，所述防护罩(6)相互远离两端的底部分别与位置相匹配的机体(1)固定连接，所述鼓风机(5)的输出端固定连接有导气管(7)，所述导气管(7)远离鼓风机(5)的一端与位置相匹配的机体(1)顶部贯穿固定连接。3.根据权利要求1所述的密封性强的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述机体(1)远离滑门(3)一端的侧壁固定连接有支撑板(10)，所述支撑板(10)的顶部设有电机(12)，所述电机(12)的外壁固定连接有固定套(11)，所述固定套(11)相互远离两侧的底部均与支撑板(10)固定连接。4.根据权利要求3所述的密封性强的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述电机(12)的输出端固定连接有主动轴(18)，所述主动轴(18)通过轴承与镀膜槽(17)活动连接，所述镀膜槽(17)内壁远离主动轴(18)的一侧内壁活动连接有从动轴(19)。5.根据权利要求1所述的密封性强的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述控制台(2)的内壁开设有配电槽(13)，所述配电槽(13)的内壁均匀固定连接有多个继电器(14)，所述控制台(2)的底部均匀贯穿开设有多个接线孔(15)。6.根据权利要求1所述的密封性强的磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述控制台(2)远离机体(1)的一端活动连接有柜门(8)，所述控制台(2)的顶部固定连接有控制器(9)。

技术总结
本实用新型公开了镀膜技术领域的密封性强的磁控溅射镀膜机；包括机体，其特征在于：机体的一侧固定侧壁固定连接有控制台，机体的内壁开设有镀膜槽，机体的一端侧壁开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有滑门，机体靠近滑门一端的侧壁固定连接有控制按钮，镀膜槽的底部固定连接有正极，镀膜槽的顶部固定连接有发射端，镀膜槽相互远离两侧的顶端侧壁共同固定连接有承载板，承载板的顶部开设有放置槽，放置槽的顶部均匀贯穿开设有多个贯穿孔，放置槽与发射端的位置相匹配。本实用新型的有益效果是：本装置在进行磁控溅射镀膜作业时，可很好的对镀膜物品进行磁控溅射镀膜作业，同时在镀膜过程中无需频繁的上下料，避免破坏镀膜环境。避免破坏镀膜环境。避免破坏镀膜环境。


技术研发人员：崔福顺
受保护的技术使用者：镇江三维真空光学有限公司
技术研发日：2021.11.20
技术公布日：2022/6/14