一种矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法与流程

1.本发明涉及压力传感器生产领域，具体涉及一种矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法。


背景技术：

2.压力传感器是机械结构中常见的一种传感器，主要用于检测接触面之间的压力值，从而保证设备在正常值范围内运行，避免出现意外。压力传感器的重要性不言而喻，因此压力传感器的好坏影响着设备能否正常运行，现有的压力传感器在制造完成后需要人工进行传感器的检测操作，完成质检工作，效率较为低下。
3.目前的矫形器在感应矫形区域内嵌式安装压力传感器和脉冲贴片，使用时，当实时压力超出设定的压力感应区间时，控制单元控制电压控制器向脉冲贴片供电，脉冲贴片工作，对使用者发出脉冲刺激，提醒使用者调整身体状态，并自行进行矫正。矫形器的体积不大，对压力传感器的要求更高。矫形器常用的压力传感器是薄膜压力传感器。
4.薄膜压力传感器具有良好的柔韧性、延展性、甚至可自由弯曲甚至折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意布置，能够非常方便地对复杂被测量进行检测。因而，新型柔性传感器在电子皮肤、医疗保健、电子、电工、运动器材、纺织品、航天航空、环境监测等领域受到广泛应用。传统的薄膜压力传感器包括电极层和敏感薄膜层，在薄膜压力传感器受到压力时，该电极层和敏感薄膜层相互靠近接触，从而使器件的电阻发生变化，进而检测出外界压力。对于薄膜压力传感器来说，灵敏度和线性度是薄膜压力力传感器最重要的两个性能指标。
5.薄膜压力传感器的薄膜加工常规的方法是采用物理气相沉积或直接购买pet薄膜进行再加工。在薄膜的实际生产过程中，由于各方面因素的影响，或多或少会出现各类缺陷，例如孔洞、蚊虫、黑点、晶点、划伤、斑点等，不仅使得薄膜价值受损，若是没有检测出来致使不良品流入市场，是影响了生产方信誉。
6.目前，压力传感器的通过设备来完成装配过程中，为了节省设备的占用空间并且缩减输送程序，多为采用转盘式输送形式，可以参考专利号为cn201711402796.3、专利名称为一种压力传感器自动贴片生产线的中国发明专利，该文献中记载传感器装配设备的就采用了比较典型的转盘式输送形式，它将工件固定在转盘上，然后转盘转动的过程中依次经过多个加工装置，并分别在每个加工装置的位置处停滞然后完成加工。
7.申请人在设计类似于以上文献中的转盘类传感器加工设备时，发现该设备的转盘在完成间歇转动运动的方式实现过程困难，除非是采用具有准确定位驱动能力的控制器配合数控电机，否则难易实现每个工位切换过程的精准定位和全自动化，对此申请人专门对转盘的驱动形式上进行了优化设计。


技术实现要素：

8.为了解决上述技术问题，克服缺陷，本发明公开了一种能够自动完成间歇性的工
位切换，使传感器的加工过程具有良好的连贯性，在线检测产品质量，可与生产线对接实现生产测试一体化，达到高合格率、高效的矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法，其具体方案如下：
9.一种矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法，包括以下步骤：
10.步骤1：对压力传感器第一基片进行上料，并通过机器人抓取压力传感器第一基片放到第一切换部件上；
11.步骤2：旋转第一切换部件使第一基片到第一印刷工位，正面印刷导电银浆料，形成附着于第一基片上的上导电银浆层；
12.步骤3：旋转第一切换部件使第一基片到第一干燥工位，进行烘干；
13.步骤4：旋转第一切换部件使第一基片到第二印刷工位，印刷导电塑料树脂浆料，形成附着于上导电银浆层上的塑料树脂浆料层；
14.步骤5：旋转第一切换部件使第一基片到第二干燥工位，进行烘干；
15.步骤6：旋转第一切换部件使第一基片到第三印刷工位，印刷绝缘树脂，形成附着于上导电塑料树脂浆料层上的绝缘树脂层，得到上基片；
