用于加工细长工件的放电工艺和设备的制作方法

1.本公开涉及被配置成执行放电加工工艺的设备、其操作方法和一体式离心式压缩机转子，以允许加工特别长且繁琐的元件构件，其中需要低加工公差。


背景技术：

2.刻模(die sinking)放电加工工艺(也称为“刻模edm”工艺)是基于火花加工的制造工艺，由此通过使用放电(即，火花)来获得金属件的期望形状。
3.更详细地，通过两个电极之间的一系列快速重复的电流放电从工件中去除材料，所述电极由待加工的工件浸没在其中的介电液体隔开。电极还经受适当的电压。然后将工具电极与待加工的工件电接触。
4.通常，电极中的一个被称为工具电极，或简称为“工具”或“电极”，而另一个称为工件电极或“工件”。
5.如可以容易地理解，所述工艺在工具与工件之间没有接触的情况下进行。实际上，当两个电极之间取决于所使用的介电液体的适当电压增加到超出预定阈值时，电极之间的体积中的电场强度变得大于介电质的强度，这使电流在两个电极之间流动。因此，从电极中去除材料。然后，一旦电流被中断，通常将新的液体介电质输送到电极间体积中(或在工具电极与待加工的工件之间)，从而使固体颗粒能够被带走并恢复介电质的绝缘特性。在此连接中，为了简化此恢复工艺并加速工艺，通过引起介电液体的一些湍流来移动介电液体。
6.通常针对特别困难的加工操作施加刻模edm工艺，其中，例如需要获得复杂的通道或成形复杂部件，所述复杂的通道或成形复杂部件无法基于例如材料的机械去除(诸如，铣削、钻削等)通过标准的加工系统来实现。
7.目前，施加刻模edm工艺来加工盘状轴件-叶轮转子的叶轮。叶轮是盘状机械元件，所述盘状机械元件通常与转子轴机械地联接，所述转子轴具有侧向镰状通道。此类通道具有所谓的诱导器侧(即，气体进入叶轮的开口)和导流器侧(气体从叶轮本身流出的开口)，并且旨在用于气体在离心式压缩机中的通路。所述通道必须以高精度加工，使得它们也可以在其中的任何两个之间形成刀片。
8.具体地说，如上所述盘状的所述叶轮可以通过刻模edm工艺容易地加工，其由于相对小的尺寸可以浸没在装满有介电液体的容器或罐中。因此，镰状通道由合适的镰状电极制成，所述合适的镰状电极具有适当的尺寸，能够在制作时容易地穿透通道内部。
9.然而，在目前，离心式压缩机需要越来越高的性能，并且因此前述轴件-叶轮转子需要越来越高的性能。特别地，当安装在气体涡轮机中时，所述轴件-叶轮转子经受高达30,000rpm的旋转速度。这需要叶轮经受相当大的机械应力和应变。
10.已经发现，使用单块式轴件-叶轮转子，其中叶轮不借助于凸缘和/或其他机械构件联接，但叶轮和轴件由单件制成，具有改进的机械性能并允许实现期望性能。
11.如上所述，用于施加刻模edm加工工艺的要求之一是待加工的工件必须完全浸没在介电液体中。因此，必须使用充满介电液体的容器，其能够容纳整个待加工的工件，以便
将整个工件完全浸没在所述介电液体中，然后执行加工工艺。
12.这使得对于繁琐的部件来说，上述加工技术的应用很麻烦。更具体地，在通常长于一米的单块式轴件-叶轮转子的情况下，在合适容器中布置所述转子以在竖直布置中容纳所述转子实际上无法既具功能性又方便。
13.另外，为了实现提及的所需性能，轴件-叶轮转子必须以低加工公差(特别是关于偏心(run-out)的最小化)来实现。更具体地，需要轴件-叶轮转子具有高度的同轴性。为此，在单块式轴件-叶轮转子的刻模edm加工工艺期间，单块式轴件-叶轮转子必须在加工任何单个通道之前经历部分旋转。此操作步骤必须以高精度进行，用于防止上文提到的偏心。考虑到本技术所必要的所需公差，在旋转时获得并维持竖直布置的轴件-叶轮转子的同轴性非常复杂。
14.众所周知，由于所需的低加工公差，已知设备对于高操作成本以及操作复杂性具有负面影响。
15.因此，在技术中将需要改进的设备及其操作方法。更一般来说，将期望提供一种能够以既经济又方便的方式借助于刻模放电加工工艺来允许加工长的单块式工件(诸如，单块式轴件-叶轮转子)的加工设备或装备。


技术实现要素：

