一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台的制作方法

1.本技术涉及五轴电动位移台领域，尤其是一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台。


背景技术：

2.五轴位移台又名五轴微移台，将手轮转动转换成位移动作，由机械完成，五轴移台有多种，其中最简单一种是机械式，全部功能都是由机构完成，还有一种是压电式，精度高，可以通过计算机控制，响应速度快但是行程很小，用在高精密定位。
3.在使用五轴位移台时，需要实现在超真空环境中的各种分析研究，五轴位移台只能进行精度位移的调整，不便于对整体的位移进行大幅调整后对五轴位移台的位置进行固定，使用较为不便。因此，针对上述问题提出一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台。


技术实现要素：

4.在本实施例中提供了一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台用于解决现有技术中的不便于对五轴位移台的位置进行固定的问题。
5.根据本技术的一个方面，提供了一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台，包括工作台、固定机构和调节机构；
6.所述固定机构包括五轴位移台本体，所述五轴位移台本体底部固定连接有搭接板，所述搭接板搭接在工作台上，所述搭接板底部固定连接有固定块，所述固定块插接贯穿固定插孔，所述固定块内固定设有固定空腔，所述固定空腔内转动连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆另一端贯穿固定空腔延伸至外部，所述第二螺纹杆上螺纹套接有两个第二移动套筒，两个所述第二移动套筒滑动套接在导向杆上，两个所述导向杆两端分别固定连接在固定空腔两侧，两个所述第二移动套筒两端均转动连接有转动板，四个所述转动板另一端分别转动连接在两个推板上，所述推板顶端与工作台底端处于同一水平线。
7.进一步地，所述固定插孔的个数为若干个，所述固定插孔等距均匀分布在工作台上。
8.进一步地，所述第二螺纹杆两端螺纹为相反设置。
9.进一步地，所述固定块位于固定空腔两端均固定设有开口。
10.进一步地，所述调节机构包括固定箱，所述固定箱底部固定连接有固定板，所述固定箱内底壁上转动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆顶端转动连接在固定箱顶壁上，所述第一螺纹杆上螺纹套接有第一移动套筒，所述第一移动套筒上固定连接有移动板，所述移动板顶端贯穿固定箱后延伸至外部，所述移动板顶端固定连接在工作台上。
11.进一步地，所述第一螺纹杆上固定套接有从锥齿轮，所述从锥齿轮上啮合有主锥齿轮，所述主锥齿轮上固定连接有转动杆，所述转动杆另一端贯穿固定箱延伸至外部，所述主锥齿轮转动连接在支撑板上，所述支撑板另一端贯穿第一螺纹杆后固定连接在固定箱
上。
12.通过本技术上述实施例，采用了固定机构，解决了不便于对五轴位移台的位置进行固定的问题，提高了五轴位移台的实用性。
附图说明
13.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
14.图1为本技术一种实施例的整体立体结构示意图；
15.图2为本技术一种实施例的整体内部结构示意图；
16.图3为本技术一种实施例的图2的a处局部放大结构示意图。
17.图中：1、五轴位移台本体；2、固定插孔；3、工作台；4、移动板；5、固定箱；6、第一移动套筒；7、支撑板；8、固定板；9、从锥齿轮；10、主锥齿轮；11、转动杆；12、第一螺纹杆；13、搭接板；14、固定块；15、固定空腔；16、推板；17、转动板；18、第二移动套筒；19、第二螺纹杆；20、导向杆；21、开口。
具体实施方式
18.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
19.需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
20.在本技术中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本技术及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
21.并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本技术中的具体含义。
22.此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。
对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
23.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
24.本实施例中的固定机构可以适用于各种五轴位移台，例如，在本实施例提供了如下一种紧凑型五轴位移台装置，本实施例中的固定机构可以用来进行固定如下紧凑型五轴位移台装置。