16.步骤7：对压力传感器第二基片进行上料，通过机器人抓取压力传感器第二基片放到第二切换部件上，重复步骤2-6，得到下基片；
17.步骤8：通过机器人抓取第二切换部件的下基片放入第三切换部件；
18.步骤9：旋转第三切换部件使下基片到贴膜工位，翻转下基片对下基片上下两面进行热压贴膜；
19.步骤10：通过机器人抓取第一切换部件的上基片放入下基片的上端，进行上基片的上端热压贴膜，形成薄膜压力传感器；
20.步骤11：通过检测设备对薄膜压力传感器进行成品检测。
21.所述第一切换部件和第二切换部件包括切换支架体和转动设置在切换支架体的切换转盘，切换转盘圆周均匀设置有若干夹具，多个冷挤压装置以圆周均匀间隔的形式分布在切换转盘上，切换转盘与切换支架体之间设有使切换转盘完成周期性间歇周转的周期切换机构；
22.该周期切换机构包括固定设置在切换支架体上的主动限位轴套和从动限位轴套、固定设置在切换转盘底部的从动转盘、垂直固定设置在从动转盘的盘心位置且转动设置在从动限位轴套内的从动转轴、转动设置在主动限位轴套内且端部垂直固定设有主动转盘的主动转轴、固定设置在切换支架体上并用于驱动主动转轴进行转动的切换驱动元件；
23.主动转轴和从动转轴相互平行，从动转盘上垂直固定设有若干与冷挤压装置数量相同的定位体，定位体呈圆周均匀间隔分布在从动转盘上，主动转盘的外圈边沿垂直设有一圈限位开环，限位开环的两端形成缺口，限位环与主动转盘的盘面之间形成内腔，缺口与内腔连通，主动转盘上朝向内腔的一侧中心还垂向固定设有轴杆，轴杆上垂直固定设有拨杆，拨杆的外端朝向缺口且处于限位开环的两侧之间。
24.当缺口的朝向方向没有任何定位体时：其中会有一个定位体在内腔中并位于主动转轴和从动转轴所在的平面内，处于该定位体相邻两侧的另外两个定位体贴在限位开环的外圈；
25.当缺口的朝向方向从没有任何定位体偏转至朝向方向具有定位体后：拨杆随着主
动转盘转动将会拨动到原先处于上述平面内的定位体，使该定位体带动从动转盘偏转，直到拨杆与该定位体分离后与该定位体相邻的另一个定位体将会移动至处于上述平面内的位置。
26.所述限位开环的一处边缘设有用于挤压定位体的引导弧，使从内腔中被拨杆拨动到内腔边界的定位体被挤压到内腔外侧。
27.所述拨杆的端部用于拨动定位体都一侧具有倾斜面。
28.所述步骤11中检测设备包括一机架，所述机架上端安装有一用于放置待检测压力传感器的输送带，所述输送带上安装有可拆卸且与所述待检测压力传感器尺寸相同的托盘，所述托盘正上方安装有连接供气装置且可上下前后左右移动的检测装置，所述检测装置面向所述托盘的一侧安装有测试触头，所述测试触头上安装有标准压力表，所述检测装置、托盘和供气装置分别连接控制系统。
29.所述步骤11包括以下步骤：
30.步骤一：取待检测压力传感器，将其放入托盘；
31.步骤二：对薄膜压力传感器的表面性状进行检测；判断薄膜压力传感器表面是否有缺陷；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤三；
32.步骤三：对照标准薄膜压力传感器，多次调节检测装置的位置，对薄膜压力传感器多点处的计示压力进行在线检测；判断薄膜压力传感器的计示压力是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤四；
33.步骤四：对照标准薄膜压力传感器，调节检测装置的位置和调节供气装置的气体压力，对薄膜压力传感器单点处进行在线点断式检测；判断薄膜压力传感器的重复性是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤五；
34.步骤五：对机架进行封闭式抽真空处理，对照标准薄膜压力传感器，多次调节检测装置的位置，对薄膜压力传感器多点处的绝对压力进行在线检测；判断薄膜压力传感器的绝对压力是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤六；
35.步骤六：对检测完成的薄膜压力传感器进行封装处理。
36.步骤二中对薄膜压力传感器的表面性状进行检测，包括如下步骤：
