一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆分选机组件，具体地说，是一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行aoi测试，对晶圆的种类、质量进行检测后，然后依据种类及质量的不同对晶圆进行分选，把不同的晶圆分隔开来。
3.目前，晶圆的分选工艺主要是通过人工进行分选，分选工人需要对每片晶圆进行仔细检查后进行归类放置，不但分选效率低，劳动强度大，分选成本高，且人工分选无法对衬底号进行排序，在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致分选错误，且在分选时易对晶圆造成划伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动分选机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力。
4.传统的晶圆分选机中采用的上料方式是采用直接在平面式输送带上装载待测晶圆并进行线性输送，这一方案所涉及的硬件设备线性长度较长，设备成本较高，且受加工环境面积制约较大，目前的解决方案是在晶圆的输送过程中配置托盘作为二级承载平台，将晶圆的输送动作分解为托盘供料、晶圆脱离托盘和托盘送返三个步骤，为实现提高设备集成度的技术效果，我们需要实现输送路径的复合。


技术实现要素：

5.发明目的：本实用新型目的在于针对现有技术的不足，提供一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置。
6.技术方案：本实用新型所述一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置，包括输送面、设置在输送面上的取盘部和放盘部以及架设在取盘部和放盘部之间的循环输送装置，所述循环输送装置包括横跨架设在输送面上方的水平循环轨道和滑移连接在水平循环轨道上的托盘升降吸附机构，所述托盘升降吸附机构包括连接在水平循环轨道内的平移座和安装在平移座顶端的升降组件和吸盘组件。
7.作为优选的，所述平移座的顶端开设有安装孔，所述升降组件包括固定安装在安装孔上方的升降气缸，所述升降气缸内的升降杆穿过安装孔并连接在吸盘组件上。
8.作为优选的，所述吸盘组件包括连接在升降杆上的海绵吸盘。
9.作为优选的，所述水平循环轨道包括皮带环轨道和动力端连接在皮带环轨道上的循环驱动电机。
10.本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：可以适配以托盘作为二级承载平台的晶圆输送流程，依托横跨架设在输送面上方的水平循环轨道实现了托盘升降吸附机构
在取盘部和放盘部之间的往复运动，从而实现了将空托盘由取盘部运输到放盘部的动作需求。
附图说明
11.图1为本实用新型一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置的结构示意图。
12.图中：1、输送面；2、取盘部；3、放盘部；4、水平循环轨道；41、皮带环轨道；42、循环驱动电机；5、托盘升降吸附机构；51、平移座；52、升降气缸；53、海绵吸盘。
具体实施方式
13.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
14.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
15.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
16.下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
17.一种配合晶圆托盘取放装置的托盘循环装置，包括输送面1、设置在输送面1上的取盘部2和放盘部3以及架设在取盘部2和放盘部3之间的循环输送装置，循环输送装置包括横跨架设在输送面1上方的水平循环轨道4和滑移连接在水平循环轨道4上的托盘升降吸附机构5，托盘升降吸附机构5包括连接在水平循环轨道4内的平移座51和安装在平移座51顶端的升降组件和吸盘组件。工作状态下，满载晶圆的托盘由取盘部2送出，随后晶圆抓取装置取出托盘上的晶圆，而后升降组件驱动吸盘组件下降，吸附空托盘并经由水平循环轨道4运送至放盘部3，完成空托盘的放置循环。这一技术方案的优点在于可以适配以托盘作为二级承载平台的晶圆输送流程，依托横跨架设在输送面1上方的水平循环轨道4实现了托盘升降吸附机构5在取盘部2和放盘部3之间的往复运动，从而实现了将空托盘由取盘部2运输到放盘部3的动作需求。
18.具体的，平移座51的顶端开设有安装孔，升降组件包括固定安装在安装孔上方的升降气缸52，升降气缸52内的升降杆穿过安装孔并连接在吸盘组件上；其中，吸盘组件包括连接在升降杆上的海绵吸盘53；水平循环轨道4包括皮带环轨道41和动力端连接在皮带环
轨道41上的循环驱动电机42。
19.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
20.而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
21.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。