16.在一个方面，本文公开的主题涉及一种用于刻模放电加工工艺的设备，特别是用于加工单块式轴件-叶轮转子，所述工单块式轴件-叶轮转子繁琐且笨重，使得当需要高精度加工时，加工通常不容易。所述设备包括支撑框架，所述支撑框架包括基板和加工头单元，所述加工头单元具有用于执行所述放电加工工艺的电极。所述设备具有可调节支撑件，其中转子放置在所述可调节支撑件上并且以高精度围绕特定轴旋转。所述可调节支撑件的高度可以是可调节的。所述设备还包括旋转构件，所述旋转构件适于抓握待加工的单块式轴件-叶轮转子的端部中的一个，并且围绕其纵向轴旋转。
17.在另一方面，本文公开了一种通过改进的刻模放电加工工艺来加工单块式轴件-叶轮转子的方法。所述方法包括若干步骤，除非另有说明，否则可以以任何合适的顺序执行：将至少约0.80米转子的细长工件布置在刻模放电机器的可调节支撑件的轴承上；将单块式轴件-叶轮转子的端部中的一个插入旋转构件的套环的壳体中；以及检查单块式轴件-叶轮转子的位置适合于借助电极执行刻模放电加工工艺，同时以极低偏心围绕其自身的对称轴旋转。在执行加工方法时，单块式轴件-叶轮转子借助旋转构件围绕其自身的轴旋转。旋转由支撑件的轴承促进。单块式轴件-叶轮转子以这样的方式布置使得其旋转的低偏心允许以高精度加工叶轮上的通道。
附图说明
18.当结合附图考虑时，通过参考以下详细描述，将容易地获得对本发明所公开的实施方案及其许多伴随的优点的更全面的理解，这同样变得更好理解，其中：
19.图1示出了用于新的放电加工工艺的设备的实施方案的透视图；
20.图2示出了图1的设备的第二透视图；
21.图3示出了图1的设备的侧视图；
22.图4示出了由图1的设备加工的单块式轴件-叶轮转子；
23.图5示出了图1的设备的可调节支撑件的实施方案；
24.图6示出了图1的设备的旋转台；
25.图7示出了用于容纳和抓握图6旋转台的单块式轴件-叶轮转子的端部的套环；
26.图8示出了图1的设备的加工头单元的实施方案；
27.图9示出了安装在图8的加工头单元上的电极，旨在用于执行刻模放电加工工艺；
28.图10示出了用于定位待加工的单块式轴件-叶轮转子的调节操作；
29.图11示出了用于定位待加工的单块式轴件-叶轮转子的另一操作；并且
30.图12示出了用于加工单块式轴件-叶轮转子的方法的流程图。
31.在各个图中，类似的部件将由相同的附图标记表示。
具体实施方式
32.根据一个方面，本发明主题涉及一种改进设备，所述改进设备被配置成通过刻模放电加工工艺来处理细长工件，其中考虑到偏心需要低加工公差。新的改进设备独特地被设计成在加工工艺期间维持细长工件的轴向对称性。
33.所述设备能够加工细长工件，诸如单块式轴件-叶轮转子等，所述细长工件可以相对于支撑设备的基本上平坦的表面水平布置，以便允许细长工件完全浸没在介电液体内，用于通过改进的刻模放电加工工艺来处理(例如，加工、制造、制作等)细长工件。参考笛卡尔轴xyz，细长工件具有纵向主轴，所述纵向主轴可视为与x轴对准。细长工件可在加工时围绕此x轴旋转。在操作中，考虑到实现低偏心，细长工件也围绕主轴旋转。另外，电极可以相对于细长工件本身移动，以便允许极低加工公差并执行复杂的加工。电极可以在工件周围的空间中移动，也沿相对于设备所放置平面的轴竖直的z轴和相对于另外两个轴垂直的y轴平移。
34.因此，借助于进行刻模放电加工工艺的同时细长工件围绕其主轴的旋转，并且通过对细长工件的定位进行控制以实现低偏心(run-off)旋转效应，有可能获得精确的处理，并且同时，即使在处理特别大体积的工件时仍有可能显著地节省介电液体。实际上，刻模放电加工工艺需要将待加工的件完全浸没在介电液体中。在用于减小容纳罐的体积的布置中，细长工件可水平布置。这意味着对工件围绕主轴的旋转的特定控制。
35.为了实现上述结果，设备被配备有支撑件，所述支撑件可以被调节成支撑和细调细长工件，以便其围绕其主轴旋转。另外，提供了用于在加工操作期间旋转工件的装置，所述装置在旋转时保持工件本身牢固地处于适当位置。以此方式，细长工件围绕主轴平滑旋转，并且被适当地支撑以减少任何可能的偏心。