37.s1：在输送带上安装有灯源和相机，获取多组薄膜压力传感器的薄膜图像；将图像转换成灰度图像；取其中一张图像中的任意点灰度像素值，以该点向外辐射；将相邻点灰度像素值与该点灰度像素做差值比较运算，得到差值为a1；并记录对比数量为b1；若a1≤20；则记录该相邻点灰度像素；若a1＞20，则舍弃该相邻点灰度像素；依此类推；
38.s2：若b1值大于图像像素点的60％时，将记录的各相邻点的灰度像素求取平均值，得到标准灰度像素值；以该标准灰度像素值形成一与薄膜图像重合的薄膜标准灰度图像；将薄膜标准灰度图像与薄膜实际灰度图像做“与”运算，得到薄膜图像中区别于薄膜灰度图像的像素点；其中，当运算后差值绝对值大于20时；判定改点为区别点；得出区别点后进入步骤s3；
39.s3：若b1值无法达到图像像素点的60％时；则判定该任意点像素为区别点；同时判定记录的像素点均为区别点；进入步骤s4；
40.s4：由区别点的位置以及形状判断薄膜出现缺陷的位置以及异常的种类：若区别点形成不均匀片状结构；则判定该部位为孔洞；若区别点形成点状结构；则判定该部位为黑
点或斑点。
41.根据权利要求6所述的一种矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法，其特征在于：所述步骤三中在线检测薄膜压力传感器的计示压力是否符合标准的方法包括如下子步骤：
42.b1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
43.b2：同步设定检测装置的压力值和相同位置，对标准薄膜压力传感器和待检测薄膜压力传感器某一点进行在线检测；
44.b3：通过控制系统读取待多个待检测薄膜压力传感器的读数是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器厚度异常；将其进行回收；
45.b4：判断待检测薄膜压力传感器和标准薄膜压力传感器相互之间的读数是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器厚度异常；将其进行回收；
46.b5：重复b2-b5，对薄膜压力传感器的另一点进行在线检测。
47.可以对制作完成的薄膜压力传感器实现自动化检测的同时，更可以初步判定薄膜压力传感器精度是否满足需求；则可以快速调整后批薄膜压力传感器的情况。
48.所述步骤四中在线检测薄膜压力传感器的重复性是否符合标准的方法包括如下子步骤一：
49.c1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
50.c2：设定检测装置的固定压力值和相同位置，对标准薄膜压力传感器某一点进行间断式在线检测，对间断式测得的数据进行收集得到标准压力波动曲线；
51.c3：对多组待检测薄膜压力传感器相同点进行间断式在线检测，将各组实际测量点压力数据形成实际压力曲线；并与标准压力波动曲线进行对比，判断实际压力曲线相对标准压力波动曲线上下波动是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器压力异常；将其进行回收；
52.c4：重复c2-c3，对薄膜压力传感器的另一点进行在线重复性检测。
53.所述步骤四中在线检测薄膜压力传感器的重复性是否符合标准的方法包括如下子步骤二：
54.d1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
55.d2：设定检测装置的浮动压力值和相同位置，检测装置的压力值随时间变化而变化，对标准薄膜压力传感器某一点进行间断式在线检测，对间断式测得的数据进行收集得到标准压力变化曲线；
56.d3：检测装置相同的条件下，对多组待检测薄膜压力传感器相同点进行间断式在线检测，将各组实际测量点压力数据形成实际压力曲线；并与标准压力变化曲线进行对比，判断实际压力曲线相对标准压力变化曲线上下波动是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器压力异常；将其进行回收；