25.该种紧凑型五轴位移台装置，包括底板、活动板和调节固定板，调节固定板固定在底板的侧面，活动板与底板之间设置有限制活动板z轴方向位移的第一拉簧，以及限制活动板x轴方向位移的斜拉簧，活动板与调节固定板之间设置有限制活动板y轴方向位移的第二拉簧；调节固定板正面的一侧设置有第一z轴调节螺杆，另一侧设置有第二z轴调节螺杆；底板内部设置有两根第一传动轴，第一z轴调节螺杆和第二z轴调节螺杆贯穿调节固定板并与第一传动轴的一端接触，两根第一传动轴的另一端通过复位顶针与底板接触；第一传动轴的斜槽内放置有用于支撑活动板的钢珠，第一z轴调节螺杆和第二z轴调节螺杆通过轴向位移，分别带动两个第一传动轴中的一个或多个沿y轴方向位移，斜槽顶住钢珠沿底板的滑槽发生位移，钢珠带动活动板沿z轴方向位移；调节固定板的正面设置有x轴调节螺杆，底板内部设置有第二传动轴，x轴调节螺杆贯穿调节固定板并与第二传动轴的一端接触，第二传动轴的另一端通过复位顶针与底板接触；第二传动轴的斜槽内放置有用于支撑活动板上的滑动块的钢珠，x轴调节螺杆通过轴向位移，带动第二传动轴沿y轴方向位移，斜槽顶住钢珠沿底板的滑槽发生位移，钢珠带动滑动块和活动板沿x轴方向位移；调节固定板正面的一侧设置有第一y轴调节螺杆，另一侧设置有第二y轴调节螺杆，第一y轴调节螺杆和第二y轴调节螺杆贯穿调节固定板并与活动板接触，第一y轴调节螺杆和第二y轴调节螺杆中的一个或多个同时带动活动板沿y轴方向移动；第一拉簧的一端通过滚针与活动板连接，另一端通过滚针与底板连接，且活动板与底板上均设置有用于安装第一拉簧的安装槽。第二拉簧的一端通过滚针与活动板连接，另一端通过滚针与调节固定板连接，且活动板与调节固定板上均设置有用于安装第二拉簧的安装槽。第一拉簧和第二拉簧的数量均为两组。斜拉簧的一端通过滚针与活动板连接，另一端通过滚针和顶丝与底板连接，且活动板与底板上均设置有用于安装斜拉簧的安装槽。通过设置安装槽和滚针，方便拉簧和斜拉簧的安装，同时可以节省空间，使得结构更加紧凑；调节固定板上对应第一z轴调节螺杆、第二z轴调节螺杆、x轴调节螺杆、第一y轴调节螺杆和第二y轴调节螺杆的位置均设置有螺纹套。通过设置螺纹套，使得各个调节螺杆旋转时，沿轴向移动，从而调节活动板。
26.当然本实施例也可以用于固定其他结构的五轴位移台。在此不再一一赘述，下面对本技术实施例的固定机构进行介绍。
27.请参阅图1-3所示，一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台，包括工作台3、固定机构和调节机构；
28.所述固定机构包括五轴位移台本体1，所述五轴位移台本体1底部固定连接有搭接板13，所述搭接板13搭接在工作台3上，所述搭接板13底部固定连接有固定块14，所述固定块14插接贯穿固定插孔2，所述固定块14内固定设有固定空腔15，所述固定空腔15内转动连接有第二螺纹杆19，所述第二螺纹杆19另一端贯穿固定空腔15延伸至外部，所述第二螺纹杆19上螺纹套接有两个第二移动套筒18，两个所述第二移动套筒18滑动套接在导向杆20
上，两个所述导向杆20两端分别固定连接在固定空腔15两侧，两个所述第二移动套筒18两端均转动连接有转动板17，四个所述转动板17另一端分别转动连接在两个推板16上，所述推板16顶端与工作台3底端处于同一水平线，便于推板16与工作台3底部接触，从而将五轴位移台本体1固定住。
29.所述固定插孔2的个数为若干个，所述固定插孔2等距均匀分布在工作台3上，便于对五轴位移台本体1的水平位置进行调节；所述第二螺纹杆19两端螺纹为相反设置，便于两个第二移动套筒18同时向相反方向运动；所述固定块14位于固定空腔15两端均固定设有开口21，便于推板16进出固定空腔15；所述调节机构包括固定箱5，所述固定箱5底部固定连接有固定板8，所述固定箱5内底壁上转动连接有第一螺纹杆12，所述第一螺纹杆12顶端转动连接在固定箱5顶壁上，所述第一螺纹杆12上螺纹套接有第一移动套筒6，所述第一移动套筒6上固定连接有移动板4，所述移动板4顶端贯穿固定箱5后延伸至外部，所述移动板4顶端固定连接在工作台3上，便于第一螺纹杆12转动推动移动板4运动，对工作台3的高度进行调节；所述第一螺纹杆12上固定套接有从锥齿轮9，所述从锥齿轮9上啮合有主锥齿轮10，所述主锥齿轮10上固定连接有转动杆11，所述转动杆11另一端贯穿固定箱5延伸至外部，所述主锥齿轮10转动连接在支撑板7上，所述支撑板7另一端贯穿第一螺纹杆12后固定连接在固定箱5上，便于转动杆11转动带动第一螺纹杆12转动。
30.本实用新型在使用时，本技术中出现的电器元件在使用时均外接连通电源和控制开关，首先通过将五轴位移台本体1底部的搭接板13搭接在工作台3上，将搭接板13底部的固定块14插入适当位置处的固定插孔2内，对五轴位移台本体1的水平位置进行调节，通过第二螺纹杆19转动带动两个第二移动套筒18运动，第二移动套筒18在导向杆20上滑动，便于固定第二移动套筒18的运动方向，第二移动套筒18运动带动转动板17转动，转动板17转动推动两个推板16向开口21外运动，推板16运动至顶端与工作台3底端接触，从而将五轴位移台本体1固定住，通过转动转动杆11，转动杆11转动带动主锥齿轮10转动，主锥齿轮10转动带动从锥齿轮9，从锥齿轮9转动带动第一螺纹杆12转动，第一螺纹杆12转动带动第一移动套筒6运动，第一移动套筒6运动带动移动板4运动，移动板4运动推杆工作台3的高度改变，便于对五轴位移台本体1的高度进行大幅调节。
31.本技术的有益之处在于：
32.1.本技术通过第二螺纹杆转动带动两个第二移动套筒运动，第二移动套筒在导向杆上滑动，第二移动套筒运动带动转动板转动，转动板转动推动两个推板向开口外运动，推板运动至顶端与工作台底端接触，从而将五轴移动台本体固定住；
33.2.本技术通过转动杆转动带动主锥齿轮转动，主锥齿轮转动带动从锥齿轮，从锥齿轮转动带动第一螺纹杆转动，第一螺纹杆转动带动第一移动套筒运动，第一移动套筒运动带动移动板运动，移动板运动推杆工作台的高度改变，便于对五轴位移台的高度进行大幅调节。
34.涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本技术保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
35.以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。