一种气体分阀箱用气体输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种气体输送装置，具体为一种气体分阀箱用气体输送装置。


背景技术：

2.在现代工业及高新科技的发展中，几乎所有的智能器件都离不开半导体，而半导体的加工包括像金属、介电和半导体材料的化学气相沉积(cvd)这样的沉积处理，表面层的蚀刻，光刻胶掩膜层的抛光等等。在半导体的这些加工过程中，需要用到大量气体进行反应，需要引入多种气体，这些气体各自通过气体分阀箱(valve manifold box，vmb)来进行分流输送。现有的气体输送装置存在以下不足之处：
3.1、现有的气体输送装置，再气体发生泄露时，不能把及时发出警报提醒工作人员，当输送的是有毒有害气体，一旦发生泄露不能发现及时，可能导致工作人员中毒，且再检修时，输气馆内会残留气体，不方便检修，需要先将气体排出收集。
4.2、现有的气体输送装置安全性较差，不能很好的对装置进行监测，防止意外发生。
5.因此需要一种气体分阀箱用气体输送装置对上述问题做出改善。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种气体分阀箱用气体输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
8.一种气体分阀箱用气体输送装置，包括装置本体，所述装置本体一侧表面固定连接有抽气口，所述抽气口下侧固定设有进气口，所述进气口下侧固定设有抽气风口，所述装置本体另一侧表面固定连接有进风口，所述装置本体内部一侧表面固定连接有管道固定面板，所述管道固定面板一侧表面固定安装有主输送管道，所述主输送管道一侧等距离固定设有分流输送管道，所述主输送管道上固定设有主控制阀门，所述主输送管道上固定连接有气体输送辅助管道，所述气体输送辅助管道一侧表面等距离固定连接有第二连接管，一个所述第二连接管的一端与主输送管道固定连接，剩余所述第二连接管的一端分别与分流输送管道固定连接，所述分流输送管道上和主输送管道均固定设有压力检测表，所述分流输送管道上设有压力调节阀，所述分流输送管道上端固定连接有出气管道，所述出气管道一端固定设有输气孔，所述主输送管道上侧固定设有抽真空管道。
9.作为本实用新型优选的方案，所述抽真空管道上端固定连接有抽真空泵，所述抽真空管道上设有阀门，所述抽真空管道上连接有抽气辅助管道，所述抽气辅助管道一侧表面等距离固定连接有第一连接管，一个所述第一连接管一端与抽真空管道固定连接，剩余所述第一连接管的一端分别与分流输送管道固定连接。
10.作为本实用新型优选的方案，所述装置本体底部固定设有处理器，所述处理器一侧固定设有风管，所述风管上固定连接有气泵，所述气泵上侧设有电磁阀。
11.作为本实用新型优选的方案，所述管道固定面板一侧表面固定连接有压强传感
器，所述压强传感器一侧固定设有高温探头，所述高温探头一侧固定设有气体监测探头。
12.作为本实用新型优选的方案，所述抽气口与抽真空泵之间通过管道连接，所述进气口与主输送管道之间通过管道连接，所述抽气风口与风管固定连接。
13.作为本实用新型优选的方案，所述装置本体一侧表面通过开合页连接有箱门，所述箱门一侧表面固定连接有显示屏，所述显示屏下侧固定设有控制面板，所述箱门下侧固定设有警报器。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1、本实用新型中，通过设置的气体监测探头、警报器和抽真空泵，通过气体监测探头对气体进行监测，当气体监测探头监测到气体时，则说明气体发生泄露，气体监测探头将信号传递给处理器，处理器启动警报器发出警报，提醒工作人员进行检修，当需要检修时，先打开阀门并启动抽真空泵将分流输送管道内的气体收集，再打开箱门进行检修，能够及时发现气体泄露并发出警报提醒工作人员，有效防止意外发生，同时能够自动对输气管内的气体进行抽出收集，方便后续检修工作。
16.2、本实用新型中，通过设置的压强传感器和高温探头，压强传感器对装置本体内的压强进行监测，装置本体内需要始终保持负压，当压强高于预设值时，压强传感器将信号传递给处理器，处理器打开电磁阀并启动气泵进行抽气，高温探头实时监测装置本体内部的温度，当温度过高时，则打开进风口进行通风散热，能够实时监测装置内部，并采取措施，安全性较高。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体图；
18.图2为本实用新型的正剖面结构示意图；
19.图3为本实用新型的侧剖面结构示意图；
20.图4为本实用新型的横剖面结构示意图。
21.图中：1、装置本体；2、输气孔；3、显示屏；4、控制面板；5、警报器；6、抽气风口；7、进气口；8、抽气口；9、抽真空泵；10、管道固定面板；11、箱门；12、出气管道；13、抽气辅助管道；14、第一连接管；15、分流输送管道；16、压力调节阀；17、处理器；18、气体监测探头；19、高温探头；20、压强传感器；21、气泵；22、电磁阀；23、气体输送辅助管道；24、第二连接管；25、压力检测表；26、主控制阀门；27、主输送管道；28、抽真空管道；29、阀门；30、进风口；31、风管。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关对本实用新型进行更全面的描述。给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
24.需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
25.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
26.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
