一种磁控溅射磁铁装配工装的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射设备技术领域，尤其涉及一种磁控溅射磁铁装配工装。


背景技术：

2.在磁控溅射阴极磁棒装配过程中，传统装配过程为操作人员用手将磁铁放在磁靴中间，然后装配两边的磁铁，慢慢推到之前装配好的磁铁位置，在磁铁安装到磁靴上时，磁铁和磁铁之间的吸力极大，容易弄伤操作人员。另外，在磁铁吸到磁靴上时速度较快，磁铁会因为撞击产生微裂痕甚至碎裂，碎掉的磁铁极难清理，影响生产进度，同时，磁铁裂痕会影响磁控溅射阴极磁棒的磁性强度的一致性，增加返工几率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提出一种磁控溅射磁铁装配工装，该磁控溅射磁铁装配工装能够较好地保护操作者的安全，防止磁铁撞击磁靴，提升良品率，降低返工几率。
4.为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：
5.本实用新型公开了一种磁控溅射磁铁装配工装，包括：限位支架，所述限位支架上设有安装槽，所述安装槽的开口用于卡接磁靴；开关式磁力座，所述开关式磁力座可滑动地设在所述安装槽内；驱动件，所述驱动件设在所述限位支架上，且与所述开关式磁力座相连；缓冲件，所述缓冲件设在所述限位支架上，所述缓冲件位于所述磁力座背离所述驱动件的一端；其中：所述开关式磁力座具有无磁状态和有磁状态；所述驱动件驱动所述开关式磁力座运动时，所述开关式磁力座能够撞击所述缓冲件。
6.在一些实施例中，所述安装槽的侧壁上设有限位凸起，所述限位凸起止抵在所述磁靴上。
7.在一些具体的实施例中，所述安装槽相对设置的两个侧壁上均设有限位凸起。
8.在一些实施例中，所述开关式磁力座包括：本体，所述本体内设有线圈；旋钮，所述旋钮设在所述本体上且与所述线圈电连接，所述旋钮用于控制所述线圈的通电状态，以实现所述开关式磁力座在所述有磁状态和无磁状态切换。
9.在一些具体的实施例中，所述开关式磁力座还包括设在所述本体上的导向块，所述限位支架上设有沿所述开关式磁力座的运动方向延伸的导向槽，所述导向块可滑动地设在所述导向槽内，所述缓冲件设在所述导向槽的底壁上。
10.在一些更具体的实施例中，所述导向块为两个，两个所述导向块分别设在所述本体的相对设置的两个侧壁上。
11.在一些更具体的实施例中，所述导向块的侧壁与所述导向槽的侧壁间隔设置。
12.在一些实施例中，所述缓冲件包括：缓冲座，所述缓冲座连接在所述限位支架上，所述缓冲座内设有缓冲腔；缓冲头，所述缓冲头的一端伸入所述缓冲腔内，另一端设有弹性部。
13.在一些具体的实施例中，所述缓冲件还包括弹性件，所述弹性件套设在所述缓冲
头上，且一端止抵在所述缓冲座上，另一端止抵在所述弹性部上。
14.在一些实施例中，所述驱动件包括气缸、液压缸或者电动推杆中的任何一种。
15.本实用新型的磁控溅射磁铁装配工装的有益效果，由于设置有缓冲件，缓冲件能够缓冲待安装的磁铁撞击磁靴时两者之间的作用力，从而避免磁铁或者磁靴破损的现象，提升良品率，降低返工几率。且在整个操作过程中，只需要将带安装的磁铁放在开关式磁力座远离驱动件的一端即可，这样就能够避免磁铁与磁靴碰撞时造成的人员受伤。
16.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
17.图1是本实用新型实施例的磁控溅射磁铁装配工装与磁靴配合的结构示意图。