36.现在参考附图，图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8和图9示出了用于刻模放电加工(edm)工艺的改进设备的实施方案，所述设备整体用附图标记1指示。设备1通常包括：罐2；支撑框架3，具有基板31；可调节支撑件4，放置在所述基板31上，适于支撑待加工的工件，例如单块式轴件-叶轮转子5；旋转台6，用于在加工工艺期间旋转工件；以及加工头7，用于固持电极8，以执行刻模edm处理。与根据现有技术的设备或装备不同，设备1提供旋转台6与可调节支撑件4的协作，允许控制细长工件围绕其主轴的旋转，同时以减少的偏心加工。而且，与现有技术加工不同，由于2的形状，设备1允许介电液体的显著节省。
37.设备1的不同部分将在下面详细地公开。
38.罐2适于容纳介电液体，其中将待加工的工件在加工工艺期间浸没在所述介电液体中。在本实施方案中，罐2由能够竖直移动的四个竖直凸出头21、22、23和24制成。更具体地，考虑三个笛卡尔轴xyz，其中z轴相对于基板31垂直，单片轴件-叶轮转子5的主轴r沿x轴对准，所述主轴r在所关注问题的情况下是对称轴，并且它是工件必须以低偏心旋转所围绕的轴，如下文更好地解释，并且y轴垂直于另外两个x-z轴。因此，所述凸出头21、22、23和24可以沿所述z轴升高和降低。此外，所述凸出头21、22、23和24可以尽可能多地升高以允许将介电液体倒入罐2中以完全覆盖待加工的工件5。
39.罐2也可以以其他方式实现，只要可以容纳介电液体，以便将待加工的工件5完全浸没在基本上水平的位置。
40.支撑框架3包括放置在底部的所述基板31，以支撑待加工的工件，所述基板31具有第一定位引导件311和第二定位引导件312，所述两个的功能将在下文中更好地限定。仍然参考上述笛卡尔轴，所述第一定位引导件311和第二定位引导件312彼此平行并且沿y轴的方向布置。
41.支撑框架3还包括支撑块32，所述支撑块32放置在基板31的边缘处并且相对于基板31竖直布置。支撑框架3还包括横梁33，所述横梁33布置在上部件处，设置有引导件(图中未示出)，以允许在加工头单元7的空间中移动，如下文更好地解释。
42.在一些实施方案中，可以预见其他移动系统或解决方案或变体，如下文将更好地讨论，那么横梁33和支撑框架3可以具有不同的配置。
43.如上所述，所公开的设备1被配置成加工至少0.8米的细长工件。设备1可用于各种类型的涡轮机的组件和部件，并且在一个实施方案中，被配置成加工(或生产)细长的单块式轴件-叶轮转子，诸如图4中所示。这个转子可以被配置成用于涡轮机，诸如压缩机。压缩机可以是离心式压缩机。
44.特别地，图4中所示细长的单块式轴件-叶轮转子5具有转子轴50、两个叶轮51和52，所述两个叶轮51和52基本上位于转子5的中心并且彼此面对。所述单块式轴件-叶轮转子5还具有两个端部53和54。细长的单块式轴件-叶轮转子5的典型最小尺寸仅作为示例，可以使用本文所述的新的放电加工和工艺制造/生产的单块式轴件-叶轮转子5可以具有1018mm的长度，而叶轮可以具有187mm的半径。显而易见的是，这里的测量值仅示出作为实例，并且不应视为限制保护范围，因为可以提供不同的尺寸。
45.一般来说，设备1方便地用于加工至少800mm长，长达甚至2000mm或更长的细长工件。实际上，上述指定长度的单块式轴件-叶轮转子一件式整体地形成，具有从纵向主轴径向向外延伸的盘状叶轮，相对于具有与轴联接的叶轮的转子，所述单块式轴件-叶轮转子具有改进的机械性能，因为在单块式轴件-叶轮转子中叶轮可以经受增加的机械应力。
46.设备1可以被配置成包括两个可调节支撑件4。两个可调节支撑件4中的每一个具有(参见图5)主体41。每个主体41具有板411和竖直部分412。板411可滑动地接合在第一定位引导件311或第二定位引导件312中的一个上，以便固定到所述基板31的上表面。具体地，此类布置允许支撑件4的最佳对准，这旨在允许单块式轴件-叶轮转子5水平定位。根据现有技术的装备并不配备可调节竖直支撑件，所述可调节竖直支撑件能够在必要时允许转子5并且一般来说待加工的大体积细长元件围绕其主轴的旋转。
