过滤滤除器的制作方法

1.本发明涉及过滤滤除器。


背景技术：

2.例如，作为用于捕捉细胞的滤除器，在专利文献1中公开了一种细胞捕捉金属滤除器。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2015-188323号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.但是，在专利文献1所记载的滤除器中，在提高过滤效率这一点仍存在改善的余地。
8.本发明的目的在于提供一种能够提高过滤效率的过滤滤除器。
9.用于解决课题的手段
10.本发明的一方式的过滤滤除器过滤包含过滤对象物的液体，
11.所述过滤滤除器具备划定多个贯通孔的滤除器基体部，
12.所述滤除器基体部具有多个第一基体部和比所述多个第一基体部的厚度薄的多个第二基体部，
13.所述多个第二基体部分别设置在所述多个第一基体部之间。
14.发明效果
15.根据本发明，能够提供能够提高过滤效率的过滤滤除器。
附图说明
16.图1是本发明的实施方式1的过滤滤除器的一例的概要图。
17.图2是将图1的滤除器部的一部分放大后的概要图。
18.图3是沿a-a线切断图2的滤除器部而得到的概要剖视图。
19.图4a是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
20.图4b是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
21.图4c是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
22.图4d是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
23.图4e是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
24.图4f是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器的制造方法的工序的一例的概要图。
具体实施方式
25.(完成本发明的经过)
26.在专利文献1所记载的滤除器中，滤除器的主面形成为平坦状。因此，滴到滤除器的主面上的包含过滤对象物的液体难以在滤除器的主面上扩散，实际上用于过滤的过滤面积相对于滤除器整体的面积较小。
27.本发明人们研究了在过滤时通过在滤除器中扩宽过滤面积来提高过滤效率的技术。其结果是，本发明人们发现了在滤除器中局部地设置厚度薄的部分，完成了以下的发明。
28.本发明的一方式的过滤滤除器过滤包含过滤对象物的液体，
29.所述过滤滤除器具备划定多个贯通孔的滤除器基体部，
30.所述滤除器基体部具有多个第一基体部和比所述多个第一基体部的厚度薄的多个第二基体部，
31.所述多个第二基体部分别设置在所述多个第一基体部之间。
32.根据这样的结构，能够提高过滤效率。
33.也可以是，所述多个第二基体部的宽度大于所述多个第一基体部的宽度。
34.根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
35.也可以是，所述多个第一基体部和所述多个第二基体部设置为格子状。
36.根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
37.也可以是，所述多个第二基体部被周期地设置。
38.根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
39.也可以是，在所述过滤滤除器中还具备设置于所述滤除器基体部的加强层。
40.根据这样的结构，能够提高过滤滤除器的强度。
41.也可以是，所述滤除器基体部以金属和金属氧化物中的至少任意一种为主成分。
42.根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
43.以下，参照附图对本发明的实施方式1进行说明。另外，在各图中，为了容易说明，夸大示出了各要素。
