一种超高纯铜靶材热挤压成型方法与流程

技术特征：
1.一种超高纯铜靶材热挤压成型方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：将超高纯铜杆加热至750-850℃，然后依次进行热挤压和冷却，得到超高纯铜靶材。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述超高纯铜杆的直径为10-20mm。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述热挤压的速度为220-380mm/min；优选地，所述冷却的温度为20-30℃；优选地，所述冷却使用的冷却液为工业酒精与水的混合液；优选地，所述工业酒精的浓度为5-10％。4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述热挤压和冷却之间还包括防氧化处理；优选地，所述防氧化处理为将热挤压成型的超高纯铜板坯通过真空防氧化装置。5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述热挤压的挤压模具为五级阶梯式扩展变形通道；优选地，所述挤压模具加热的温度为650-700℃；优选地，所述五级阶梯式扩展变形通道的每一级的扩展厚度均相同。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述五级阶梯式扩展变形通道的第一级扩展变形通道的扩展角度为30-40
°
，扩展高度为10-15mm，扩展宽度为20-30mm，扩展厚度为30-40mm。7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述五级阶梯式扩展变形通道的第二级扩展变形通道的扩展角度为95-105
°
，扩展高度为10-20mm，扩展宽度为80-100mm，扩展厚度为30-40mm。8.根据权利要求5-7任一项所述的方法，其特征在于，所述五级阶梯式扩展变形通道的第三级扩展变形通道的扩展角度为150-160
°
，扩展高度为10-20mm，扩展宽度为180-230mm，扩展厚度为30-40mm。9.根据权利要求5-8任一项所述的方法，其特征在于，所述五级阶梯式扩展变形通道的第四级扩展变形通道的扩展角度为155-165
°
，扩展高度为10-20mm，扩展宽度为350-400mm，扩展厚度为30-40mm。10.根据权利要求5-9任一项所述的方法，其特征在于，所述五级阶梯式扩展变形通道的第五级扩展变形通道的扩展角度为100-110
°
，扩展高度为25-35mm，扩展宽度为400-480mm，扩展厚度为30-40mm。

技术总结
本发明提供了一种超高纯铜靶材热挤压成型方法，所述方法包括以下步骤：将超高纯铜杆加热至750-850℃，然后依次进行热挤压和冷却，得到超高纯铜靶材；所述热挤压的挤压模具为五级阶梯式扩展变形通道；所述挤压模具加热的温度为650-700℃；所述五级阶梯式扩展变形通道的每一级的扩展厚度均相同。本发明通过一次热挤压成型制作出铜靶材，设计的挤压模具使铜板坯变形更加均匀，晶粒大小分布更均匀，更利于成型；所述成本低、工艺简单、效率高，制备的铜板坯晶粒尺寸为20-30μm，晶粒均一。晶粒均一。晶粒均一。


技术研发人员：姚力军 潘杰 王学泽 周友平 慕二龙 汪焱斌
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2022.03.21
技术公布日：2022/6/7