57.d4：重复d2-d3，对薄膜压力传感器的另一点进行在线重复性检测。
58.本发明公开的基于矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法，相较于现有技术具有以下优点：可以对制作完成的薄膜压力传感器实现自动化检测的同时，更可以初步判定薄膜压力传感器表面质量缺陷的原因；可以快速调整后批次原材料情况，可以避免增加生产成本，其次，自动化实现薄膜压力传感器的压力检测和疲劳检测，判断其是否存在缺
陷；整个检测过程更容易被监控，精确度更高，通过自动化检测可以大大提高生产效率，减少人工成本。
附图说明
59.图1是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构的结构原理示意图；
60.图2是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构在隐藏从动转盘后，缺口还没朝向定位体时但即将朝向定位体时的结构示意图；
61.图3是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构在隐藏从动转盘后，缺口朝向定位体后但拨杆还未触碰到定位体时的结构示意图；
62.图4是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构在隐藏从动转盘后，缺口朝向定位体后且拨杆已经触碰到定位体以带动从动转盘进行转动过程中的结构示意图；
63.图5是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构在隐藏从动转盘后，缺口朝向定位体后且已经与上一个触碰到的定位体脱离后的结构示意图；
64.图6是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中周期切换机构在隐藏从动转盘后，缺口已经经过朝向定位体的方向后的结构示意图；
65.图7是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中工位切换部件的结构原理示意图；
66.图8是矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法中工位切换部件与各个加工设备位置关系的结构简图；
67.图中，1、主动限位轴套；2、从动限位轴套；3、从动转盘；4、主动转盘；5、从动转轴；6、主动转轴；7、定位体；8、限位开环；9、缺口；10、内腔；11、轴杆；12、拨杆；13、引导弧；14、倾斜面；15、切换支架体；16、切换转盘；17、工位；18、夹具。
具体实施方式
68.下面通过所表示的实施例对本发明作进一步描述：
69.为了使本领域技术人员能够更清楚地理解本发明，以下结合实施例对本发明做进一步详细说明，但应当理解的是，以下实施例仅为本发明的优选实施方式，而本发明要求保护的范围并不仅局限于此。
70.参照图1-图8，一种矫形器感应矫形区域压力传感器的加工方法，包括以下步骤：
71.步骤1：对压力传感器第一基片进行上料，并通过机器人抓取压力传感器第一基片放到第一切换部件上；
72.步骤2：旋转第一切换部件使第一基片到第一印刷工位，正面印刷导电银浆料，形成附着于第一基片上的上导电银浆层；
73.步骤3：旋转第一切换部件使第一基片到第一干燥工位，进行烘干；
74.步骤4：旋转第一切换部件使第一基片到第二印刷工位，印刷导电塑料树脂浆料，形成附着于上导电银浆层上的塑料树脂浆料层；
75.步骤5：旋转第一切换部件使第一基片到第二干燥工位，进行烘干；
76.步骤6：旋转第一切换部件使第一基片到第三印刷工位，印刷绝缘树脂，形成附着于上导电塑料树脂浆料层上的绝缘树脂层，得到上基片；
77.步骤7：对压力传感器第二基片进行上料，通过机器人抓取压力传感器第二基片放到第二切换部件上，重复步骤2-6，得到下基片；
78.步骤8：通过机器人抓取第二切换部件的下基片放入第三切换部件；
79.步骤9：旋转第三切换部件使下基片到贴膜工位，翻转下基片对下基片上下两面进行热压贴膜；