44.(实施方式1)
45.本发明的实施方式1的过滤滤除器是过滤包含过滤对象物的液体的滤除器。
46.在本说明书中，“过滤对象物”是指液体所包含的对象物中的要被过滤的对象物。例如，过滤对象物也可以是液体所包含的生物来源物质。“生物来源物质”是指细胞(真核生物)、细菌(真性细菌)、病毒等来源于生物的物质。作为细胞(真核生物)，例如包含人工多能性干细胞(ips细胞)、es细胞、干细胞、间叶系干细胞、单核球细胞、单细胞、细胞团、悬浮细胞、黏附细胞、神经细胞、白血球、再生医学细胞、自体细胞、癌细胞、血中循环癌细胞(ctc)、hl-60、hela、菌类。作为细菌(真性细菌)，例如包含大肠菌、结核菌。
47.在实施方式1中，针对液体为细胞悬浊液且过滤对象物为细胞的例子进行说明。
48.[整体结构]
[0049]
图1是本发明的实施方式1的过滤滤除器10的一例的概要图。图2是将图1的滤除器部11的一部分放大后的概要图。图3是沿a-a线切断图2的滤除器部11而得到的概要剖视图。图中的x、y、z方向分别表示过滤滤除器10的纵向、横向、厚度方向。
[0050]
如图1所示，过滤滤除器10具备具有多个贯通孔的滤除器部11和配置为包围滤除器部11的外周的框部12。在实施方式1中，滤除器部11与框部12形成为一体。
[0051]
过滤滤除器10是金属制滤除器。构成过滤滤除器10的材料以金属和金属氧化物中的至少任意一种为主成分。构成过滤滤除器10的材料例如也可以为金、银、铜、铂、镍、钯、钛、它们的合金以及它们的氧化物。尤其是，通过使用钛或镍-钯合金，金属的溶出少，能够降低对过滤对象物的影响。
[0052]
过滤滤除器10是板状构造体，该板状构造体具有捕捉液体所包含的过滤对象物的第一主面ps1和与第一主面ps1对置的第二主面ps2。
[0053]
《滤除器部》
[0054]
如图2和图3所示，滤除器部11是具有多个贯通孔13的部分。具体而言，在滤除器部11形成有贯穿第一主面ps1和第二主面ps2的多个贯通孔13。滤除器部11由滤除器基体部14形成。滤除器基体部14划定多个贯通孔13。
[0055]
滤除器部11的形状在从过滤滤除器10的厚度方向(z方向)观察时例如为圆形、长方形、椭圆形。在实施方式1中，滤除器部11的形状为大致圆形。需要说明的是，在本说明书中，“大致圆形”是指长径的长度相对于短径的长度之比为1.0以上且1.2以下。
[0056]
多个贯通孔13周期地配置在滤除器部11的第一主面ps1和第二主面ps2上。具体而言，多个贯通孔13以矩阵状等间隔地设置在滤除器部11中。
[0057]
贯通孔13的大小根据作为过滤对象物的细胞的种类(大小、形态、性质、弹性)或者量而适当设计。滤除器部11的开口率为10％以上，优选开口率为25％以上。根据这样的结构，能够降低液体相对于滤除器部11的通过阻力。因此，能够缩短处理时间，能够降低对细胞的压力。需要说明的是，开口率通过(贯通孔13所占据的面积)/(假定为未形成贯通孔13时的第一主面ps1的投影面积)来计算。
[0058]
在实施方式1中，从滤除器部11的第一主面ps1侧即z方向观察时，贯通孔13具有正方形的形状。需要说明的是，贯通孔13的从z方向观察到的形状不限定于正方形，例如也可以为长方形、圆形或椭圆等形状。
[0059]
在实施方式1中，投影到与滤除器部11的第一主面ps1垂直的面的贯通孔13的形状(剖面形状)为长方形。具体而言，贯通孔13的剖面形状是过滤滤除器10的半径方向的一边的长度比过滤滤除器10的厚度方向的一边的长度长的长方形。需要说明的是，贯通孔13的剖面形状不限定于长方形，例如，也可以为平行四边形或者梯形等锥形形状，也可以为对称形状，还可以为非对称形状。
[0060]
在实施方式1中，多个贯通孔13沿着从滤除器部11的第一主面ps1侧(z方向)观察时与正方形的各边平行的两个排列方向、即图2中的x方向和y方向而设置。需要说明的是，贯通孔13在滤除器部11设置多个即可，排列方向不受限定。
[0061]
在滤除器部11中，包含过滤对象物的液体所接触的第一主面ps1的表面粗糙度优