18.图2是本实用新型实施例的磁控溅射磁铁装配工装的结构示意图。
19.附图标记：
20.1、限位支架；11、安装槽；12、限位凸起；13、导向槽；2、开关式磁力座；21、本体；22、旋钮；23、导向块；3、驱动件；4、缓冲件；41缓冲座；42、缓冲头；421、弹性部；5、磁靴。
具体实施方式
21.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.下面参考图1-图2描述本实用新型实施例的磁控溅射磁铁装配工装。
26.本实用新型公开了一种磁控溅射磁铁装配工装，如图1-图2所示，本实施例的磁控溅射磁铁装配工装包括限位支架1、开关式磁力座2、驱动件3和缓冲件4，限位支架1上设有安装槽11，安装槽11的开口用于卡接磁靴5，开关式磁力座2可滑动地设在安装槽11内，驱动件3设在限位支架1上，且与开关式磁力座2相连，缓冲件4设在限位支架1上，缓冲件4位于开关式磁力座2背离驱动件3的一端。开关式磁力座2具有无磁状态和有磁状态；驱动件3驱动
开关式磁力座2运动时，开关式磁力座2能够撞击缓冲件4。可以理解的是，在实际工作过程中，首先将开关式磁力座2调整至无磁状态，然后将待安装的磁铁放置在开关式磁力座2远离驱动件3的一端，然后将开关式磁力座2调整至有磁状态，将待安装的磁铁牢固地吸附在开关式磁力座2上，接着启动驱动件3驱动待安装的磁铁朝向靠近磁靴5的方向运动，由于设置有缓冲件4，缓冲件4能够缓冲待安装的磁铁撞击磁靴5时两者之间的作用力，从而避免磁铁或者磁靴5破损的现象，提升良品率，降低返工几率。与此同时，根据前文所述，在整个操作过程中，只需要将待安装的磁铁放在开关式磁力座2远离驱动件3的一端即可，这样就能够避免磁铁与磁靴5碰撞时造成的人员受伤。
27.在一些实施例中，如图1所示，安装槽11的侧壁上设有限位凸起12，限位凸起12止抵在磁靴5上。可以理解的是，在实际安装过程中，在待安装的磁铁朝向磁靴5运动时，由于磁吸作用力，磁靴5可能会向上运动从而撞击磁铁。在本实施例中，增设的限位凸起12能够避免磁靴5在待安装的磁铁的作用下向上运动，避免磁靴5撞击磁铁的现象发生，从而提升良品率，降低返工几率。
28.在一些具体的实施例中，如图1-图2所示，安装槽11相对设置的两个侧壁上均设有限位凸起12。可以理解的是，设置两个限位凸起12能够最大限度的避免磁靴5向上运动，从而较好地避免磁靴5和待安装的磁铁之间出现撞击。这里需要说明的是，限位凸起12可以形成为长条形的凸棱，也可以是多个间隔分布的限位柱，限位凸起12的形状以及分布可以根据实际需要选择，在此并不对限位凸起12的形状以及分布进行限定。
29.在一些实施例中，如图1-图2所示，开关式磁力座2包括本体21和旋钮22，本体21内设有线圈，旋钮22设在本体21上且与线圈电连接，旋钮22用于控制线圈的通电状态，以实现开关式磁力座2在有磁状态和无磁状态切换。可以理解的是，在实际工作过程中，只需要转动旋钮22即可控制线圈是否带电，从而较好实现开关式磁力座2在有磁状态和无磁状态切换。当然，这里需要说明的是，在本实用新型的其他实施例中，开关式磁力座2可以直接形成为一个电磁铁，通过外部开关实现有磁状态和无磁状态切换，开关式磁力座2可以根据实际需要选择具体结构，并不限于上述限定。
30.在一些具体的实施例中，如图1-图2所示，开关式磁力座2还包括设在本体21上的导向块23，限位支架1上设有沿开关式磁力座2的运动方向延伸的导向槽13，导向块23可滑动地设在导向槽13内，缓冲件4设在导向槽13的底壁上。可以理解的是，导向槽13能够限制开关式磁力座2的运动方向，避免开关式磁力座2发生歪斜的现象发生。将缓冲件4设在导向槽13的底壁上，能够在节省空间的同时方便缓冲件4安装，提升了组装效率。