80.步骤10：通过机器人抓取第一切换部件的上基片放入下基片的上端，进行上基片的上端热压贴膜，形成薄膜压力传感器；
81.步骤11：通过检测设备对薄膜压力传感器进行成品检测。
82.用于装夹工件并将工件间隙性圆周运输的第一工位切换部件和第二工位切换部件设置在这些工位17之间。
83.第一工位切换部件和第二工位切换部件包括切换支架体15和转动设置在切换支架体15的切换转盘16，切换转盘16圆周均匀设置有若干夹具18，切换转盘16与切换支架体15之间设有使切换转盘16完成周期性间歇周转的周期切换机构。
84.本发明主要解决的主要问题，就是如何将装夹在夹具18上的工件进行自动性的周期间歇切换，采用了周期切换机构来完成。
85.周期切换机构包括固定设置在切换支架体15上的主动限位轴套1和从动限位轴套2、固定设置在切换转盘16底部的从动转盘3、垂直固定设置在从动转盘3的盘心位置且转动设置在从动限位轴套2内的从动转轴5、转动设置在主动限位轴套1内且端部垂直固定设有主动转盘4的主动转轴6、固定设置在切换支架体15上并用于驱动主动转轴6进行转动的切换驱动元件；
86.主动转轴6和从动转轴5相互平行，从动转盘3上垂直固定设有若干与冷挤压装置数量相同的定位体7，定位体7呈圆周均匀间隔分布在从动转盘3上，主动转盘4的外圈边沿垂直设有一圈限位开环8，限位开环8的两端形成缺口9，限位环与主动转盘4的盘面之间形成内腔10，缺口9与内腔10连通，主动转盘4上朝向内腔10的一侧中心还垂向固定设有轴杆11，轴杆11上垂直固定设有拨杆12，拨杆12的外端朝向缺口9且处于限位开环8的两侧之间；
87.当缺口9的朝向方向没有任何定位体7时：其中会有一个定位体7在内腔10中并位于主动转轴6和从动转轴5所在的平面内，处于该定位体7相邻两侧的另外两个定位体7贴在限位开环8的外圈；
88.当缺口9的朝向方向从没有任何定位体7偏转至朝向方向具有定位体7后：拨杆12随着主动转盘4转动将会拨动到原先处于上述平面内的定位体7，使该定位体7带动从动转盘3偏转，直到拨杆12与该定位体7分离后与该定位体7相邻的另一个定位体7将会移动至处于上述平面内的位置；
89.限位开环8的一处边缘设有用于挤压定位体7的引导弧13，使从内腔10中被拨杆12拨动到内腔10边界的定位体7被挤压到内腔10外侧；
90.拨杆12的端部用于拨动定位体7都一侧具有倾斜面14。
91.以下从图2～6作为一次切换工位过程中的连续性不同状态来表述周期切换机构是如何完成工位切换的，为了观察清楚，将这些图中的从动转盘3隐藏(这样才能看清各个
定位体7的位置关系)。
92.主动转盘4在切换驱动元件的作用下进行顺时针转动。
93.先从图2开始，这个情况下，缺口9还没有朝向任何定位体7，所以此时主动转盘4继续转动并不会带动从动转盘3的转动，也就是处于主动转盘4上方的切换转盘16也是静止不动的，在这个状态下，b号标定位体7和d号标定位体7贴在限位开环8的两侧形成定位作用，“会有一个定位体7在内腔10中并位于主动转轴6和从动转轴5所在的平面内”在这个情况下指的是c号标定位体7；
94.再看图3，随着主动转盘4的进一步转动后，缺口9已经朝向了b号标定位体7，也就是b号标定位体7的逆时针移动方向不会再受到限位开环8的阻碍，如果从动转盘3逆时针转动后，b号标定位体7是可以从缺口9进入内腔10的；
95.接着看图4，既然b号标定位体7之前就已经具备了不受阻碍从缺口9进入内腔10的能力，那么此时拨杆12拨动到c号标定位体7，就会使得从动转盘3转动，所有定位体7都会进行逆时针转动，b号标定位体7也不例外，它顺利地从缺口9进入了内腔10中，而c号标定位体7被拨动后悔逐渐移动到内腔10边缘；
96.然后看图5，此时c号标定位体7以及到了内腔10的边缘，并且因为缺口9也在一直改变方向，所以c号标定位体7的一部分已经通过缺口9移出到内腔10的外侧，同时拨杆12也不再对c号标定位体7进行拨动作用，这时还未完成精准的定位效果；