选较小。这里，表面粗糙度是指在第一主面ps1的任意五个部位利用触针式轮廓仪测定出的最大值与最小值之差的平均值。在实施方式1中，表面粗糙度优选小于过滤对象物的大小，更优选小于过滤对象物的大小的一半。
[0062]
在滤除器部11中，未形成贯通孔13的部分由滤除器基体部14形成。如图2和图3所示，滤除器基体部14具备多个第一基体部15和多个第二基体部16。
[0063]
第一基体部15由矩形形状的棒状构件形成。多个第一基体部15通过在多个方向上延伸并交叉而划定多个贯通孔13。在实施方式1中，多个第一基体部15设置为格子状。
[0064]
具体而言，多个第一基体部15包括沿过滤滤除器10的纵向(x方向)延伸的基体部和沿过滤滤除器10的横向(y方向)延伸的基体部。多个第一基体部15在过滤滤除器10的纵向(x方向)和横向(y方向)上，除了与第二基体部16连接的部分之外，以相等的间隔p1设置。另外，多个第一基体部15在滤除器部11的整体范围内周期地设置。
[0065]
第二基体部16在滤除器部11中形成过滤滤除器10的厚度比第一基体部15薄的部分。第二基体部16由矩形形状的棒状构件形成。多个第二基体部16分别设置在多个第一基体部15之间。多个第二基体部16在多个方向上延伸并交叉，与多个第一基体部15一起划定多个贯通孔13。在实施方式1中，多个第二基体部16设置为格子状。
[0066]
具体而言，多个第二基体部16包括沿过滤滤除器10的纵向(x方向)延伸的基体部和沿过滤滤除器10的横向(y方向)延伸的基体部。多个第二基体部16在过滤滤除器10的纵向(x方向)和横向(y方向)上以相等的间隔p2设置。另外，多个第二基体部16在滤除器部11的整体范围内周期地设置。
[0067]
在过滤滤除器10中，多个第二基体部16的间隔p2大于多个第一基体部15的间隔p1。因此，多个第二基体部16分别设置为夹在多个第一基体部15之间。
[0068]
在实施方式1中，在过滤滤除器10的纵向(x方向)和横向(y方向)的各个方向上，在一个第二基体部16的一侧设置有四个第一基体部15，在一个第二基体部16的另一侧设置有四个第一基体部15。即，在过滤滤除器10的纵向(x方向)和横向(y方向)的各个方向上，一个第二基体部16被设置于一侧的四个第一基体部15和设置于另一侧的四个第一基体部15夹着。
[0069]
在过滤滤除器10中，第二基体部16被多个第一基体部15夹着而设置的部分在滤除器部11的整体范围内周期地设置。
[0070]
如图3所示，第二基体部16的厚度t2比第一基体部15的厚度t1薄。换言之，第二基体部16的z方向上的长度小于第一基体部15的z方向上的长度。在实施方式1中，通过使第二基体部16的厚度t2比第一基体部15的厚度t1薄，从而在滤除器部11的第一主面ps1侧，在第一基体部15与第二基体部16之间设置有高低差。需要说明的是，在滤除器部11的第二主面ps2侧，第一基体部15与第二基体部16形成为平坦状。根据这样的结构，能够使滴到滤除器部11的第一主面ps1上的液体向位于比第一基体部15低的位置的第二基体部16移动。即，液体从第一基体部15朝向第二基体部16流动，因此，能够扩宽实际上用于过滤的滤除器部11中的过滤面积。
[0071]
例如，第二基体部16的厚度t2为第一基体部15的厚度t1的0.25倍以上且0.95倍以下。优选的是，第二基体部16的厚度t2为第一基体部15的厚度t1的0.3倍以上且0.7倍以下。根据这样的结构，能够在维持过滤滤除器10的强度的同时，使滴到滤除器部11的第一主面
ps1上的液体在大范围内移动。
[0072]
如图3所示，第二基体部16的宽度h2大于第一基体部15的宽度h1。换言之，第二基体部16的x方向和y方向上的长度大于第一基体部15的x方向和y方向上的长度。根据这样的结构，能够使滴到滤除器部11的第一主面ps1上的液体在更大的范围内移动。另外，由于液体容易积存在第二基体部16上，因此，能够保证在第二基体部16上捕捉到的细胞的活性。
[0073]
