真空样品中转系统、中转方法及真空处理系统与流程

1.本公开涉及真空技术领域，特别涉及一种真空样品中转系统、中转方法及真空处理系统。


背景技术：

2.真空处理技术中往往通过将不同的真空处理系统互联起来，使样品能在真空环境下传递到不同的生长系统或者分析系统中，从而对样品进行处理和分析。传统的真空系统中一般使用传样装置来进行传样，但是传样过程中样品交接困难。样品从传样装置被取下再送至真空处理系统中需要经过非常繁琐的步骤，操作难度大、掉样风险高、传样效率低下，进一步造成实验或生产效率低下。


技术实现要素：

3.本公开提供了一种真空样品中转系统，包括：真空中转腔；轨道，设置在真空中转腔内；真空载样车，滑动设置在轨道上；取样装置，设置在真空中转腔上方且至少部分位于真空中转腔内；以及传样装置，至少部分位于真空中转腔内，其中，取样装置用于抓取真空载样车上承载的样品并放至在传样装置上。
4.本公开提供了一种真空处理系统包括：根据本公开中任意一项实施例中的真空样品中转系统，其中真空样品中转系统的真空中转腔包括一个或多个中转窗口；以及一个或多个真空处理腔，真空处理腔与中转窗口真空密封连接。
5.本公开提供了一种真空样品中转方法，其特征在于，包括：通过取样装置从真空中转腔上方抓取真空载样车上竖立承载的样品；将样品放至在传样装置上；以及将样品传递至真空处理腔。
附图说明
6.为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
7.图1示出根据本公开一些实施例的真空样品中转系统的结构示意图；
8.图2示出根据本公开一些实施例的真空样品中转系统的部分结构示意图；
9.图3示出根据本公开一些实施例的取样装置的结构示意图；
10.图4示出根据本公开一些实施例的真空载样车的结构示意图；
11.图5示出根据本公开一些实施例的真空载样车的俯视图；
12.图6示出根据本公开一些实施例的传样装置的部分结构示意图；
13.图7示出根据本公开一些实施例的真空处理系统的结构示意图；
14.图8示出根据本公开一些实施例的真空处理系统的侧视图；以及
15.图9示出根据本公开一些实施例的真空中转方法的流程图。
16.在上述附图中，各附图标记分别表示：
17.1真空处理系统
18.101、101a、101b中转窗口
19.102处理腔
20.1000真空样品中转系统
21.500真空中转腔
22.400轨道
23.100真空载样车
24.10车体
25.11a、11b开口
26.12加强筋
27.20滑动装置
28.21滑轮
29.211a、211b定心滑轮
30.212a偏心滑轮
31.30载样装置
32.30a第一载样装置
33.30b第二载样装置
34.30c第三载样装置
35.30d第四载样装置
36.31凸台
37.31a第一凸台
38.32b第二凸台
39.33c第三凸台
40.34d第四凸台
41.32、32a、32b、32c、32d托架
42.40a、40b附加载样装置
43.50驱动装置
44.51a、51b驱动磁体
45.53a、53b c型安装座
46.531a、531b c型开口
47.200样品
48.300附加物品
49.600取样装置
50.610取样臂
51.611控制组件
52.612取样组件
53.6121外套筒
54.6122内杆
55.6123取样件
56.620密封件
57.630波纹管
58.640、640a、640b立柱
59.650停放盘
60.651、651a、651b停放槽
61.700传样装置
62.710传样臂
63.720传样件
64.721、721a、721b、721c传样槽
具体实施方式
65.下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
66.在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
67.图1示出根据本公开一些实施例的真空样品中转系统1000的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例的真空样品中转系统1000的部分结构示意图。图2中为了标识清楚省略真空中转腔500。
68.如图1和图2所示，真空样品中转系统1000可以包括真空中转腔500、轨道400、真空载样车100、取样装置600以及传样装置700。轨道400设置在真空中转腔内，真空载样车100滑动设置在轨道400上，可以沿轨道400滑动。取样装置600设置在真空中转腔500上方且至少部分位于真空中转腔500内。传样装置700至少部分位于真空中转腔500内。取样装置600可以用于抓取真空载样车100上承载的样品200并放至在传样装置700上。