47.竖直部分412相对于所述板411并且因此相对于所述基板31垂直布置。所述可调节支撑件4的所述主体41还包括：一对销413，所述一对销413固定到所述竖直部分412的面；调节粒子414，所述调节粒子的功能将在以下方面更好地解释。
48.此外，所述可调节支撑件4中的每一个的所述主体41还包括适当可调节固定构件415，用于沿相应的第一定位引导件311或第二定位引导件312将板411固定到基板31，以便调节每个可调节支撑件4沿y轴的位置。
49.所述可调节支撑件4中的每一个还包括滑块42，所述滑块具有两个引导通道421，所述两个引导通道沿z轴方向彼此平行布置，即相对于基板31垂直。所述销413中的每一个可滑动地插入相应引导通道421中。以此方式，滑块42能够相对于由所述销413引导的所述主体41竖直移动。提供两个平行引导通道421允许滑块刚性地竖直平移(即，相对于基板31垂直)而不进行任何旋转，以确保在定位在所述可调节支撑件4上时，轻松调节竖直支撑件4的定位，进而轻松调节单块式轴件-叶轮转子5的定位。
50.上文公开的可调节支撑件4的结构允许单块式轴件-叶轮转子5(或任何其他类型的细长工件)的主轴在期望位置的精细对准，以执行所需的加工工艺。可以实现能够允许细长工件的竖直和水平位置的精细调节的其他结构，以适当地对准细长工件的主轴r。
51.可调节支撑件4还包括一对轴承43，所述轴承43在所述滑块42上枢转并且并排布置，以便能够支撑待加工的细长工件。特别地，在单块式轴件-叶轮转子5的情况下，所述两个可调节支撑件4中的每一个被布置成使得在端部53和54中的每一个与分别更靠近的叶轮51或52之间的基本上中间点支撑所述转子5，如图2中可见。轴承43允许待加工的转子5沿其自身主轴(即，第一旋转轴a)围绕工件的对称轴(被标记为字母r，在所示的实施方案中与x轴对准)的正确并平滑地旋转。可以看出，借助所述固定构件415，有可能调节每个可调节支撑件4相对于基板31的位置。此外，通过作用在调节粒子414上，也有可能准确地升高或降低滑块42，并且因此准确地升高或降低轴承43，如所提到，单块式轴件-叶轮转子5在加工之前布置在所述轴承43上。
52.布置在相应可调节支撑件4的顶部的每一对轴承43可以容纳并承载布置在两个适当可调节支撑件4上的单块式轴件-叶轮转子5的重量，并且同时，转子5可以围绕其主轴以低偏心平滑地旋转。
53.在所示的实施方案中，两个可调节支撑件4被布置成沿x轴对准，它们能够分别沿所述第一定位引导件311和第二定位引导件312相对于旋转台6移动，并且以此方式允许支撑件处于轴5或一般来说工件的两个中间点中，以便允许在处理步骤期间最佳支撑和定位。
54.更具体地，两个可调节支撑件4固定到所述基板31，使得当待加工的单块式轴件-叶轮转子5放置在两个可调节支撑件4上时，转子5被支撑在两个基本上且优选地对称的中间位置。
55.旋转台6具有将转子5保持在适当位置的功能，并且在加工步骤期间使转子5围绕其主轴r旋转。旋转台6布置并固定在所述支撑块32上。另外，参考图6和图7，可以看出，所述旋转台6具有放置在所述旋转台6的所述面中的一个的中心处的套环61，其中所述套环61适于便于转子5的正确组装并且确保由所述旋转台6引起的所述单块式轴件-叶轮转子5的同轴旋转，即以低偏心围绕转子5的主轴的旋转。
56.套环61在其中心处具有壳体64，旨在容纳转子5的端部53。在套环61的所述壳体64
内安装定心尖端62，所述定心尖端62安装在锥形阀座(图中未示出)上并且被拉动螺钉63拉动。借助于定心尖端62，有可能准确地定心转子轴5，从而允许相对于单块式轴件-叶轮转子5或一般来说工件的主轴r(纵向轴)的旋转。