97.最后看图6，最后一步就是用来完成定位效果的，继续随着主动转盘4转动，限位开环8边缘的引导弧13就会挤压到c号标定位体7，将c号标定位体7完全挤压到内腔10的外侧并贴在限位开环8外侧上，此时a号标定位体7和c号标定位体7贴在限位开环8的两侧形成定位作用，“会有一个定位体7在内腔10中并位于主动转轴6和从动转轴5所在的平面内”在这个情况下就变成了b号标定位体7；
98.接着就会以上述步骤形成周期循环，从图6开始途径图2再到图3直图4之前，从动转盘3都是静止不动的(并且因为两个定位体7贴在限位开环8能够获得良好的定位效果和稳固效果)，那么这个时间段，就是用于完成各个冷挤压装置的冷挤压工艺以及机械手的夹放料的过程，而其它的时间段就是机械手夹着料临时停滞在上方然后进行工位切换的过程。
99.本发明的附图1～7，是为了能够直观的体现该周期切换机构的工作过程原理，所以将尺寸调整并将不必要的多余零件删减后获得的简图，而实际应用过程中，各个部件的尺寸都和图中有较大差别，实际上缺口9的横跨弧度是比较小的，而本发明只为了便于观察体现出这种原理和工作过程，特意将缺口9绘制得较大化。
100.所述步骤11中检测设备包括一机架，所述机架上端安装有一用于放置待检测压力传感器的输送带，所述输送带上安装有可拆卸且与所述待检测压力传感器尺寸相同的托盘，所述托盘正上方安装有连接供气装置且可上下前后左右移动的检测装置，所述检测装置面向所述托盘的一侧安装有测试触头，所述测试触头上安装有标准压力表，所述检测装置、托盘和供气装置分别连接控制系统。
101.步骤11具体包括以下步骤：
102.步骤一：取待检测压力传感器，将其放入托盘；
103.步骤二：对薄膜压力传感器的表面性状进行检测；判断薄膜压力传感器表面是否
有缺陷；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤三；
104.步骤二中对薄膜压力传感器的表面性状进行检测，包括如下步骤：
105.s1：在输送带上安装有灯源和相机，获取多组薄膜压力传感器的薄膜图像；将图像转换成灰度图像；取其中一张图像中的任意点灰度像素值，以该点向外辐射；将相邻点灰度像素值与该点灰度像素做差值比较运算，得到差值为a1；并记录对比数量为b1；若a1≤20；则记录该相邻点灰度像素；若a1＞20，则舍弃该相邻点灰度像素；依此类推；
106.s2：若b1值大于图像像素点的60％时，将记录的各相邻点的灰度像素求取平均值，得到标准灰度像素值；以该标准灰度像素值形成一与薄膜图像重合的薄膜标准灰度图像；将薄膜标准灰度图像与薄膜实际灰度图像做“与”运算，得到薄膜图像中区别于薄膜灰度图像的像素点；其中，当运算后差值绝对值大于20时；判定改点为区别点；得出区别点后进入步骤s3；
107.s3：若b1值无法达到图像像素点的60％时；则判定该任意点像素为区别点；同时判定记录的像素点均为区别点；进入步骤s4；
108.s4：由区别点的位置以及形状判断薄膜出现缺陷的位置以及异常的种类：若区别点形成不均匀片状结构；则判定该部位为孔洞；若区别点形成点状结构；则判定该部位为黑点或斑点。
109.步骤二中还包括在线检测薄膜厚度的方法，包括如下步骤：
110.a1：在输送带上安装有红外线测量仪，将标准薄膜压力传感器放置在测量平台上；
111.a2：沿标准薄膜压力传感器输送方向间隔直线设置至少五个测量位；红外线测量仪包括至少10个测量基础点；各测量基础点分别对应标准薄膜压力传感器上薄膜的测量点；各测量基础点垂直于标准薄膜压力传感器输送方向设置；将红外线测量仪移动至各测量位上；得到相对应的测量点厚度数据；
112.a3：对步骤a2中每个测量位上测得的数据进行收集并计算平均厚度数据得到平均厚度对照线；
113.a4：将待检测薄膜压力传感器输送至测量平台上，通过红外线测量仪测得各测量位对应的实际测量点厚度数据；将各组实际测量点厚度数据形成实际厚度曲线；并与平均厚度对照线进行对比；判断实际厚度曲线相对平均厚度对照线上下波动是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器厚度异常；将其进行回收；
114.a5：厚度测量正常的薄膜压力传感器进入下道工序。