69.本领域技术人员可以理解，本公开的上方应作宽泛性理解，不仅指图1、图2中所示出的正上方，也可以包括与正上方成一定角度(例如，0-30度)的上方。
70.图3示出根据本公开一些实施例的取样装置600的结构示意图。
71.如图2和图3所示，在本公开的一些实施例中，取样装置600可以包括取样臂610和密封件620。取样臂610可以包括控制组件611和取样组件612，控制组件611可以用于控制取样组件612取样。密封件620可以用于将取样组件612至少部分地密封在真空中转腔500内。
72.如图1-3所示，密封件620可以为密封法兰，取样臂610穿设在密封法兰上，且通过
密封法兰真空密封连接在真空中转腔500的窗口上。
73.如图3所示，在本公开的一些实施例中，取样装置600还可以包括波纹管630，能够用于密封连接取样臂610和密封件620。
74.波纹管630可以位于真空中转腔500内，一端与密封件620密封连接，另一端与取样臂610密封连接，使得在取样臂610伸缩摆动的运动下，仍能够保持真空中转腔500的真空环境。在一些实施例中，波纹管630也可以位于真空中转腔500上方。
75.如图2和图3所示，在本公开的一些实施例中，取样组件612可以包括外套筒6121和内杆6122，内杆6122至少部分设置在外套筒6121内。控制组件611可以包括沿内杆6122上端周向设置的磁传动组件(图中未示出)和沿外套筒6121上端周向设置的磁驱动组件(图中未示出)。磁驱动组件可以与磁传动组件磁耦合，并且可以沿外套筒6121转动和上下滑动。
76.磁驱动组件运动带动磁传动组件运动，继而带动内杆6122在外套筒6121内旋转、伸缩，使得取样组件612移动到合适的取样位置，并对样品进行抓取。
77.如图2和图3所示，在本公开的一些实施例中，取样组件612还可以包括取样件6123，设置在内杆6122末端，能够用于抓取或松开样品200。
78.取样件6123可以包括外卡合件和设置在外卡合件内的内卡合件。外卡合件与内杆6122连接，可以在内杆6122的带动下旋转，内卡合件通过弹簧柔性连接在外卡合件上。外卡合件上开设有外卡合槽，内卡合件上开设有内卡合槽。取样组件612取样前外卡合槽与内卡合槽平行，使得样品200上的凸起能够顺利穿过外卡合槽嵌入内卡合槽，样品200嵌入内卡合槽后，外卡合槽旋转，与内卡合槽成十字型，将样品200的凸起卡合固定在取样件6123上，完成取样。
79.如图2和图3所示，在本公开的一些实施例中，取样装置600还可以包括一个或多个立柱640(例如，立柱640a、640b)和停放盘650。立柱640(例如，立柱640a、640b)可拆卸地连接在密封件上，停放盘650设置在一个或多个立柱640(例如，立柱640a、640b)上，可以包括一个或多个停放槽651(例如，停放槽651a、651b)，能够用于停放取样臂610。
80.在取样臂610在非使用状态下可以靠在停放槽651(例如，停放槽651b)内，防止引悬空停放而发生侧翻造成的设备损坏，延长设备使用寿命。在使用取样臂610取样的过程中，可以拆卸立柱640(例如，立柱640a、640b)和停放盘650(见图1)，使得取样臂610能够灵活地运动，方便取样。
81.本领域技术人员可以理解，虽然图2和图3中仅示出两个立柱640，但是立柱640的数量也可以是一个或大于两个。类似地，虽然图2和图3中仅示出两个停放槽651a和651b，但是停放槽651的数量也可以是一个或大于两个。
82.如图3所示，波纹管630可以位于真空中转腔500内，一端与密封件620密封连接，另一端与取样臂610的外套筒6121密封连接，使得内杆6122和取样件6123处在真空中转腔500的真空环境中。这样，内杆6122和取样件6123可以在控制组件611的驱动下，摆动、上下滑动、旋转，而保持真空中转腔500的真空环境。在一些实施例中，波纹管630也可以位于真空中转腔500上方，下端与密封件620密封连接，上端与取样臂610的外套筒6121密封连接。
83.图4示出根据本公开一些实施例的真空载样车100的结构示意图。图5示出根据本公开一些实施例的真空载样车100的俯视图。
84.如图4和图5所示，真空载样车100可以包括：车体10、滑动装置20以及一个或多个
载样装置30(例如，载样装置30a、30b、30c、30d)。滑动装置20与车体10连接，滑动设置在轨道400上(如图2所示)，能够用于使车体10沿轨道400滑动。一个或多个载样装置30设置在车体10上，可以用于使样品200竖立地承载于车体10上。本领域技术人员可以理解，本公开中所称的样品，例如样品200，应当做宽泛理解，可以包括样品本身，还可以包括盛放样品的样品托或其他部件。