57.而且，在套环61内存在凸缘式衬套65，所述凸缘式衬套65包括用于在单块式轴件-叶轮转子5插入所述壳体64之后抓握其端部53的螺纹粒子66。凸缘式衬套65和螺纹粒子66允许单块式轴件-叶轮转子5的固定抓握，所述固定抓握对于围绕主轴r旋转转子5同样需要，从而避免其滑动或移位。
58.借助于在图中未示出的合适驱动单元(诸如，电动机等)，旋转台6能够绕所述旋转轴a旋转。在所示的实施方案中，旋转轴a(平行)对准到转子5的主轴r。
59.在一些实施方案中，旋转台6可以是能够抓握并旋转所述单块式轴件-叶轮转子5的任何旋转构件，而所述转子5放置在可调节支撑件4上。
60.借助于凸缘式衬套65及其螺纹粒子66，可以通过摩擦将旋转运动传输到所述转子轴5，从而允许在处理步骤期间进行逐步旋转，如下文更好地解释。
61.在根据本实施方案的设备1的图8和图9中示出的加工头单元7包括托架71，所述托架71在这个实施方案中能够沿放置在所述支撑框架3的横梁33上的引导件(引导件未在图中示出)移动，使得所述托架71可以在待加工的所述单块式轴件-叶轮转子5上方的x-y平面上移动。
62.所述加工头单元7包括竖直支撑件72，所述竖直支撑件72是伸缩的，并且沿z轴布置。所述竖直支撑件72的第一端部与所述托架71可旋转地联接。而且，所述加工头单元7包括头73，所述头73围绕第二旋转轴b与所述竖直支撑件72的第二端部可旋转地联接。
63.通过上述布置，头73可以沿三个笛卡尔自由度(x、y和z轴)和一个旋转自由度移动(围绕所述第二旋转轴b)，在这个实施方案中所述旋转自由度平行于所述z轴。
64.上面可以可拆卸地联接用于执行刻模edm工艺的电极8的电极固持器74继而沿第三旋转轴c与所述头73可旋转地联接。第三旋转轴c相对于z轴垂直布置。
65.通过上述布置，电极固持器74可以沿头73的相同四个自由度在空间中移动，加上围绕第三旋转轴c的额外旋转自由度。因此，电极固持器74可以在待加工的单块式轴件-叶轮转子5(或任何细长工件)周围的空间中在五个自由度上移动。还考虑到轴件-叶轮转子5可以围绕第一旋转轴a逐步旋转，如上所述，在本实施方案中，电极固持器74与轴件-叶轮转子5之间的相对移动的特征在于总共六个自由度，即三个平移自由度(沿三个笛卡尔轴)和三个旋转自由度(围绕旋转轴a、b和c)。因此，设备1具有显著的操作灵活性。如此，在图中示出的本实施方案中，旋转a轴与x轴重合，在使用中细长工件的主轴r与所述x轴对准；而旋转b轴与y轴重合。
66.在另外的其他实施方案中，用于使电极固持器74并且因此使电极8在轴-叶轮转子5周围的空间中移动的其他系统可以被提供，诸如例如，具有一个或多个腕部的机械臂能够沿若干平移和旋转自由度移动和定向空间中的电极。以此方式，电极8可以到达单块式轴件-叶轮转子5的表面的任何点，用于在工件的任何部分中执行刻模edm工艺。
67.如上文已经提及的，电极8是镰状的，并且可以与电极固持器74可移除地联接以改变电极8的大小，这取决于待实现和加工的通道的大小。
68.图9示出了电极8如何在叶轮51的侧表面上进入，实现镰状通道511(电极可以实现
叶轮52的通道521)，旨在还实现用于离心式压缩机的叶片511
′
(或叶轮52的521
′
)。
69.如可以容易地理解，加工类似于所述图9中所示的通道可能很复杂，通过基于机械去除材料的常规系统(即，通过铣削或钻削加工工艺)几乎不可能。
70.在一些实施方案中，可以预见在头72的空间中移动的其他结构，以便其容易地到达单块式轴件-叶轮转子5的任何部分，并且具体地说，叶轮51或52的侧表面或转子的任何其他部件，以便实现通道511和512的诱导器侧(即，气体进入叶轮的开口)和导流器侧(气体从叶轮本自身流出的开口)。如上所述并且仍以举例的方式，头72可以安装在铰接的拟人臂上，使得其具备甚至增加数量的自由度，用于在空间中定向所述头72。
71.设备1用于上文所描述的刻模放电加工工艺的操作如下。
72.参考图10、图11和图12，作为第一操作步骤，一旦设备1已组装，单块式轴件-叶轮转子5的端部53布置在可调节支撑件4上(图12中流程图10的步骤101)并且插入套环61的壳体64(图12中步骤102)。端部53在定心尖端62上枢转，所述定心尖端62被螺钉63拉动。
