分子泵辅助安装装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空或者高真空半导体行业技术领域，特别是涉及一种分子泵辅助安装装置。


背景技术：

2.随着科学技术的迅速发展，对真空系统也提出新的要求，特别是对超高真空和无油真空环境的需求，过去大量使用扩散的油泵抽气系统已经不能适应无油洁净超高真空的要求。而分子泵适用于在要求洁净的高真空和超高真空的仪器和设备上使用，也可用来作为离子泵，升华泵，低温泵等气体补集超高真空泵的前级预抽真空泵使用，以此获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。
3.现有的分子泵常见的两种安装方式，侧装在机台腔体下方和倒立装在机台上方。但是侧装方式安装，特别是在空间狭窄的位置，没有辅助安装装置，很多企业安装和拆卸分子泵，大多都是依靠多人配合(约3-5人)才能完成分子泵的拆卸，费时费力；并且分子泵约40-50kg，在狭窄空间作业时，掉落后砸伤人的后也非常严重，安装极其不方便而且分子泵本身比较重，人力抬分子泵相当于悬臂梁远离紧固端施加力，悬臂越长约束端所受的约束力越大，稍有不慎就会落下，存在砸伤人的风险。


技术实现要素：

4.基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种分子泵辅助安装装置，能够有效提高分子泵的拆装效率，同时提高拆装作业的安全性。
5.其技术方案如下：一种分子泵辅助安装装置，包括：移动小车；调整机构，所述调整机构包括底板、滚动件、承重板及限位组件，所述滚动件设置于所述底板和所述承重板之间，使得所述承重板通过所述滚动件能够相对所述底板运动，所述限位组件沿所述底板的周向设置，所述承重板与所述限位组件限位配合；升降组件，所述升降组件与所述移动小车连接，所述底板与所述升降组件连接，所述升降组件驱使所述调整机构沿所述升降组件的高度方向运动。
6.上述分子泵辅助安装装置，在使用过程中，将分子泵辅助安装装置推到现场，并使得分子泵辅助安装装置放到需要作业位置的正下方，大概对好位置；然后，将分子泵放在承重板之上；放置好后，操作升降组件，通过升降组件的升降作用驱使调整机构上升；当升至工作位置时，为了泵体法兰口端面和管道法兰位置能对上，所以需要在水平面上微调分子泵的位置，轻轻推动承重板，微调分子泵的位置，进而使得分子泵对准管道法兰，进而方便安装分子泵，拆卸刚好与此相反。本分子泵辅助安装装置，通过升降组件和调整机构的配合，使得承重板通过滚动件实现水平方向的滚动，有效提高分子泵的拆卸和安装的效率，同时无需人工搬运，有利于减少人工劳动强度，提高拆装作业的安全性。
7.在其中一个实施例中，所述滚动件为两个以上，两个以上所述滚动件间隔设置于所述底板上，所述承重板与两个以上所述滚动件滚动配合。
8.在其中一个实施例中，所述滚动件为牛眼滚珠，所述牛眼滚珠的底座与所述底板连接，所述牛眼滚珠的滚珠与所述承重板滚动配合。
9.在其中一个实施例中，所述限位组件包括至少两个限位挡板，两个所述限位挡板分别设置于所述底板的相对两端，所述承重板与两个所述限位挡板限位配合。
10.在其中一个实施例中，所述限位组件还包括两个以上限位柱，至少两个所述限位柱分别设置于所述底板的相对两端，且所述限位柱与所述限位挡板沿所述底板的周向设置，所述承重板与来给个以上所述限位柱限位配合。
11.在其中一个实施例中，所述调整机构还包括定位件，所述定位件设置于所述承重板上，所述承重板通过所述定位件与所述底板定位配合。
12.在其中一个实施例中，所述升降组件包括第一连杆、第二连杆、转轴及驱动件，所述第一连杆与所述第二连杆交叉转动连接，且所述第一连杆的一端与第二连杆的一端均与底板转动连接，所述第一连杆的另一端与所述移动小车转动连接，所述第二连杆的另一端与所述转轴转动连接，所述驱动件与所述转轴驱动连接，所述驱动件驱使所述转轴沿所述移动小车的长度方向运动。
13.在其中一个实施例中，所述升降组件还包括导向板，所述导向板与所述移动小车连接，所述第一连杆的一端与所述导向板转动连接，所述导向板上设有导槽，所述转轴与所述导槽导向配合。
14.在其中一个实施例中，所述第一连杆、所述第二连杆及所述导向板均为至少两个，两个导向板沿所述移动小车的宽度方向间隔设置，所述转轴的两端分别与两个导槽导向配合。
15.在其中一个实施例中，所述升降组件还包括固定块，所述固定块与所述移动小车连接，所述驱动件为液压活塞，所述液压活塞的一端与所述固定块连接，所述液压活塞的输出端与所述转轴转动连接。
附图说明