85.如图4和图5所示，在本公开的一些实施例中，载样装置30(例如，载样装置30a、30b、30c、30d)可以包括凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)和一个或多个托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)。凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)设置在车体10上，一个或多个托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)设置在凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)上，可以用于使样品200竖立在托架32中。本领域技术人员可以理解，托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)可以包括各种合适的结构。例如，如图4所示，托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)可以包括固定设置在凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)上的框架。再例如，托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)可以包括设置在凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)上的凹槽。
86.在本公开的一些实施例中，凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)整体沿弧线延伸，并且凸台31的上表面向弧线内侧倾斜。例如，如图1和图2所示，凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)整体呈月牙状，表面略微向内倾斜，与车体10的上表面固定连接，例如通过螺栓或螺钉固定在车体10上。这样，可以使得托架32中承载的样品向内倾斜，方便取样操作。本领域技术人员可以理解，虽然图1中示出的凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)形状呈月牙状，但月牙状仅是一个示例性结构，凸台31也可以为呈弧状的其他结构或者呈直线或其他曲线状。此外，虽然图1中示出的凸台31(例如，凸台31a、31b、31c、31d)与车体10的上表面固定连接，但是凸台31也可以与车体10一体成型。
87.如图4所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)沿弧线放射状分布在凸台31(例如，凸台31a)上。沿弧线放射状分布的托架32使得竖立插在托架32中的样品200也呈弧状分布，能够更好地配合真空系统的抓取件进行样品抓取，使得抓取时车体10不必移动，通过取样臂610的摆动，就能抓取载样装置30(例如，载样装置30a和30b或载样装置30c和30d)上的样品，从而减少传样步骤且增加每次抓取的样品数量。
88.本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2中示出的托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)通过螺丝安装在凸台31(例如，凸台31a)上，但是托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)也可以是凸台31(例如，凸台31a)上的凹陷或与凸台31(例如，凸台31a)一体成型。
89.本领域技术人员可以理解，虽然图4和图5中示出的托架32(例如，托架32a、32b、32c、32d)配合凸台31(例如，凸台31a)的倾斜表面沿弧线呈放射状分布，但是这仅是一个示例性结构。托架32也可以配合其他形状的凸台31呈分布状态，例如，平行间隔分布。