73.然后，单块式轴件-叶轮转子5的主轴r必须沿相对于旋转台6的中心垂直的方向正确定位，如图12中步骤103所示。对准检查对于确保整个单块式轴件-叶轮转子5在加工之前的平面性和同心度至关重要，以便通过模刻模edm技术执行分别对叶轮51和52的通道511和521的实现。对准检查实际上借助于一个或多个刻度计9进行。
74.更具体地，通过刻度计9，基本上执行两个检查：
[0075]-在第一检查中，如图12中步骤1031所示，将刻度计9安装在头73上并且沿x轴滚动，以检查整个单块式轴件-叶轮转子5平行于x轴，即，单块式轴件-叶轮转子5的纵向旋转轴r与x轴对准(也参见图10)；以及
[0076]-在第二检查中，如图12中步骤1032所示，通过将刻度计9安装在基板31上并且通过旋转台6的旋转在两个可调节支撑件4的四个轴承43上方旋转单块式轴件-叶轮转子5(或待加工的工件)(也参见图11)，在若干位置中检查单片轴件-叶轮转子5的同心度。
[0077]
可调节支撑件4保持单块式轴件-叶轮转子5主轴r与x轴适当对齐，使得转子5可在两个轴(y，z)上调节。更具体地，每个可调节支撑件4可以沿所述基板31的相应第一定位引导件311或第二定位引导件312沿所述y轴对准，同时用于相对于基板31(即，沿z轴)调节可调节支撑件4的高度，并且然后调节单块式轴件-叶轮转子5的高度，调节粒子414可以旋转，使得滑块42可以在竖直部分412上滚动。
[0078]
一旦转子5被定位，因此在其可能旋转期间的任何可能偏心得以减少，将工件电极与它连接，并且加工工艺可以开始，如图12中步骤104所示。然后，将四个凸起头21、22、23和24升高，并且将介电液体引入由所述四个凸出头21、22、23和24形成的容器中，以便覆盖单块式轴件-叶轮转子5(参见图12中步骤1041)。
[0079]
在这个配置中，在已经进行了所有定位调节之后，电极8到达叶轮51或52的侧面，用于执行刻模edm工艺，从而实现通道511或512，如图12中步骤1042所示。
[0080]
可以理解，电极8可以到达叶轮51或52的任何点，借助加工头单元7，特别是托架71、竖直支撑件72并且通过围绕第三旋转轴c旋转电极固持器74来改变位置和定向。另外，单块式轴件-叶轮转子5借助旋转台6沿第一旋转轴a逐步旋转，使得电极8可以容易地到达每个叶轮51或52的所有圆周边缘，从而实现通道511或512，如图12中步骤1043所示。
[0081]
虽然已经依据各种特定实施方案描述了本发明的各方面，但对于本领域普通技术
人员来说显而易见的是，在不脱离本权利要求的实质和范围的情况下，多种修改、变化和省略是可能的。此外，除非本文另外指明，否则任何过程或方法步骤的顺序或序列可根据另选的实施方案改变或重新排序。
[0082]
举例来说，虽然在上文公开的实施方案中已经描述了用于刻模edm工艺的设备，其旨在减少围绕其主轴的旋转期间的偏心，本领域技术人员将理解，所公开的布置可以用于可能需要减少偏心的不同系统中。
[0083]
已详细参考本公开的实施方案，其一个或多个示例在附图中示出。通过解释本公开而非限制本公开来提供每个示例。事实上，对于本领域的技术人员将显而易见的是，在不脱离本公开的范围或精神的情况下，可对本公开进行各种修改和变型。本说明书通篇对“一个实施方案”或“实施方案”或“一些实施方案”的提及意指结合实施方案描述的特定特征、结构或特性包括在所公开的主题的至少一个实施方案中。因此，在整篇说明书的多处出现的短语“在一个实施方案中”或“在实施方案中”或“在一些实施方案中”不一定是指相同的实施方案。此外，在一个或多个实施方案中，特定特征、结构或特性可以任何合适的方式组合。
[0084]
当介绍各个实施方案的要素时，冠词“一个”、“一种”、“该”和“所述”旨在意指存在要素中的一个或多个要素。术语“包括”、“包含”和“具有”旨在是包括性的并且意味着除所列元件外还可以有附加元件。