16.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为一实施例中所述的分子泵辅助安装装置的结构示意图一；
19.图2为一实施例中所述的分子泵辅助安装装置的结构示意图二。
20.附图标记说明：
21.100、分子泵辅助安装装置；110、移动小车；120、调整机构；121、底板；122、滚动件；123、承重板；124、限位组件；1241、限位挡板；1242、限位柱；125、定位件；130、升降组件；131、第一连杆；132、第二连杆；133、转轴；134、驱动件；135、导向板；136、导槽；137、固定块；200、分子泵。
具体实施方式
22.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
23.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
24.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
25.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
27.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
28.请参阅图1与图2，本实用新型一实施例提供了的一种分子泵辅助安装装置100，包括：移动小车110、调整机构120及升降组件130。调整机构120包括底板121、滚动件122、承重板123及限位组件124，滚动件122设置于底板121和承重板123之间，使得承重板123通过滚动件122能够相对底板121运动，限位组件124沿底板121的周向设置，承重板123与限位组件123限位配合。升降组件130与移动小车110连接，底板121与升降组件130连接，升降组件130驱使调整机构120沿升降组件130的高度方向运动。
29.上述分子泵辅助安装装置100，在使用过程中，将分子泵辅助安装装置100推到现场，并使得分子泵辅助安装装置100放到需要作业位置的正下方，大概对好位置；然后，将分
子泵200放在承重板123之上；放置好后，操作升降组件130，通过升降组件130的升降作用驱使调整机构120上升；当升至工作位置时，为了泵体法兰口端面和管道法兰位置能对上，所以需要在水平面上微调分子泵200的位置，轻轻推动承重板123，微调分子泵200的位置，进而使得分子泵200对准管道法兰，进而方便安装分子泵200，拆卸刚好与此相反。本分子泵辅助安装装置100，通过升降组件130和调整机构120的配合，使得承重板123通过滚动件122实现水平方向的滚动，有效提高分子泵200的拆卸和安装的效率，同时无需人工搬运，有利于减少人工劳动强度，提高拆装作业的安全性。
30.其中，为了进一步理解与说明升降组件130的高度方向，以图1为例，升降组件130的高度方向为图1中直线s1上任意一箭头所指的方向。
31.其中，滚动件122设置于底板121和承重板123之间应理解为，滚动件122的设置方式至少有三种，一种是滚动件122设置与底板121上，承重件123与滚动件122滚动配合。第二种是滚动件122设置在承重板123上，底板121与滚动件122滚动配合。第三种是滚动件122滚动设置在承重板123与底板121之间，底板121与承重板123都与滚动件122滚动配合。
32.在一个实施例中，请参阅图1，滚动件122为两个以上，两个以上滚动件122间隔设置于底板121上，承重板123与两个以上滚动件122滚动配合。如此，两个以上滚动件122的支撑和滚动作用有利于提高承重板123在底板121上的运动稳定性与顺畅性，同时滚动件122设置于底板121上方便承重板123的滚动和更换，同时保证滚动件122不会四处滚动，进而提高调整机构120的使用效果，提高分子泵200的拆装效率。
33.可选地，滚动件122可为滚珠、滚柱或其它形状的滚动元件。
34.具体地，请参阅图2，滚动件122为牛眼滚珠，牛眼滚珠的底座与底板121连接，牛眼滚珠的滚珠与承重板123滚动配合。如此，一方面有利于提高滚动件122与底座的连接稳定性，同时，牛眼滚珠有利于提高承重板123的滚动顺畅性，进而提高调整机构120的整体品质。本实施例仅提供一种滚动件122的具体实施方式，但并不以此为限。
35.在一个实施例中，请参阅1与图2，限位组件124包括至少两个限位挡板1241，两个限位挡板1241分别设置于底板121的相对两端，承重板123与两个限位挡板1241限位配合。