90.如图4、图5所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个载样装置30可以包括第一载样装置30a和第二载样装置30b，第一载样装置30a与第二载样装置30b对称设置且间隔开。第一载样装置30a与第二载样装置30b对称设置可以方便取样臂610通过摆动来取样，如图2所示。第一载样装置30a与第二载样装置30b间隔开，可以用于停靠传样装置700的传样件720，以便收集取样臂610抓取的样品，如图2和图6所示。
91.第一载样装置30a包括第一凸台31a，第二载样装置30b包括第二凸台31b。第一凸台31a和第二凸台31b上可以分别设置有多个托架，用于竖立地承载样品。例如，托架32a、32b、32c、32d可以呈放射状设置在凸台31a上。凸台31b上也可以类似地设置多个托架32，如图4和图5所示。
92.第一凸台31a和其上的托架32以及第二凸台31b和其上的托架32可以对称设置，形成整体上的合围分布，并且间隔开一定距离，以方便取样操作。此外，第一凸台31a和第二凸台31b的上表面可以都向内倾斜，形成整体上近似椭圆的内凹状结构。这样，第一凸台31a和第二凸台31b上的多个托架32中承载的样品向内倾斜，并且向内聚集，能够更好地与真空系统的抓取件的摆动角度相匹配，使得抓取更加容易。
93.如图4和图5所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个载样装置30还可以包括第三载样装置30c和第四载样装置30d，第三载样装置30c与第四载样装置30d对称设置且间隔开。与第一载样装置30a和第二载样装置30b类似，第三载样装置30c与第四载样装置30d对称设置可以方便取样臂610通过摆动来取样，如图2所示。第三载样装置30c与第四载样装置30d间隔开，可以用于停靠传样装置700的传样件720，以便收集取样臂610抓取的样品，如图2和图6所示。
94.第三载样装置30c包括第三凸台31c，第四载样装置30d包括第四凸台31d。本领域技术人员可以理解，第三凸台31c和第四凸台31d形成的结构与第一凸台31a和第二凸台31b形成的结构相似，仅以第一凸台31a和第二凸台31b形成的结构为例进行说明，在此不再赘述。
95.如图4和图5所示，在本公开的一些实施例中，第一载样装置30a和第二载样装置30d与第三载样装置30c和第四载样装置30d相对于车体10的中心对称设置。这样，结束对第一载样装置30a和第二载样装置30d的取样传样后，可以继续对第三载样装置30c和第四载样装置30d上承载的样品进行取样。第一载样装置30a和第二载样装置30d与第三载样装置30c和第四载样装置30d可以间隔开一定距离，以便为取样操作提供空间。
96.本领域技术人员可以理解，虽然图4和图5中示出的一个或多个载样装置30可以包括四个载样装置，但是载样装置40的数量也可以大于四个或小于四个。
97.如图4和图5所示，在本公开的一些实施例中，真空载样车100还可以包括一个或多个附加载样装置40a、40b。附加载样装置40a、40b设置在车体10两端，可以用于承载附加物品300。附加载样装置40a、40b可以包括附加凸台以及设置在凸台上的一个或多个附加托架，如图4所示。附加凸台设置在车体10的至少一端上，一个或多个附加托架设置在附加凸台上，用于竖立地承载附加样品物品。在一些实施例中，凸台可以采用适应车体10一端的形状，并且上表面可以倾斜或凹陷，以使得承载在托架中的物品300可以向内倾斜，便于提取。
98.真空载样车100可以通过不同的载样装置，例如载样装置30和附加载样装置40a、40b，承载不同的样品或物品，可以在不同的传样口进行传样，而无需使用更多的真空载样车100，降低设备成本。在本公开中，物品可以和样品性质相同，例如都是待真空处理的样品，也可以不同，例如样品是待真空处理的样品，而物品是协助真空处理的部件或耗材，例如热电偶。
99.如图4所示，在本公开的一些实施例中，滑动装置20可以包括多个滑轮21，滑轮21设置在车体10上。在本公开的一些实施例中，多个滑轮21可以包括至少两对定心滑轮211a、
211b以及至少一对偏心滑轮212a。
100.如图4所示，两对定心滑轮211a、211b分别通过螺栓安装在车体10的两端。例如，定心滑轮211a可以安装在第一载样装置30a与第二载样装置30d之间，定心滑轮211b可以安装在第三载样装置30c与第四载样装置30d之间。偏心滑轮212a通过螺栓安装在车体10中部。因此，两对定心滑轮211a、211b以及至少一对偏心滑轮212a使得车体10与真空轨道400滑动连接，使车体10能够在滑动装置20的带动下沿真空轨道400滑动进行传样。使用定心滑轮211a、211b与偏心滑轮212a的组合能够降低真空载样车100滑行过程中产生的误差，而防止出现某一对滑轮211悬空而失去作用的问题。