例如，第二基体部16的宽度h2为第一基体部15的宽度h1的1.1倍以上且4倍以下。优选的是，第二基体部16的宽度h2为第一基体部15的宽度h1的1.5倍以上且3倍以下。根据这样的结构，能够使滴到滤除器部11的第一主面ps1上的液体在大范围内移动。
[0074]
多个第一基体部15和多个第二基体部16形成为一体。
[0075]
在滤除器部11中，多个第二基体部16所占据的面积的比例小于多个第一基体部15所占据的面积的比例。例如，在从z方向观察滤除器部11时，在滤除器部11中，多个第二基体部16所占据的面积为多个第一基体部15所占据的面积的0.001倍以上且0.8倍以下。优选的是，多个第二基体部16所占据的面积为多个第一基体部15所占据的面积的0.01倍以上且0.5倍以下。
[0076]
框部12是配置为包围滤除器部11的外周的构件。框部12在从滤除器部11的第一主面ps1侧观察时形成为环状。另外，在从第一主面ps1侧观察过滤滤除器10时，框部12的中心与滤除器部11的中心一致。即，框部12与滤除器部11形成在同心圆上。
[0077]
《框部》
[0078]
框部12作为将保持过滤滤除器10的保持架连接的连接部发挥功能。
[0079]
另外，也可以在框部12显示滤除器的信息(例如，贯通孔13的尺寸等)。由此，不用重新进行测长等，就容易掌握滤除器孔尺寸或容易判别正反。
[0080]
在实施方式1中，例如，过滤滤除器10为直径33mm，厚度20μm。滤除器部11的直径为20mm，框部12的宽度为2.5mm。过滤滤除器10不限定于这些尺寸，也可以按照其他尺寸制作。
[0081]
在实施方式1中，构成框部12的材料与构成滤除器部11(滤除器基体部14)的材料相同。需要说明的是，框部12的材料与滤除器部11的材料既可以不同，也可以不同。另外，框部12的材料与滤除器部11既可以不形成为一体，也可以由不同构件构成。
[0082]
[关于过滤滤除器的制造方法]
[0083]
使用图4a～4f对过滤滤除器10的制造方法的一例进行说明。图4a～4f是示出本发明的实施方式1的过滤滤除器10的制造方法的工序的一例的概要图。
[0084]
如图4a所示，在硅等的基板21上形成厚度500nm的铜薄膜22。铜薄膜22能够通过蒸镀或溅射而形成。此时，为了提高基板21与铜薄膜22的粘接性而形成厚度50nm的ti的中间层23。
[0085]
首先，制作第一基体部15。如图4b所示，通过旋涂在铜薄膜22上涂敷抗蚀剂并使其干燥，由此形成厚度2μm的抗蚀剂膜。
[0086]
如图4c所示，对抗蚀剂膜24进行曝光和显影处理，去除与第一基体部15相当的部位的抗蚀剂膜24。
[0087]
使用电铸，使pdni堆积于去除了抗蚀剂膜24的部分。由此，在去除了抗蚀剂膜24的部分形成pdni镀敷膜。接下来，使用有机溶剂来去除抗蚀剂膜24。这样，如图4d所示，形成由pdni镀敷膜25构成的第一基体部15。
[0088]
接着，通过实施与图4a～4d所示的工序同样的工序来制作第二基体部16。具体而言，在制作出第一基体部15的铜薄膜22和中间层23上形成厚度2μm的抗蚀剂膜。接着，对抗蚀剂膜进行曝光和显影处理，去除与第二基体部16相当的部位的抗蚀剂膜。使用电铸，使pdni堆积于去除了抗蚀剂膜24的部分，由此，形成pdni镀敷膜。接下来，使用有机溶剂来去除抗蚀剂膜。这样，如图4e所示，形成由pdni镀敷膜26构成的第二基体部16。
[0089]
另外，为了提高过滤滤除器10的机械强度，也可以制作包括与过滤滤除器10相同的格子构造的加强层。也可以通过实施与图4a～4d所示的工序同样的工序来制作加强层。
[0090]
具体而言，在制作出第一基体部15和第二基体部16的铜薄膜22和中间层23上形成厚度30mm的抗蚀剂膜。接着，对抗蚀剂膜进行曝光和显影处理，去除与框部12和加强层相当的部位的抗蚀剂膜。使用电铸，使pdni堆积于去除了抗蚀剂膜的部分，由此形成pdni镀敷膜。接下来，使用有机溶剂来去除抗蚀剂膜。由此，如图4f所示，形成由pdni镀敷膜27构成的框部12和加强层17。需要说明的是，对加强层17进行了调整，使得配置在第一基体部15上。在加强层17的宽度为10mm且第一基体部15的宽度小于10mm的情况下，形成为跨越多个第一基体部15。这样，加强层17被设置于第一基体部15。