31.在一些更具体的实施例中，导向块23为两个，两个导向块23分别设在本体21的相对设置的两个侧壁上。由此，能够较好地限制本体21的运动方向。这里需要说明的是，导向块23的形状以及大小可以根据实际需要选择，在此并不做具体限定。
32.在一些更具体的实施例中，如图1-图2所示，导向块23的侧壁与导向槽13的侧壁间隔设置。可以理解的是，导向块23的侧壁与导向槽13的侧壁间隔设置虽然会降低导向槽13对导向块23的导向作用，但是能够降低导向块23受到的摩擦力，降低导向块23的磨损程度。这里需要说明的是，导向块23的侧壁和导向槽13的侧壁之间的间隔可以在保证导向块23不会出现较大歪斜的情况下进行设置，在此不对导向块23的侧壁和导向槽13的侧壁之间的间隔进行具体限定。
33.在一些实施例中，如图1-图2所示，缓冲件4包括缓冲座41和缓冲头42，缓冲座41连接在限位支架1上，缓冲座41内设有缓冲腔，缓冲头42的一端伸入缓冲腔内，另一端设有弹性部421。
34.在一些具体的实施例中，缓冲件4还包括弹性件(图未示出)，弹性件套设在缓冲头42上，且一端止抵在缓冲座41上，另一端止抵在弹性部421上。由此，能够进一步提升缓冲件4的缓冲作用，较好地缓冲开关式磁力座2上的待安装的磁铁和磁靴5的撞击，从而较好地避免磁铁和磁靴5出现损坏。
35.在一些实施例中，驱动件3包括气缸、液压缸或者电动推杆中的任何一种。当然，驱动件3还可以根据实际需要选择其他直线驱动结构。
36.实施例：
37.下面参考图1-图2描述本实用新型一个具体实施例的磁控溅射磁铁装配工装的具体结构。
38.如图1-图2所示，本实施例的磁控溅射磁铁装配工装包括限位支架1、开关式磁力座2、驱动件3和缓冲件4，限位支架1上设有安装槽11和导向槽13，安装槽11的开口用于卡接磁靴5，安装槽11相对设置的两个侧壁上均设有限位凸起12,限位凸起12止抵在磁靴5上。导向槽13沿上下方向延伸设置。开关式磁力座2包括本体21、旋钮22和两个导向块23，本体21内设有线圈，旋钮22设在本体21上且与线圈电连接，旋钮22用于控制线圈的通电状态，以实现开关式磁力座2在有磁状态和无磁状态切换。两个导向块23分别设在本体21的相对设置的两个侧壁上。每个导向块23可滑动地设在导向槽13内，缓冲件4包括缓冲座41和缓冲头42，缓冲座41连接在限位支架1上，缓冲座41内设有缓冲腔，缓冲头42的一端伸入缓冲腔内，另一端设有弹性部421。驱动件3为气缸且设在限位支架1上，且与开关式磁力座2相连。
39.本实施例的磁控溅射磁铁装配工装的优点如下：
40.第一：增设的缓冲件4能够缓冲待安装的磁铁撞击磁靴5时两者之间的作用力，从而避免磁铁或者磁靴5破损的现象，提升良品率，降低返工几率
41.第二：在整个操作过程中，只需要将带安装的磁铁放在开关式磁力座2远离驱动件3的一端即可，能够避免磁铁与磁靴5碰撞时造成的人员受伤；
42.第三：限位凸起12能够最大限度的避免磁靴5向上运动，从而较好地避免磁靴5和待安装的磁铁之间出现撞击。
43.在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
44.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。