101.本领域技术人员可以理解，虽然图4中示出的两对定心滑轮211a、211b设置在车体10两端，偏心滑轮212a设置在车体10中部，但是这种设置仅是示例性的，两对定心滑轮211a、211b和偏心滑轮212a彼此之间的位置可以交换。
102.如图2所示，滑动装置20的多个滑轮(例如，定心滑轮211a、211b和偏心滑轮212a)可以滑动设置在轨道400上，以便使真空载样车100能够在轨道400上滑行。
103.本领域技术人员可以理解，滑动装置20还可以采用其他结构。例如，滑动装置20可以包括与轨道400配合的滑块，以在轨道400上滑动。
104.如图4所示，在本公开的一些实施例中，真空载样车100还可以包括驱动装置50。驱动装置50设置在车体10上，能够用于接收驱动以带动车体10滑动。
105.如图4所示，在本公开的一些实施例中，驱动装置50可以包括驱动磁体51a、51b，驱动磁体51a、51b可以安装在车体10上，从而接收驱动以带动车体10在真空轨道400上滑动。
106.如图4所示，在本公开的一些实施例中，驱动装置50还可以包括c型安装座53a、53b。c型安装座53a、53b横向设置在车体10上，例如设置在两端。c型开口531a、531b用于容纳真空轨道400。驱动磁体51a、51b可以分别设置在c型安装座53a、53b的底部。在一些实施例中，驱动磁体51a、51b可以在下表面上包括外弧面。驱动磁体51a、51b的外弧面能够使磁铁产生更强的磁力线，从而更好地接收驱动。
107.使用c型安装座即可以容纳轨道400，使真空传递车100顺利滑动，也可以使驱动磁体51a、51b位于车体10正下方，从而避免车体10在移动过程中倾覆，降低掉样风险。
108.在本公开的另一些实施例中，驱动装置50可以包括导磁体，驱动磁体51a、51b可以通过导磁体安装在车体10上，例如c型安装座53a、53b底部。驱动磁体51a、51b通过导磁体安装，能够使磁力更好传导，增加驱动效力。导磁体可以采用440c不锈钢材料。
109.本领域技术人员可以理解，驱动磁体51a、51b包括外弧面仅为示例性结构，驱动磁体51a、51b也可以包括外平面或外凹面。相应地，驱动磁体51a、51b通过导磁体安装也是示例性的。
110.如图4和图5所示，在本公开的一些实施例中，车体10可以包括多个开口11a、11b以及多个加强筋12。开口11a、11b可以位于车体10的中部，呈十字形，能够减轻车体10的自重，降低驱动装置50的负载，延长设备寿命。加强筋12可以固定在车体10的纵向两侧，使车体10在开口的情况下保持强度，避免在传样过程中发生弯折。
111.图6示出根据本公开一些实施例的传样装置700的部分结构示意图。
112.如图6所示，在本公开的一些实施例中，传样装置700设置在真空中转腔500侧方，传样装置700可以包括传样臂710和传样件720。传样件720设置在传样臂710末端，能够用于
停在真空载样车100的上方。取样装置600可以用于抓取真空载样车100上承载的样品200或物品300并放至在传样件720上，如图2所示。
113.如图2、图4和图6所示，传样件720可以包括传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)，传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)与样品200或物品300相匹配。传样臂710在线性驱动装置的驱动下将传样件720送至载样装置30的凸台31(例如，第一凸台31a和第二凸台31b)之间，取样臂610的控制组件611控制内杆6122摆动、靠近或旋转，以驱动取样件6123将真空载样车100上承载的样品200或物品300抓起，并放置在传样槽721(例如，传样槽721a)内，直至传样槽721全部填满，待真空载样车100退走后，传样臂720在线性驱动装置的驱动下将样品200或物品300送入处理腔102(如图7所示)。
114.图7示出根据本公开一些实施例的真空处理系统1的结构示意图。图8示出根据本公开一些实施例的真空处理系统1的侧视图。
115.如图7和图8所示，真空处理系统1可以包括真空样品中转系统1000以及一个或多个真空处理腔102。真空样品中转系统1000可以包括一个或多个中转窗口101(例如，中转窗口101a、101b)。一个或多个中转窗口101(例如，中转窗口101a、101b)可以设置在真空中转腔500上方、侧方、下方等，处理腔102与中转窗口101(例如，中转窗口101a、101b)真空密封连接。