[0091]
[效果]
[0092]
根据实施方式1的过滤滤除器10，能够起到以下的效果。
[0093]
过滤滤除器10具备划定多个贯通孔13的滤除器基体部14。滤除器基体部14具有多个第一基体部15和比多个第一基体部15的厚度薄的多个第二基体部16。多个第二基体部16分别设置在多个第一基体部15之间。根据这样的结构，能够提高过滤效率。
[0094]
另外，由于多个第二基体部16分别设置在多个第一基体部15之间，因此，第二基体部16被至少两个第一基体部15夹着。由此，液体容易流向比第一基体部15低的第二基体部16。
[0095]
例如，在包含过滤对象物的液体滴到过滤滤除器10的第一主面ps1的情况下，液体容易从第一基体部15朝向第二基体部16流动。由此，液体容易在过滤滤除器10整体范围内扩散，相对于滤除器整体的面积，能够增大实际上用于过滤的过滤面积。
[0096]
更具体地说明的话，在滴下了液体时，跨越第一基体部15和第二基体部16的边界而存在的液滴受到由于高低差而造成的重力的影响，向第二基体部16的一方移动，产生沿着该方向的液体的流动。通过产生从夹着第二基体部16的多个第一基体部15的两侧向第二基体部16的液体的流动，从而沿着第二基体部16的流动相互加强。因此，沿着第二基体部16的延伸方向例如宽度方向(x方向及/或y方向)产生加速度，液体扩散，因此，能够增大过滤面积。
[0097]
这样，通过过滤面积扩宽，液体容易通过过滤滤除器10，因此，能够缩短过滤时间。
[0098]
以下示出式(1)，该式(1)表示针对具有剖面形状成为正方形的贯通孔13的过滤滤除器10的每单位过滤面积的流量。
[0099]
[数式1]
[0100][0101]
这里，j：每单位过滤面积的流量(m3/m2·
s)，n：每单位过滤面积的圆管数(1/m2)，a：正方形状贯通孔的一边(m)，δp：圆管两端的差压(pa)，μ：流体的粘度(pa
·
s)，t：贯通孔
的厚度(m)。
[0102]
式(1)表示由于滤除器基体部14中的高低差而扩散的液体在厚度较薄的第二基体部16的周围的贯通孔13中容易通过。因此，过滤面积扩宽，并且液体容易在厚度小的第二基体部16的周围液体通过，因此，能够缩短过滤时间。由此，能够提高过滤效率。
[0103]
多个第二基体部16的宽度h2大于多个第一基体部15的宽度h1。根据这样的结构，液体容易在过滤滤除器10的整体范围内进一步扩散。因此，能够进一步增大过滤面积，能够进一步提高过滤效率。
[0104]
另外，从第一基体部15朝向第二基体部16流动的液体容易积存在第二基体部16上。在过滤对象物为细胞的情况下，细胞在浸入到液体的状态下被过滤滤除器10捕捉。因此，能够抑制被过滤滤除器10捕捉到的细胞的活性的下降。
[0105]
多个第一基体部15和多个第二基体部16设置为格子状。根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
[0106]
多个第二基体部16被周期地设置。根据这样的结构，液体容易在过滤滤除器10整体范围内进一步扩散，能够进一步提高过滤效率。
[0107]
过滤滤除器10具备设置于第一基体部15的加强层17。根据这样的结构，能够提高过滤滤除器10的机械强度。
[0108]
过滤滤除器10以金属和金属氧化物中的至少任意一种为主成分。根据这样的结构，能够进一步提高过滤效率。
[0109]
需要说明的是，在实施方式1中，针对过滤滤除器10具备滤除器部11和框部12的例子进行了说明，但不限定于此。例如，过滤滤除器10也可以不具备框部12。框部12不是必须的结构。
[0110]
在实施方式1中，针对过滤滤除器10的第二主面ps2为平坦状的例子进行了说明，但不限定于此。例如，过滤滤除器10的第二主面ps2也可以不是平坦状。也可以在过滤滤除器10的第二主面ps2设置阶差。
[0111]