115.步骤三：对照标准薄膜压力传感器，多次调节检测装置的位置，对薄膜压力传感器多点处的计示压力进行在线检测；判断薄膜压力传感器的计示压力是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤四；
116.所述步骤三中在线检测薄膜压力传感器的计示压力是否符合标准的方法包括如下子步骤：
117.b1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
118.b2：同步设定检测装置的压力值和相同位置，对标准薄膜压力传感器和待检测薄膜压力传感器某一点进行在线检测；
119.b3：通过控制系统读取待多个待检测薄膜压力传感器的读数是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器厚度异常；将其进行回收；
120.b4：判断待检测薄膜压力传感器和标准薄膜压力传感器相互之间的读数是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器厚度异常；将其进行回收；
121.b5：重复b2-b5，对薄膜压力传感器的另一点进行在线检测。
122.可以对制作完成的薄膜压力传感器实现自动化检测的同时，更可以初步判定薄膜压力传感器精度是否满足需求；则可以快速调整后批薄膜压力传感器的情况。
123.步骤四：对照标准薄膜压力传感器，调节检测装置的位置和调节供气装置的气体压力，对薄膜压力传感器单点处进行在线点断式检测；判断薄膜压力传感器的重复性是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤五；
124.所述步骤四中在线检测薄膜压力传感器的重复性是否符合标准的方法包括如下子步骤一：
125.c1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
126.c2：设定检测装置的固定压力值和相同位置，对标准薄膜压力传感器某一点进行间断式在线检测，对间断式测得的数据进行收集得到标准压力波动曲线；
127.c3：对多组待检测薄膜压力传感器相同点进行间断式在线检测，将各组实际测量点压力数据形成实际压力曲线；并与标准压力波动曲线进行对比，判断实际压力曲线相对标准压力波动曲线上下波动是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器压力异常；将其进行回收；
128.c4：重复c2-c3，对薄膜压力传感器的另一点进行在线重复性检测。
129.所述步骤四中在线检测薄膜压力传感器的重复性是否符合标准的方法包括如下子步骤二：
130.d1：将标准薄膜压力传感器放置在输送带上其中一个标准托盘上；
131.d2：设定检测装置的浮动压力值和相同位置，检测装置的压力值随时间变化而变化，对标准薄膜压力传感器某一点进行间断式在线检测，对间断式测得的数据进行收集得到标准压力变化曲线；
132.d3：检测装置相同的条件下，对多组待检测薄膜压力传感器相同点进行间断式在线检测，将各组实际测量点压力数据形成实际压力曲线；并与标准压力变化曲线进行对比，判断实际压力曲线相对标准压力变化曲线上下波动是否在设定阈值内；若不在设定阈值内时，则判定薄膜压力传感器压力异常；将其进行回收；
133.d4：重复d2-d3，对薄膜压力传感器的另一点进行在线重复性检测。
134.步骤五：对机架进行封闭式抽真空处理，对照标准薄膜压力传感器，多次调节检测装置的位置，对薄膜压力传感器多点处的绝对压力进行在线检测；判断薄膜压力传感器的绝对压力是否在标准范围内；若不达标则放入回收区；若达标则进入步骤六；
135.步骤六：对检测完成的薄膜压力传感器进行封装处理。
136.相对薄膜压力传感器进行表面检测、计示压力检测(精度检测对比)、绝对压力检测(精度检测对比)和重复性检测(疲劳测试)，对矫形器需要的性能基本检测，满足了矫形器传感器的基本需求。
137.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。