116.本领域技术人员可以理解，虽然图7和图8中仅示出了两个中转窗口101(例如101a、101b)，但是真空中转腔500上也可以开设一个中转窗口或大于两个的中转窗口。类似地，虽然图7和图8中仅示出了一个处理腔102，但是真空处理系统1也可以包括多个真空处理腔102。本领域技术人员可以理解，本公开中的真空处理腔102应作宽泛理解，真空处理腔102可以包括蒸镀腔、解理腔等处理腔。
117.图9示出根据本公开一些实施例的真空中转方法800的流程图。本领域技术人员可以理解，真空中转方法800可以由根据本公开一些实施例的真空样品中转系统(例如，真空样品中转系统1000)或真空处理系统(例如，真空处理系统1)来执行。
118.在步骤802，真空中转方法800可以包括通过取样装置从真空中转腔上方抓取真空载样车上竖立承载的样品。例如，通过取样装置600的取样臂610的控制组件611控制取样组件612的内杆6122和取样件6123，从真空中转腔500的上方抓取真空载样车100上承载的样品200。
119.在步骤804，真空中转方法800可以包括将样品放至在传样装置上。例如，通过控制组件611控制取样组件612的内杆6122和取样件6123，将样品200放置在传样装置700的传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)上。步骤802和步骤804可以重复执行，以便取到多个样品。例如，可以完成预定数量的取样或者填满传样装置700的多个传样槽721。
120.在步骤806，真空中转方法800可以包括将样品传递至真空处理腔。例如，线性驱动装置可以驱动传样臂710将传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)送入真空处理腔102。
121.在一些实施例中，真空中转方法800可以任选地包括驱动真空载样车在真空中转腔内滑动以传递样品。例如，驱动真空载样车100在真空中转腔500内滑动以传递样品200，便于执行取样步骤802和804。
122.在一些实施例中，真空中转方法800可以任选地包括将传样装置停在载样车上方。例如，可以将传样装置700的传样件720停在真空载样车100上方，且位于凸台31(例如，第一
凸台31a、第二凸台31b)之间，如图2所示，以便于收集取样组件612抓取的样品200。
123.在一些实施例中，真空中转方法800可以任选地包括将多个样品传递至真空处理腔。例如，可以重复执行步骤802和步骤804，以抓取多个样品200，并放置在传样臂710的传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)中。传样臂710可以将传样槽721中的多个样品200传递至真空处理腔102。
124.在一些实施例中，真空中转方法800可以任选地包括摆动取样装置，抓取真空载样车上不同位置承载的样品，并将样品放置在传样装置上。例如，在取样过程中(例如，在步骤802之前或之后，或者在步骤804之前或之后)，通过取样装置600的控制组件611摆动取样装置600的取样组件612，以便靠近载样车100上相同或不同载样装置30上不同位置(例如，托架32a、32b、32c、32d)中承载的样品200，并且对样品200进行抓取，如图2所示。可以将所抓取的样品200放置在传样装置700的传样槽721(例如721a、721b、721c)上。这些步骤可以重复执行，以抓取多个样品200，并放置在传样臂710的传样槽721(例如，传样槽721a、721b、721c)中。
125.本领域技术人员可以理解，可以循环执行真空中转方法800的步骤或其一部分步骤，以便能对多个样品进行多次中转。而且，以上对真空中转方法800的步骤描述顺序并不必然代表执行的先后顺序。例如，可以在通过取样装置从真空中转腔上方抓取真空载样车上竖立承载的样品之前驱动真空载样车在真空中转腔内滑动，以便将样品传递至中转区域。
126.根据本公开一些实施例的真空样品中转系统及方法、真空处理系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的真空样品中转系统及方法、真空处理系统能够解决常规技术中样品中转交接困难、步骤繁琐、操作难度大、掉样风险高、传样效率低下，进一步造成实验或生产效率低下等问题，能够实现操作步骤简洁、样品中转交接操作便捷，操作简单且能有效防止样品掉落、传样效率高、实验生产效率高的技术效果。
127.需要指出的是，以上仅为本公开的较佳实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。