真空样品中转系统、中转方法及真空处理系统与流程

技术特征：
1.一种真空样品中转系统，其特征在于，包括：真空中转腔；轨道，设置在所述真空中转腔内；真空载样车，滑动设置在所述轨道上；取样装置，设置在所述真空中转腔上方且至少部分位于所述真空中转腔内；以及传样装置，至少部分位于所述真空中转腔内，其中，所述取样装置用于抓取所述真空载样车上承载的样品并放至在所述传样装置上。2.根据权利要求1所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述取样装置包括：取样臂，包括控制组件和取样组件，所述控制组件用于控制所述取样组件取样；以及密封件，用于将所述取样组件至少部分地密封在所述真空中转腔内。3.根据权利要求2所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述取样装置还包括：波纹管，用于密封连接所述取样臂和所述密封件。4.根据权利要求3所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述取样组件包括：外套筒；内杆，至少部分设置在所述外套筒内，所述控制组件包括：磁传动组件，沿所述内杆上端周向设置；以及磁驱动组件，沿所述外套筒上端周向设置并与所述磁传动组件磁耦合。5.根据权利要求4所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述取样组件包括：取样件，设置在所述内杆末端，用于抓取或松开所述样品。6.根据权利要求4所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述取样装置包括：一个或多个立柱，可拆卸地连接在所述密封件上；以及停放盘，设置在所述一个或多个立柱上，包括一个或多个停放槽，用于停放所述取样臂。7.根据权利要求1-6中任一项所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述真空载样车包括：车体，滑动装置，与所述车体连接，滑动设置在所述轨道上，用于使所述车体滑动；以及一个或多个载样装置，设置在所述车体上，用于竖立地承载样品。8.根据权利要求7所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述载样装置包括：凸台，设置在所述车体上；以及一个或多个托架，设置在所述凸台上，用于使所述样品竖立在所述托架中。9.根据权利要求8所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述一个或多个托架沿弧线放射状分布在所述凸台上。10.根据权利要求9所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述凸台整体沿所述弧线延伸，并且所述凸台的上表面向所述弧线内侧倾斜。11.根据权利要求7所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述一个或多个载样装置包括：
第一载样装置和第二载样装置，所述第一载样装置与所述第二载样装置对称设置且间隔开。12.根据权利要求11所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述一个或多个载样装置还包括：第三载样装置和第四载样装置，所述第三载样装置与所述第四载样装置对称设置且间隔开，所述第一载样装置和所述第二载样装置与所述第三载样装置和所述第四载样装置相对于所述车体的中心对称设置。13.根据权利要求7所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述真空载样车还包括：一个或多个附加载样装置，设置在所述车体的至少一端，所述附加载样装置包括：附加凸台，设置在所述车体的至少一端上；以及一个或多个附加托架，设置在所述附加凸台上，用于竖立地承载附加物品。14.根据权利要求7所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述滑动装置包括：多个滑轮，设置在所述车体上。15.根据权利要求14所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述多个滑轮包括：至少两对定心滑轮；以及至少一对偏心滑轮。16.根据权利要求7所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述真空载样车包括：驱动磁体，包括外弧面；导磁体，所述驱动磁体设置在所述导磁体底部；以及c型安装座，横向设置在所述车体上，c型开口用于容纳轨道，其中所述导磁体设置在所述c型安装座底部。17.根据权利要求1-6中任一项所述的真空样品中转系统，其特征在于，所述传样装置设置在所述真空中转腔侧方，包括：传样臂；以及传样件，设置在所述传样臂末端，用于停在所述真空载样车的上方，其中，所述取样装置用于抓取所述真空载样车上承载的样品并放至在所述传样件上。18.一种真空处理系统，其特征在于，包括：根据权利要求1-17中任意一项所述的真空样品中转系统，其中所述真空样品中转系统的真空中转腔包括一个或多个中转窗口；以及一个或多个真空处理腔，所述真空处理腔与所述中转窗口真空密封连接。19.一种真空样品中转方法，其特征在于，包括：通过取样装置从真空中转腔上方抓取真空载样车上竖立承载的样品；将样品放至在传样装置上；以及将样品传递至真空处理腔。20.根据权利要求19所述的真空样品中转方法，其特征在于，还包括：驱动真空载样车在真空中转腔内滑动以传递样品。21.根据权利要求20所述的真空样品中转方法，其特征在于，还包括：将所述传样装置停在所述真空载样车上方；以及将多个样品传递至所述真空处理腔。
22.根据权利要求21所述的真空样品中转方法，其特征在于，还包括：摆动所述取样装置；抓取所述真空载样车上不同位置承载的样品；以及将样品放置在所述传样装置上。

技术总结
本公开提供了一种真空样品中转系统，包括：真空中转腔；轨道，设置在真空中转腔内；真空载样车，滑动设置在轨道上；取样装置，设置在真空中转腔上方且至少部分位于真空中转腔内；以及传样装置，至少部分位于真空中转腔内，其中，取样装置用于抓取真空载样车上承载的样品并放至在传样装置上。并放至在传样装置上。并放至在传样装置上。


技术研发人员：陈飞 谢斌平 葛九文
受保护的技术使用者：费勉仪器科技（上海）有限公司
技术研发日：2021.12.21
技术公布日：2022/4/15