27.实施例1，请参照图1、2、3和4，一种气体分阀箱用气体输送装置，包括装置本体1，装置本体1一侧表面固定连接有抽气口8，抽气口8下侧固定设有进气口7，进气口7下侧固定设有抽气风口6，装置本体1另一侧表面固定连接有进风口30，装置本体1内部一侧表面固定连接有管道固定面板10，管道固定面板10一侧表面固定安装有主输送管道27，主输送管道27一侧等距离固定设有分流输送管道15，主输送管道27上固定设有主控制阀门26，主输送管道27上固定连接有气体输送辅助管道23，气体输送辅助管道23一侧表面等距离固定连接有第二连接管24，一个第二连接管24的一端与主输送管道27固定连接，剩余第二连接管24的一端分别与分流输送管道15固定连接，分流输送管道15上和主输送管道27均固定设有压力检测表25，分流输送管道15上设有压力调节阀16，分流输送管道15上端固定连接有出气管道12，出气管道12一端固定设有输气孔2，主输送管道27上侧固定设有抽真空管道28；抽真空管道28上端固定连接有抽真空泵9，抽真空管道28上设有阀门29，抽真空管道28上连接有抽气辅助管道13，抽气辅助管道13一侧表面等距离固定连接有第一连接管14，一个第一连接管14一端与抽真空管道28固定连接，剩余第一连接管14的一端分别与分流输送管道15固定连接；装置本体1底部固定设有处理器17，处理器17一侧固定设有风管31，风管31上固定连接有气泵21，气泵21上侧设有电磁阀22；管道固定面板10一侧表面固定连接有压强传感器20，压强传感器20一侧固定设有高温探头19，高温探头19一侧固定设有气体监测探头18；将气体管道分别与进气口7和连接输气孔2连接，打开主控制阀门26使气体通过进气口7进入主输送管道27内，再通过第二连接管24和气体输送辅助管道23使气体进入分流输送管道15内进行分流输送，再通过出气管道12和输气孔2输送给设备，压力检测表25检测各个管道内的压强并将数据从传递给处理器17，所述处理器17将数据显示在显示屏3上，通过控制面板4控制压力调节阀16进行对经过分流输送管道15内的气体进行流量调节，通过气体监测探头18对气体进行监测，当气体监测探头18监测到气体时，则说明气体发生泄露，气体监测探头18将信号传递给处理器17，处理器17启动警报器5发出警报，提醒工作人员进行检修，当需要检修时，先打开阀门29并启动抽真空泵9将分流输送管道15内的气体收集，再打开箱门11进行检修。
28.实施例2，请参照图1、2、3和4，一种气体分阀箱用气体输送装置，包括装置本体1，装置本体1一侧表面固定连接有抽气口8，抽气口8下侧固定设有进气口7，进气口7下侧固定设有抽气风口6，装置本体1另一侧表面固定连接有进风口30，装置本体1内部一侧表面固定连接有管道固定面板10，管道固定面板10一侧表面固定安装有主输送管道27，主输送管道27一侧等距离固定设有分流输送管道15，主输送管道27上固定设有主控制阀门26，主输送
管道27上固定连接有气体输送辅助管道23，气体输送辅助管道23一侧表面等距离固定连接有第二连接管24，一个第二连接管24的一端与主输送管道27固定连接，剩余第二连接管24的一端分别与分流输送管道15固定连接，分流输送管道15上和主输送管道27均固定设有压力检测表25，分流输送管道15上设有压力调节阀16，分流输送管道15上端固定连接有出气管道12，出气管道12一端固定设有输气孔2，主输送管道27上侧固定设有抽真空管道28；抽真空管道28上端固定连接有抽真空泵9，抽真空管道28上设有阀门29，抽真空管道28上连接有抽气辅助管道13，抽气辅助管道13一侧表面等距离固定连接有第一连接管14，一个第一连接管14一端与抽真空管道28固定连接，剩余第一连接管14的一端分别与分流输送管道15固定连接；装置本体1底部固定设有处理器17，处理器17一侧固定设有风管31，风管31上固定连接有气泵21，气泵21上侧设有电磁阀22；管道固定面板10一侧表面固定连接有压强传感器20，压强传感器20一侧固定设有高温探头19，高温探头19一侧固定设有气体监测探头18；抽气口8与抽真空泵9之间通过管道连接，进气口7与主输送管道27之间通过管道连接，抽气风口6与风管31固定连接；压强传感器20对装置本体1内的压强进行监测，装置本体1内需要始终保持负压，当压强高于预设值时，压强传感器20将信号传递给处理器17，处理器17打开电磁阀22并启动气泵21进行抽气，高温探头19实时监测装置本体1内部的温度，当温度过高时，则打开进风口30进行通风散热。
29.实施例3，请参照图1、2、3和4，装置本体1一侧表面通过开合页连接有箱门11，箱门11一侧表面固定连接有显示屏3，显示屏3下侧固定设有控制面板4，箱门11下侧固定设有警报器5。
30.工作原理：使用时，将气体管道分别与进气口7和连接输气孔2连接，打开主控制阀门26使气体通过进气口7进入主输送管道27内，再通过第二连接管24和气体输送辅助管道23使气体进入分流输送管道15内进行分流输送，再通过出气管道12和输气孔2输送给设备，压力检测表25检测各个管道内的压强并将数据从传递给处理器17，所述处理器17将数据显示在显示屏3上，通过控制面板4控制压力调节阀16进行对经过分流输送管道15内的气体进行流量调节，通过气体监测探头18对气体进行监测，当气体监测探头18监测到气体时，则说明气体发生泄露，气体监测探头18将信号传递给处理器17，处理器17启动警报器5发出警报，提醒工作人员进行检修，当需要检修时，先打开阀门29并启动抽真空泵9将分流输送管道15内的气体收集，再打开箱门11进行检修，压强传感器20对装置本体1内的压强进行监测，装置本体1内需要始终保持负压，当压强高于预设值时，压强传感器20将信号传递给处理器17，处理器17打开电磁阀22并启动气泵21进行抽气，高温探头19实时监测装置本体1内部的温度，当温度过高时，则打开进风口30进行通风散热。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。