在实施方式1中，针对多个第一基体部15和多个第二基体部16分别设置为格子状的例子进行了说明，但不限定于此。多个第一基体部15和多个第二基体部16设置为能够划定多个贯通孔13即可。例如，多个第一基体部15和多个第二基体部16也可以分别倾斜地交叉设置。
[0112]
在实施方式1中，针对多个第二基体部16被周期地设置的例子进行了说明，但不限定于此。多个第二基体部16设置在多个第一基体部15之间即可。多个第二基体部16也可以被随机地设置。
[0113]
在实施方式1中，针对第二基体部16的宽度h2大于第一基体部15的宽度h1的例子进行了说明，但不限定于此。例如，第二基体部16的宽度h2也可以为第一基体部15的宽度h1以下。
[0114]
在实施方式1中，针对在第一基体部15设置加强层17的例子进行了说明，但不限定于此。过滤滤除器10也可以不具备加强层17。加强层17不是必须的结构。
[0115]
在实施方式1中，针对液体是细胞悬浊液且过滤对象物是细胞的例子进行了说明，但不限定于此。
[0116]
实施例
[0117]
使用实施例1和比较例1进行了过滤。
[0118]
实施例1使用了实施方式1的过滤滤除器10。比较例1使用了不具备第二基体部16的过滤滤除器，即，仅由第一基体部15构成的过滤滤除器。表1示出实施例1和比较例2的过滤滤除器的条件。
[0119]
[表1]
[0120][0121]
在实施例1的过滤滤除器10中，在捕捉过滤对象物的第一主面ps1上，通过多个第一基体部15和多个第二基体部16而形成有高低差(凹凸)。在比较例1的过滤滤除器中，第一主面ps1形成为平坦状。
[0122]
利用树脂制保持架分别夹着实施例1和比较例1的过滤滤除器并进行保持，滴下包含过滤对象物的液体，由此进行了过滤。具体而言，为了评价实施例1和比较例1的过滤滤除器的过滤特性，进行了通液试验。
[0123]
首先，将保持有实施例1的过滤滤除器10的树脂制保持架和保持有比较例1的过滤滤除器的树脂制保持架分别设置于50ml的离心管的开口部。接着，将2ml的70％(v/v)乙醇分别滴到实施例1的过滤滤除器10和比较例1的过滤滤除器上，然后，滴下了10ml的milliq水。
[0124]
之后，将保持有实施例1的过滤滤除器10的树脂制保持架和保持有比较例1的过滤滤除器的树脂制保持架分别设置于50ml的不同离心管，将5ml的试验液分别导入到实施例1的过滤滤除器10和比较例1的过滤滤除器。
[0125]
测定了直至5ml的试验液全部通过过滤滤除器为止的时间(以下，过滤时间)、能够回收到50ml的离心管中的液量(以下，过滤量)、回收液中的细胞数浓度。但是，过滤时间的上限为5分钟，在过了5分钟也没有通过过滤滤除器的情况下，判断为过滤滤除器堵塞。试验液使用了纯水、磷酸缓冲生理盐水(以下，pbs)、培养基、hl-60细胞的细胞悬浊液(1.86
×
106个/ml)这四个种类。另外，针对各试验液，在过滤后使用实体显微镜(岛津制作所，型号：stz-16)，以倍率1倍或2倍拍摄通液试验后的过滤滤除器的图像，使用图像解析软件image j(美国国立卫生研究所)，大体计算出试验液扩散后的面积(以下，过滤面积)。表2示出评价结果。
[0126]
[表2]
[0127][0128]
如表2所示，可知实施例1与比较例1相比，过滤时间变短、回收液中的细胞数浓度大、以及过滤面积大。
[0129]
参照附图与优选实施方式关联地充分记载了本发明，但对于本领域技术人员来说应清楚各种变形、修正。这样的变形、修正只要不脱离添附的权利要求书中的本发明的范围，就应理解为包含在本发明的范围内。
[0130]
产业上的可利用性
[0131]
本发明的过滤滤除器例如在过滤细胞悬浊液的用途中是有用的。
[0132]
附图标记说明
[0133]
10过滤滤除器；
[0134]
11滤除器部；
[0135]
12框部；
[0136]
13贯通孔；
[0137]
14滤除器基体部；
[0138]
15第一基体部；
[0139]
16第二基体部；
[0140]
17加强层；
[0141]
21基板；
[0142]
22铜薄膜；
[0143]
23中间层；
[0144]
24抗蚀剂膜；
[0145]
25、26、27pdni镀敷膜。