36.具体地，两个限位挡板1241沿底板121的宽度方向分别设置于底板121的相对两端。如此，有利于在两边对承重板123起限位作用，避免承重板123脱离底板121导致分子泵200掉落，提高调整机构120的使用可靠性。
37.其中，为了进一步理解与说明底板121的宽度方向，以图1为例，底板121的宽度方向为图1中直线s2上任意一箭头所指的方向。
38.进一步地，请参阅图1，限位组件124还包括两个以上限位柱1242，至少两个限位柱1242分别设置于底板121的相对两端，且限位柱1242与限位挡板1241沿底板121的周向设置，承重板123与两个以上限位柱1242限位配合。
39.具体地，请参阅图1，限位组件124包括四个限位柱1242，四个限位柱1242沿底板121的长度方向两两对应设置。如此，限位柱1242与限位挡板1241组合，能够进一步提高限位作用，同时限位柱1242体积小，有利于减少分子泵200拆装时的阻碍，进而提高调整机构120的使用品质。
40.其中，为了进一步理解与说明底板121的长度方向，以图1为例，底板121的长度方向为图1中直线s3上任意一箭头所指的方向。
41.在一个实施例中，请参阅图1与图2，调整机构120还包括定位件125，定位件125设置于承重板123上，承重板123通过定位件125与底板121定位配合。如此，在升降分子泵200时，通过定位件125的定位作用能够保证承重板123不发生移动，从而避免分子泵200发生位移导致侧倾掉落等情况发生。
42.进一步地，请参阅图1与图2，定位件125为至少两个，两个定位件125在承重板123上间隔设置。如此，两个定位件125能够避免承重板123绕定位件125旋转导致发生移动，进一步提高定位效果。
43.可选地，定位件125可为定位销、卡扣、定位锁、定位槽或其它定位结构。
44.具体地，请参阅图1与图2，定位件125为定位销。如此，结构简单，操作便利，有利于提高分子泵辅助安装装置100的使用便利性。本实施例仅提供一种定位件125的具体实施方式，但并不以此为限。
45.在一个实施例中，请参阅图1与图2，升降组件130包括第一连杆131、第二连杆132、转轴133及驱动件134。第一连杆131与第二连杆132交叉转动连接，且第一连杆131的一端与第二连杆132的一端均与底板121转动连接。第一连杆131的另一端与移动小车110转动连接，第二连杆132的另一端与转轴133转动连接。驱动件134与转轴133驱动连接，驱动件134驱使转轴133沿移动小车110的长度方向运动。如此，驱动件134驱使转轴133运动，通过第一连杆131与第二连杆132的传动作用，进而完成调整机构120的升降动作。
46.需要说明的是，小车的长度方向与底板121的长度方向相同，均为图1中直线s3上任意一箭头所指的方向。
47.进一步地，请参阅图1与图2，升降组件130还包括导向板135，导向板135与移动小车110连接。第一连杆131的一端与导向板135转动连接，导向板135上设有导槽136，转轴133与导槽136导向配合。如此，在驱动件134的驱动作用下，转轴133在导槽136内导向运动，有利于提高转轴133的运动平稳性，进而提高调整机构120的升降平稳性。
48.更进一步地，请参阅图1与图2，第一连杆131、第二连杆132及导向板135均为至少两个，两个导向板135沿移动小车110的宽度方向间隔设置，转轴133的两端分别与两个导槽136导向配合。如此，有利于提高升降组件130的承重能力和对调整机构120的支撑效果，进而进一步提高调整机构120的升降稳定性与可靠性。
49.需要说明的是，移动小车110的宽度方向与底板121的宽度方向相同，均为图1中直线s2上任意一箭头所指的方向。
50.可选地，第一驱动件134可为气缸、油缸、电动伸缩杆或其它驱动装置。
51.具体地，请参阅图1与图2，升降组件130还包括固定块137，固定块137与移动小车110连接，驱动件134为液压活塞，液压活塞的一端与固定块137连接，液压活塞的输出端与转轴133转动连接。如此，结构简单，便于操作，且驱动效果省力，固定块137对液压活塞起固定作用，保证驱动件134的驱动效果，进而有利于保证作业的安全性。本实施例仅提供一种驱动件134的具体实施方式，但并不以此为限。
52.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
53.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，
但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。