一种单晶炉籽晶夹头的制作方法

1.本实用新型属于半导体磁场单晶炉设备技术领域，具体涉及一种单晶炉籽晶夹头。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。
3.在半导体磁场单晶炉设备中需要对重锤和籽晶进行安装，但是由于传统的重锤与钨丝绳采用直接粘接，导致容易脱落使得重锤经常掉落。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉籽晶夹头，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉籽晶夹头，包括重锤、连接在重锤上部的钨丝绳以及连接在重锤下部的籽晶夹头本体，所述重锤的上部开设有方形通槽，在方形通槽中间间隙配合设有呈倒置的t形开口套，所述钨丝绳的一端贯穿至方形通槽和t形开口套中，且对t形开口套固定连接，所述重锤的下部连接有可拆卸式连接轴件，所述可拆卸式连接轴件与籽晶夹头本体连接，所述籽晶夹头本体的内腔中纵向贯穿插接有籽晶。
6.优选的，所述重锤的主体为圆柱形结构，圆柱形结构的上部设有阶梯过渡台，所述阶梯过渡台上设有上端头轴件，所述方形通槽开设在上端头轴件中。
7.优选的，所述上端头轴件周侧套设有夹头护套，所述夹头护套的顶面中间位置开设有第一通孔，所述上端头轴件的顶面中间位置开设有第二通孔，所述钨丝绳纵向穿过第一通孔和第二通孔。
8.优选的，所述可拆卸式连接轴件通过螺旋拆卸组件与重锤连接，所述夹头护套为钛合金材料，转动不受磁场影响。
9.优选的，所述螺旋拆卸组件包括安装在重锤底面的梯形斜面台、连接在梯形斜面台底面的外螺纹管以及开设在可拆卸式连接轴件顶面的内螺纹孔。
10.优选的，所述可拆卸式连接轴件顶面设有与梯形斜面台适配的内锥斜面孔，所述内螺纹孔位于内锥斜面孔的下方。
11.优选的，所述t形开口套内自上而下依次开设有第一内孔和第二内孔，且第一内孔的直径尺寸小于第二内孔的直径尺寸，在所述第二内孔的下端边缘设有圆锥面的圆角件。
12.本实用新型的技术效果和优点：
13.该单晶炉籽晶夹头，钨丝绳延伸至方形通槽中与t形开口套连接，且t形开口套在方形通槽中间隙配合连接，而重锤与可拆卸式连接轴件连接，可拆卸式连接轴件与籽晶夹头本体连接，使得钨丝绳可以对重锤连接连接固定，防止重锤掉落，从而提高其连接稳定性；
14.重锤的梯形斜面台与可拆卸式连接轴件适配连接，使梯形斜面台与内锥斜面孔适配卡接，而外螺纹管与内螺纹孔适配安装，从而对重锤和可拆卸式连接轴件匹配安装拆卸，从而便于对其进行检修。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的重锤和夹头护套的拆分结构示意图；
17.图3为本实用新型的籽晶夹头本体和可拆卸式连接轴件的拆卸结构示意图；
18.图4为本实用新型的上端头轴件的剖视图；
19.图5为本实用新型的重锤的局部剖视图。
20.图中：1、钨丝绳；2、t形开口套；3、夹头护套；4、重锤；5、籽晶夹头本体；6、籽晶；7、可拆卸式连接轴件；8、阶梯过渡台；9、第一通孔；10、密封圈；11、上端头轴件；12、第二通孔；13、梯形斜面台；14、外螺纹管；15、内锥斜面孔；16、内螺纹孔；17、限位盘；18、方形通槽；19、圆角件。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
22.请参阅附图1-附图5，一种单晶炉籽晶夹头，包括重锤4、连接在重锤4上部的钨丝绳1以及连接在重锤4下部的籽晶夹头本体5，重锤4的上部开设有方形通槽18，方形通槽18的长为l1，高为h1，重锤4的上端面中心开有通孔d，通孔d连通至方形通槽18，该通孔d的孔径为d，t形开口套2的总高为h2，外表面大径为d1，外表面小径为d2，且满足h1＞h2，l1＞d1，d2＞d；
23.在方形通槽18中间间隙配合设有呈倒置的t形开口套2，钨丝绳1的一端贯穿至方形通槽18和t形开口套2中，且对t形开口套2固定连接，重锤4的下部连接有可拆卸式连接轴件7，可拆卸式连接轴件7与籽晶夹头本体5连接，籽晶夹头本体5的内腔中纵向贯穿插接有籽晶6，籽晶夹头本体5和可拆卸式连接轴件7之间设有密封圈10，籽晶夹头本体5与可拆卸式连接轴件7之间通过锥形面定位相连，定位同心度高，受力接触面大，籽晶6不易折断，重锤4、籽晶夹头本体5采用钼质材料，t形开口套2、夹头护套3采用钛合金材料，转动不受磁场影响；
24.籽晶夹头本体5顶面设有与籽晶6连接的限位盘17，其可拆卸式连接轴件7底面开设有与限位盘17适配的限位凹槽，重锤4的主体为圆柱形结构，圆柱形结构的上部设有阶梯过渡台8，阶梯过渡台8上设有上端头轴件11，方形通槽18开设在上端头轴件11中；
25.上端头轴件11周侧套设有夹头护套3，夹头护套3的顶面中间位置开设有第一通孔
9，上端头轴件11的顶面中间位置开设有第二通孔12，钨丝绳1纵向穿过第一通孔9和第二通孔12，可拆卸式连接轴件7通过螺旋拆卸组件与重锤4连接，夹头护套3为钛合金材料，转动不受磁场影响，螺旋拆卸组件包括安装在重锤4底面的梯形斜面台13、连接在梯形斜面台13底面的外螺纹管14以及开设在可拆卸式连接轴件7顶面的内螺纹孔16；
26.可拆卸式连接轴件7顶面设有与梯形斜面台13适配的内锥斜面孔15，内螺纹孔16位于内锥斜面孔15的下方，t形开口套2内自上而下依次开设有第一内孔和第二内孔，且第一内孔的直径尺寸小于第二内孔的直径尺寸，在第二内孔的下端边缘设有圆锥面的圆角件19。
27.工作原理：
28.该单晶炉籽晶夹头，钨丝绳1延伸至方形通槽18中与t形开口套2连接，且t形开口套2在方形通槽18中间隙配合连接，而重锤4与可拆卸式连接轴件7连接，可拆卸式连接轴件7与籽晶夹头本体5连接，使得钨丝绳1可以对重锤4连接连接固定，防止重锤4掉落；
29.钨丝绳1的下端是圆柱型台阶结构，且圆柱型台阶结构的底端是球面度为sr的球面，圆柱型台阶结构的底面直径为d3，圆柱型台阶结构的底面和t形开口套2内部的第二通孔12间隙配合，圆柱型台阶结构的底端球面的直径大于d3，钨丝绳1直径为d4，且d4＜d2，钨丝绳1的底端球面和圆柱型台阶结构的总高度为h3；
30.钨丝绳1的底端球面能与t形开口套2内部第一内孔处的倒角相切，钨丝绳1能穿过重锤4的通孔d使钨丝绳1在重锤4方形通槽18的长度大于t形开口套2的高度，钨丝绳1在t形开口套2内部第一内孔中心，且t形开口套2倒t上部进入到重锤4孔中，t形开口套2倒t字形上部与重锤4的通孔d公差间隙配合，并通过t形开口套2倒t字形下部台阶连接重锤4；
31.重锤4、t形开口套2、钨丝绳1还满足：h2 h3＞h1，籽晶夹头本体5的上段利用内腔的内锥面、内腔内螺纹、和重锤4配合连接，夹头护套3为圆环状，夹头护套3用于减少内部高温辐射到钨丝绳1底端的球面，夹头护套3保证在安装好重锤4、t形开口套2、籽晶夹头本体5、籽晶6后，能通过第一通孔9和第二通孔12穿过钨丝绳1安装在重锤4上，用于遮住重锤4的方形通槽18，从而保护重锤4与钨丝绳1连接，防止重锤4掉落。
32.以上所述，仅为实用新型较佳的具体实施方式，但实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在实用新型揭露的技术范围内，根据实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在实用新型的保护范围之内。